回転体ミラーによる次世代軟X線ナノビーム形成法の開発

• 研究課題/領域番号: 15H02041
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 量子ビーム科学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 三村 秀和 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (30362651)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2019-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2019年度)
• 配分額: 41,340千円 (直接経費: 31,800千円、間接経費: 9,540千円); 2018年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円); 2017年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円); 2016年度: 17,160千円 (直接経費: 13,200千円、間接経費: 3,960千円); 2015年度: 13,130千円 (直接経費: 10,100千円、間接経費: 3,030千円)
• キーワード: Ｘ線集光 / 超精密加工 / 軟Ｘ線 / 軟X線 / Ｘ線ミラー / X線ミラー / 回転楕円ミラー / X線集光 / 高次高調波 / SPring-8 / 形状修正 / 放射光 / 応用光学 / 生産工学 / 顕微鏡 / Ｘ線 / 回転体ミラー / 軟X線集光 / 精密部品加工

研究成果の概要

様々なＸ線分析方法の性能の鍵を握る技術にＸ線集光がある。本研究では、Ｘ線の中でも波長1nm～10nmの軟X線領域を対象としたミラーによる集光技術の開発を目的としている。本研究では、回転体ミラーの形状精度を向上させるとともに、回転体ミラーを有効に活用することができるリング集光ミラーと回転体ミラーによる2段集光システムを提案した。
コンパクトな高次高調波軟Ｘ線光源を利用し、回転体ミラーの軟Ｘ線集光に関する基礎的な知見を蓄え、SPring-8において回転体ミラーを用いた軟Ｘ線集光システムを構築した。2段集光システムを完成させサイズ200nm以下の軟Ｘ線集光を確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

ミラーによる軟X線集光システムは理論的な性能は高いが、その作製が困難であったため利用されていなかった。本研究により、ミラーの製造技術が大幅に進歩するとともに、実際に軟Ｘ線集光が実証され、今後、ミラーによる集光技術が普及すると考えている。その結果、多くのＸ線分析装置の性能が向上し、電池材料や半導体材料の新規開発に貢献する。

研究成果

• [雑誌論文] Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror (2020)
  • 著者名/発表者名: Yoko Takeo, Akihiro Suzuki, Hiroto Motoyama, Yoshinori Takei, Takehiro Kume, Yusuke Matsuzawa, Yasunori Senba, Hikaru Kishimoto, Haruhiko Ohashi, and Hidekazu Mimura1Applied Physics Letters
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 116 号: 12 ページ: 121102-121102
  • DOI: 10.1063/1.5144932
  • 査読あり
• [雑誌論文] Broadband nano-focusing of high-order harmonics in soft X-ray region with ellipsoidal mirro (2019)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, H. Mimura
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 114 号: 24 ページ: 241102-241102
  • DOI: 10.1063/1.5091587
  • 査読あり
• [雑誌論文] Probing the spatial coherence of soft X-ray beams with Fresnel mirrors at BL25SU of SPring-8 (2019)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura
  • 雑誌名: Journal of Synchrotron Radiation 巻: 26 号: 3 ページ: 756-761
  • DOI: 10.1107/s1600577519002583
  • 査読あり
• [雑誌論文] Differential deposition for producing microstructure (2018)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 印刷中
  • 査読あり
• [雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発（第2報） (2017)
  • 著者名/発表者名: 武井 良憲, 三村 秀和
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 83 号: 6 ページ: 585-592
  • DOI: 10.2493/jjspe.83.585
  • NAID: 130005689946
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり
• [雑誌論文] Precise characterization of focused vortex beams (2017)
  • 著者名/発表者名: Takahiro Saito, Yoko Takeo, and Hidekazu Mimura
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 56 号: 9 ページ: 092501-092501
  • DOI: 10.7567/jjap.56.092501
  • NAID: 210000148263
  • 査読あり
• [雑誌論文] Optical design of a sub-1-μm focusing system for soft x-ray free electron lasers (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, S. Owada, K. Tono, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, and H. Mimura
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 10386 ページ: 1038609-1038609
  • DOI: 10.1117/12.2271282
  • 査読あり
• [雑誌論文] Three-dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura,
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 10385 ページ: 22-22
  • DOI: 10.1117/12.2273666
  • 査読あり
• [雑誌論文] A Fundamental Study of Local Electrochemical Nano-processing (2017)
  • 著者名/発表者名: G.Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
  • 雑誌名: International Journal of Electrical Machining 巻: 22 ページ: 36-41
  • NAID: 130005712362
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発（第1報） (2017)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲，三村秀和
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 83 号: 3 ページ: 245-250
  • DOI: 10.2493/jjspe.83.245
  • NAID: 130005436044
