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量子井戸・メタ表面の融合による低毒性中赤外検出器の開発

研究課題

研究課題/領域番号 15H02011
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

宮崎 英樹  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, グループリーダー (10262114)

研究分担者 間野 高明  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (60391215)
川津 琢也  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主任研究員 (00444076)
研究協力者 笠谷 岳士  
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
41,080千円 (直接経費: 31,600千円、間接経費: 9,480千円)
2018年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
2017年度: 11,050千円 (直接経費: 8,500千円、間接経費: 2,550千円)
2016年度: 11,310千円 (直接経費: 8,700千円、間接経費: 2,610千円)
2015年度: 10,270千円 (直接経費: 7,900千円、間接経費: 2,370千円)
キーワードマイクロ・ナノデバイス / メタマテリアル / メタ表面 / 量子井戸 / 中赤外光 / 赤外検出器
研究成果の概要

波長5~10μmの中赤外線の高感度検出には水銀カドミウムテルライド検出器が用いられているが、有毒な水銀やカドミウムを含まない低毒性検出器の登場が望まれていた。本研究では、低毒性ではあるものの垂直入射光に感度を持たないという問題を抱えていたガリウムヒ素量子井戸赤外線検出器を上下からストライプ状の金で挟むメタ表面に組み込むことにより、波長7.0μmの垂直無偏光入射光に対して感度2.23 A/W、外部量子効率39.4%という、水銀カドミウムテルライド検出器に迫る実用レベルの性能を実現した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

環境測定、自動運転、警備活動のために中赤外線の利用がますます注目される中、ROHS指令や水俣条約により使用が難しい水銀カドミウムテルライドに代わる中赤外線検出器の選択肢を提供できた。その上では、これまで基礎研究の対象であったメタ表面の電場回転機能と電場増機能が本質的な役割を果たした。また、プラズモン共鳴に必須の平滑性・急峻性と、微弱な光電流の取り出しに必要なオーミック性を兼ね備えた金属/半導体界面の形成方法を明らかにした。この技術も今後のメタ表面の光電子デバイス応用を加速すると期待している。

報告書

(5件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて 2019 2018 2017 2016 2015

すべて 雑誌論文 (7件) (うち国際共著 1件、 査読あり 5件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (20件) (うち国際学会 8件、 招待講演 16件) 図書 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Double-Sided Nonalloyed Ohmic Contacts to Si-doped GaAs for Plasmoelectronic Devices2019

    • 著者名/発表者名
      Mano Takaaki、Miyazaki Hideki T.、Kasaya Takeshi、Noda Takeshi、Sakuma Yoshiki
    • 雑誌名

      ACS Omega

      巻: 4 号: 4 ページ: 7300-7307

    • DOI

      10.1021/acsomega.8b03260

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] プラズモニクスを利用した熱放射制御とガスセンシングへの応用2019

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 雑誌名

      金属

      巻: 89 ページ: 10-18

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] プラズモン共鳴を利用したガス濃度計測用赤外光源2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 雑誌名

      プラズモニック化学研究会NewsLetter

      巻: 1 ページ: 2-3

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • オープンアクセス
  • [雑誌論文] ナノフォトニクスを利用した熱放射制御材料2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 雑誌名

      日本赤外線学会誌

      巻: 27 ページ: 18-26

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mass-productive fabrication of a metal-insulator-metal plasmon waveguide with a linear taper for nanofocusing2016

    • 著者名/発表者名
      K. Wongpanya, T. Kasaya, H. T. Miyazaki, H. Oosato, Y. Sugimoto, and W. Pijitrojana
    • 雑誌名

      Appl. Phys. B

      巻: 122 号: 9 ページ: 238-238

    • DOI

      10.1007/s00340-016-6515-8

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] 光放射メタ表面の創製と応用2016

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹, 岩長祐伸
    • 雑誌名

      レーザー研究

      巻: 44 ページ: 10-14

    • NAID

      130007957212

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultraviolet-nanoimprinted packaged metasurface thermal emitters for infrared CO2 sensing2015

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki, T. Kasaya, H. Oosato, Y. Sugimoto, B. Choi, M. Iwanaga, and K. Sakoda
    • 雑誌名

      Sci. Technol. Adv. Mater.

