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近年の高効率青色LEDの発明によりLEDは急速に発展した。現在、普及している白色LEDは青色LEDに黄色蛍光体を塗布しているものが主流となっている。そのため演色評価指数が低く、高価である。本研究では窒化炭素を用いて演色評価指数が高く、低価格である白色発光素子の開発を目的としている。窒化炭素薄膜はフォトルミネッセッスで白色発光することが確認できており、今回は窒化炭素薄膜を用いたEL型素子の作製を行った。IT0が成膜されたガラス基板を用い、PEDOT : PSS・窒化炭素・A1あるいはGa-Inの順に成膜した。PEDOT : PSSはスピンコート法で成膜し電気炉で乾燥させた。窒化炭素はRFスパッタリング法、A1は抵抗加熱蒸着法でそれぞれ成膜した。I-V特性を測定した結果、右肩上がりのI-V特性が得られた。しかし、素子の発光は確認できなかった。次に、窒化炭素の成膜後にHe-Cdレーザとビームエキスパンダを用い試料全面に紫外線レーザ光を照射し、窒化炭素膜の改質を行った。レーザ光を照射した試料もI-V特性は右肩上がりを示したが、発光は確認できなかった。しかし、ビームエキスパンダの導入により試料全面にレーザ光を照射できるようになったため、さらなる基礎物性の測定を行うことができる。
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