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 電鋳法による高精度表面転写プロセスの開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 巻: 51（126） ページ: 147-151
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Development of high-order harmonic focusing system based on ellipsoidal mirror (2016)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 87 号: 5 ページ: 051803-051803
  • DOI: 10.1063/1.4950735
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 高精度回転楕円ミラーによる高強度EUV・軟X線ビーム形成 (2016)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 雑誌名: 光アライアンス 巻: 27(2) ページ: 45-49
  • NAID: 40020888126
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 高精度電鋳法の開発と軟X線集光ミラーの作製 (2016)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 雑誌名: Electrochemistry 巻: 84(9) ページ: 721-725
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] ナノ精度表面製造法とX線集光ミラー (2016)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 雑誌名: 応用物理 巻: 85（11） ページ: 957-961
  • NAID: 130007715294
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Evaluation of figure accuracy of Wolter mirror fabricated by electroforming (2016)
  • 著者名/発表者名: S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 9687 ページ: 968705-968705
  • DOI: 10.1117/12.2243422
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming (2016)
  • 著者名/発表者名: T. kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Mimura
  • 雑誌名: Procedia CIRP 巻: 42 ページ: 783-787
  • DOI: 10.1016/j.procir.2016.02.319
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors (2016)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
  • 雑誌名: Procedia CIRP 巻: 42 ページ: 512-515
  • DOI: 10.1016/j.procir.2016.02.242
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Development of surface profiler for master mandrel of x-ray ellipsoidal mirror (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Takei, H. Mimura
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 9962 ページ: 99620C-99620C
  • DOI: 10.1117/12.2235314
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Development of internal stress measurement technique for Ni electroforming using Shack.Hartmann sensor (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura
  • 雑誌名: International Journal of Electrical Machining 巻: 21 号: 0 ページ: 25-30
  • DOI: 10.2526/ijem.21.25
  • NAID: 130005395684
  • ISSN: 1341-7908, 2188-5117
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 9588 ページ: 95880A-95880A
  • DOI: 10.1117/12.2188824
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Two-stage reflective optical system for achromatic 10 nm x-ray focusing (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama and H. Mimura
  • 雑誌名: J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 巻: 48 号: 24 ページ: 244002-244002
  • DOI: 10.1088/0953-4075/48/24/244002
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi,
  • 雑誌名: Proceeding of SPIE 巻: 9588 ページ: 95880L-95880L
  • DOI: 10.1117/12.2187455
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [学会発表] 軟X線タイコグラフィを用いた回転楕円ミラーの形状評価 (2019)
  • 著者名/発表者名: 竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和
  • 学会等名: 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
• [学会発表] 回転楕円ミラーによるナノ集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ顕微鏡の開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 竹尾陽子，鈴木明大，仙波泰徳，岸本輝，大橋治彦，三村秀和
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会
• [学会発表] 精密銅電鋳法の転写精度に及ぼす電析条件の影響，2018年度精密工学会春季大会学術講演会 (2018)
  • 著者名/発表者名: 山口豪太，久米健大，三村秀和
  • 学会等名: 2018年度精密工学会春季大会
• [学会発表] 軟X線集光用回転楕円ミラーの高精度化 -直接的形状修正法の開発と実証- (2018)
  • 著者名/発表者名: 横前俊也，本山央人，三村秀和
  • 学会等名: 第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] 回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発 -ミラー内面修正性能の評価- (2018)
  • 著者名/発表者名: 横前俊也，本山央人，三村秀和
  • 学会等名: 2018年精密工学会春季大会
• [学会発表] 回転楕円ミラーを用いた軟X線自由電子レーザー集光システムの開発 (2018)
  • 著者名/発表者名: 本山央人，大和田成起，久米健大，山口豪太，犬伏雄一，登野健介，小山貴久，江川悟，大橋治彦，矢橋牧名，三村秀和
  • 学会等名: 第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