      巻: 16 号: 3 ページ: 035005-035005

    • DOI

      10.1088/1468-6996/16/3/035005

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Plasmonic devices for mid-infared application2019

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki
    • 学会等名
      The 11th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-11)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Metamaterial quantum well infrared photodetectors based on plasmon-enhanced intersubband transition2019

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki, T. Mano, T. Kasaya, H. Oosato, K. Watanabe, Y. Sugimoto, T. Kawazu, T. Ochiai, Y. Arai, and A. Shigetou
    • 学会等名
      the 7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2019)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Nanophotonics: a frontier cultivated by microassembly2018

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki
    • 学会等名
      2018 International Conference on Electronics Packaging and IMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Nonalloyed Ohmic Contacts to Buried n-GaAs Appearing After Reversed Wafer Transfer2018

    • 著者名/発表者名
      T. Mano, H. T. Miyazaki, T. Kasaya, T. Noda, and Y. Sakuma
    • 学会等名
      2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] メタマテリアルと量子井戸を融合したサブバンド間遷移型赤外線検出器2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹, 間野高明
    • 学会等名
      第14回量子ナノ材料セミナー
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノ構造をつくって光をあやつる2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      千葉市科学館「大人が楽しむ科学教室2018」
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] CO2センサのためのメタマテリアル赤外光源2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      RIKEN-NIMS第2回マテリアルズイノベーションコア Workshop
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 光をあやつる人工ナノ構造-フォトニック結晶からメタマテリアルまで-2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      第22回名古屋大学VBLシンポジウム(2018年度)「光とナノ」
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 光放射メタ表面の創製と応用2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹, 岩長祐伸
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第38回年次大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] メタ表面赤外線検出器のためのn-GaAsへのノンアロイオーミック接合2018

    • 著者名/発表者名
      間野高明, 宮崎英樹, 笠谷岳士, 野田武司, 佐久間芳樹
    • 学会等名
      2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] メタ表面量子井戸赤外線検出器2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹, 間野高明, 笠谷岳士, 大里啓孝, 渡邉一弘, 杉本喜正, 川津琢也, 新井志大, 重藤暁津
    • 学会等名
      2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Nanophotonics: a frontier cultivated by microassembly2018

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki
    • 学会等名
      International Conference on Electronics Packaging and IMAPS All Asia Conference
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] プラズモン共振器を用いたガスセンシング用赤外光源2017

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      第12回プラズモニック化学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Manipulation of light waves by controlled nanostructures2017

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki
    • 学会等名
      Thailand - Japan Joint Research Meeting on Nanomaterials and Nanocomposites
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 金属メタ表面を用いたCO2ガスセンサー用中赤外光源2017

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      日本真空学会2017年1月研究例会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 光をあやつるナノ構造-光のアンテナ,フォトニック結晶,メタ表面赤外光源-2016

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      強光子場科学研究懇談会平成27年度第2回懇談会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノフォトニクスによる熱輻射制御2016

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      2016年第77回秋季応用物理学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Photonics, Plasmonics & Metamaterials research in NIMS2015

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki
    • 学会等名
      The first NIMS-IMRE Workshop on Materials Science
    • 発表場所
      物質・材料研究機構(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2015-10-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] UVナノインプリント法で作製したCO2センサ用メタ表面熱放射赤外光源2015

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹
    • 学会等名
      電気学会E部門総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会
    • 発表場所
      九州大学(福岡県福岡市)
    • 年月日
      2015-07-03
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] UV-nanoimprinted metasurface thermal emitters for infrared CO2 sensing2015

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki, T. Kasaya, H. Oosato, Y. Sugimoto, B. Choi, M. Iwanaga, and K. Sakoda
    • 学会等名
      The 5th Korea-Japan Metamaterials Forum
    • 発表場所
      Seoul National University(韓国ソウル市)
    • 年月日
      2015-06-29
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [図書] Micro- and Nanophotonic Technologies2017

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki
    • 総ページ数
      13
    • 出版者
      Wiley
    • ISBN
      9783527340378
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置、半導体装置の製造方法、赤外線光電変換素子、赤外線検出素子、および赤外線発光素子2018

    • 発明者名
      間野高明, 宮崎英樹, 佐久間芳樹, 野田武司
    • 権利者名
      物質・材料研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2018-037337
    • 出願年月日
      2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2020-03-30  

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