• [学会発表] ナノ精度コピーによる超高精度ミラー作製 (2017)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 科学技術振興機構 新技術説明会
  • 発表場所: JST東京本部
  • 年月日: 2017-03-16
  • 招待講演
• [学会発表] 回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 齋藤貴宏，竹尾陽子，江川悟，三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 慶応義塾大学
  • 年月日: 2017-03-13
• [学会発表] 高分解能スティッチング干渉計測における高精度つなぎ合わせ角度決定法 (2017)
  • 著者名/発表者名: 松澤雄介、三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 慶應義塾大学
  • 年月日: 2017-03-13
• [学会発表] 回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 本山央人、岩崎純史、佐藤堯洋、武井良憲、久米健大、江川悟、山内薫、三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 慶應義塾大学
  • 年月日: 2017-03-13
• [学会発表] ピンホール成膜による高分解能形状修正成膜法の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 西岡勇人、本山央人、三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 慶應義塾大学
  • 年月日: 2017-03-13
• [学会発表] 銅電析による高精度電鋳法の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 山口豪太，久米健大，三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 慶應義塾大学
  • 年月日: 2017-03-13
• [学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの3次元高精度形状計測法の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 久米健大、武井良憲、三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 慶應義塾大学
  • 年月日: 2017-03-13
• [学会発表] 高精度ミラーを用いた軟X線のナノ集光 (2017)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 物性研究所短期研究会「新世代光源で切り拓く物質科学と生命科学の融合領域」
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2017-03-08
  • 招待講演
• [学会発表] 高精度X線ミラー製造のための超精密形状計測法 (2017)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: H28年度長さクラブ講演会
  • 発表場所: 機械振興会館
  • 年月日: 2017-02-24
  • 招待講演
• [学会発表] 回転楕円ミラーの作製のための高精度電鋳法の開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 山口豪太，久米健大，三村秀和
  • 学会等名: 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 神戸芸術センター
  • 年月日: 2017-01-07
• [学会発表] 回転楕円ミラーによる軟X線集光 (2017)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和，本山央人，竹尾陽子，武井良憲, 松澤雄介, 久米健大, 仙波泰徳，岸本輝, 大橋治彦
  • 学会等名: 第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 神戸芸術センター
  • 年月日: 2017-01-07
• [学会発表] Three-dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura
  • 学会等名: 2017 SPIE Optics + Photonics
  • 国際学会
• [学会発表] Replication Accuracy of Electroforming Process for X-ray Ellipsoidal Mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics and Application 2017 (XOPT'2017)
  • 国際学会
• [学会発表] Construction of a soft x-ray transmission microscope for evaluation of Wolter mirror optics (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, K. Yamanouchi, H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017)
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication process of precise mandrel for Wolte mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Egawa, Y. Takei, Y. Matsuzawa, H. Motoyama, T. Kume, Y. Takeo and H. Mimura
  • 学会等名: The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24)
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of Ellipsoidal Mirror by Cu Electroforming (2017)
  • 著者名/発表者名: G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics and Applications 2017
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of Cu-electroformed Mirrors for X-ray Focusing (2017)
  • 著者名/発表者名: G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura
  • 学会等名: 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
  • 国際学会
• [学会発表] Development of differential deposition method for inner surfaces of ellipsoidal x-ray mirrors (2017)
  • 著者名/発表者名: S. Yokomae, H. Motoyama, and H. Mimura
  • 学会等名: 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
  • 国際学会
• [学会発表] イオンビームスパッタ成膜による回転体ミラーの内面形状修正 (2017)
  • 著者名/発表者名: 横前俊也，本山央人，三村秀和
  • 学会等名: 2017年度精密工学会秋季大会
• [学会発表] 回転体X線ミラー内面への追加成膜プロセスの開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 横前俊也，本山央人，三村秀和
  • 学会等名: 第14回X線結像光学シンポジウム
• [学会発表] Focusing EUV light with ellipsoidal mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017)
• [学会発表] Development of EUV focusing system based on ellipsoidal mirror (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, and H. Mimura
  • 学会等名: 2017 SPIE Optics + Photonics
• [学会発表] Focusing EUV high-order harmonics at the diffraction limit (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, A. Iwasaki, T. Sato, H. Mimura, and K. Yamanouchi
  • 学会等名: 14th International conference on multiphoton processes
• [学会発表] 高精度回転楕円ミラーによる軟X線ナノ集光 (2016)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 第76回ELIDセミナー
  • 発表場所: 理化学研究所
  • 年月日: 2016-12-22
  • 招待講演
• [学会発表] Development of Pulse Electrodeposition for Removal of Hydrogen Bubbles Adhering to Cathode (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, G. Yamaguchi, and H. Mimura
  • 学会等名: Electrochemistry 2016
  • 発表場所: Goslar, Germany,
  • 年月日: 2016-09-26
  • 国際学会
• [学会発表] 常温Ni電鋳におけるパルス電析条件の検討 (2016)
  • 著者名/発表者名: 山口豪太，久米健大，三村秀和
  • 学会等名: 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 茨城大学
  • 年月日: 2016-09-06
• [学会発表] X線集光用回転楕円ミラーマンドレル作製プロセスの開発 (2016)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲，松澤雄介，三村秀和
  • 学会等名: 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 茨城大学
  • 年月日: 2016-09-06
• [学会発表] Development of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Takei, H. Mimura
  • 学会等名: 2016 Optics + Photonics
  • 発表場所: San Diego USA
  • 年月日: 2016-08-28
  • 国際学会
• [学会発表] Current status of the development of two-staged focusing system for soft X-ray lasers (2016)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, Y. Takeo, Y. Senba, H. Ohashi, K. Yamanouchi, and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会
• [学会発表] Current status of development of ultraprecise Wolter mirror for soft X-ray microscopy (2016)
  • 著者名/発表者名: S. Egawa, T. Kume, Y. Takei, Y. Takeo, H. Motoyama and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会
• [学会発表] Evaluation of degree of spatial coherence at a soft X-ray beamline of SPring-8 (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kisimoto, H. Ohashi and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会
• [学会発表] Wavefront measurement using ptychographic phase retrieval for evaluating figure and alignment errors of ellipsoidal mirror (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeo, T. Saito and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会
• [学会発表] Electroforming process specialized for fabrication of x-ray ellipsoidal mirror (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, S. Egawa, Y. Takeo, and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会
• [学会発表] Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror, (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Takei, T. Higashi and H. Mimura
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会
• [学会発表] Replication result of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming (2016)
  • 著者名/発表者名: S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura
  • 学会等名: The 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies
  • 発表場所: Suzhou China
  • 年月日: 2016-04-27
  • 国際学会
• [学会発表] Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors (2016)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura
  • 学会等名: 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2016-04-19
  • 国際学会
• [学会発表] Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura
  • 学会等名: 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2016-04-19
  • 国際学会
• [学会発表] ピンホールマスクを 用いた高分解能形状 修正成膜法の開発 第 2 報-数値制御シ ステムによる任意形 状創成- (2016)
  • 著者名/発表者名: 長山光、本山央人、三村秀和
  • 学会等名: 2016年精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京理科大学
  • 年月日: 2016-03-15
• [学会発表] 位相回復法を用いた転楕円ミラーの形状計測高精度化 (2016)
  • 著者名/発表者名: 竹尾陽子、齋藤貴宏、三村秀和
  • 学会等名: 2016年度精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京理科大学
  • 年月日: 2016-03-15
• [学会発表] 放射光ナノビーム開発の現状と展望 (2016)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: 東北放射光施設（SLiT-J）利用分野調査検討ワークショップ
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2016-01-19
  • 招待講演
• [学会発表] 回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発と自由電子レーザへの展開 (2016)
  • 著者名/発表者名: 本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和
  • 学会等名: 第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2016-01-09
• [学会発表] 複雑な形状を有するＸ線ミラー作製のための高分解能形状修正成膜法の開発 (2016)
  • 著者名/発表者名: 長山光、本山央人、三村秀和
  • 学会等名: 第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2016-01-09
• [学会発表] 軟X線結像のためのウォルターミラーの開発 (2016)
  • 著者名/発表者名: 江川悟、竹尾陽子、本山央人、久米健大、武井良憲、三村秀和
  • 学会等名: 第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2016-01-09
• [学会発表] 極限集光光学システムによる超高強度X線パルスの実現 (2016)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会第３６回年次大会
  • 発表場所: 名城大学
  • 年月日: 2016-01-09
  • 招待講演
• [学会発表] 高精度マンドレル作製と高精度形状転写による軟 X 線回転楕円ミラーの作製 (2016)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲，久米健大，竹尾陽子，三村秀和
  • 学会等名: 第29回日本放射光学会年会・放射光科学シンポジウム
  • 発表場所: 東京大学
• [学会発表] フレネルミラー光学系による軟X線ビームの空間コヒーレンス評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 竹尾陽子、本山央人、仙波泰徳、岸本 輝、大橋治彦、三村秀和
  • 学会等名: 第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 東京大学
• [学会発表] 軟X線用回転体集光ミラー開発の現状と今後の展開 (2015)
  • 著者名/発表者名: 三村秀和
  • 学会等名: X線ナノ集光技術研究会2015
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2015-10-31
  • 招待講演
• [学会発表] 回転楕円ミラーによる軟X線集光システムの開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015
  • 発表場所: 筑波大学東京キャンパス文京校舎
  • 年月日: 2015-10-28
• [学会発表] 軟X線結像用ウォルターミラーの形状評価と結像性能の予測 (2015)
  • 著者名/発表者名: 江川悟、久米健大、武井良憲、竹尾陽子、斎藤貴宏、三村秀和
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015
  • 発表場所: 筑波大学東京キャンパス文京校舎
  • 年月日: 2015-10-28
• [学会発表] タイコグラフィ位相回復法による集光波面計測の高精度化 (2015)
  • 著者名/発表者名: 竹尾陽子、齋藤貴宏、三村秀和
  • 学会等名: 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015
  • 発表場所: 筑波大学東京キャンパス文京校舎
  • 年月日: 2015-10-28
• [学会発表] Ptychographic phase retrieval method for characterizing ultra-precise ellipsoidal mirrors (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura
  • 学会等名: SPIE Optifab 2015
  • 発表場所: Rochester USA
  • 年月日: 2015-10-12
• [学会発表] 電析膜の内部応力測定と電鋳法の形状転写性能評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 久米健大、江川悟、山口豪太、三村秀和
  • 学会等名: 2015年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2015-09-04
• [学会発表] イオンビームスパッタ成膜法による回転楕円ミラーの内面形状修正装置の開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 本山央人、長山光、三村秀和
  • 学会等名: 2015年精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2015-09-04
• [学会発表] ピンホールマスクを用いた高分解能形状修正成膜手法の開発修正装置の開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 長山光、本山央人、三村秀和
  • 学会等名: 2015年精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2015-09-04
• [学会発表] 軟X線結像用ウォルターミラーの作製と形状精度の評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 江川悟、久米健大、竹尾陽子、斎藤貴宏、武井良憲、三村秀和
  • 学会等名: 2015年精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2015-09-04
• [学会発表] 回転楕円ミラー用マンドレルの形状計測装置の開発とその形状修正加工 (2015)
  • 著者名/発表者名: 武井良憲，東隆裕，三村秀和
  • 学会等名: 2015年度精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2015-09-04
• [学会発表] Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi
  • 学会等名: 2015 Optics + Photonics
  • 発表場所: San Diego USA
  • 年月日: 2015-08-09
  • 国際学会
• [学会発表] Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura
  • 学会等名: 2015 Optics + Photonics
  • 発表場所: San Diego USA
  • 年月日: 2015-08-09
  • 国際学会
• [学会発表] High-order Harmonics Focusing with Ellipsoidal Mirror in Soft X-ray Region (2015)
  • 著者名/発表者名: H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura
  • 学会等名: International Workshop on X-Ray Optics and Metrology (IWXM2015)
  • 発表場所: Berkeley, USA
  • 年月日: 2015-07-13
  • 国際学会
• [学会発表] Effect of Electrodeposition Conditions on Replication Accuracy of Electroforming (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura
  • 学会等名: EUSPEN 15th International Conference
  • 発表場所: Leuven, Belgium
  • 年月日: 2015-07-01
  • 国際学会
• [産業財産権] 精密電鋳法のための気泡除去方法 (2017)
  • 発明者名: 山口豪太、三村秀和
  • 権利者名: 東京大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2017-096795
  • 出願年月日: 2017
• [産業財産権] 精密電鋳のための気泡除去方法 (2016)
  • 発明者名: 久米健大、三村秀和
  • 権利者名: 久米健大、三村秀和
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2016-113951
  • 出願年月日: 2016-06-07
• [産業財産権] 高NA集光素子の出口波面計測方法及び出口波面計測システム (2015)
  • 発明者名: 竹尾陽子、三村秀和
  • 権利者名: 東京大学
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2015-158575
  • 出願年月日: 2015-08-10