研究課題
基盤研究(A)
様々なX線分析方法の性能の鍵を握る技術にX線集光がある。本研究では、X線の中でも波長1nm~10nmの軟X線領域を対象としたミラーによる集光技術の開発を目的としている。本研究では、回転体ミラーの形状精度を向上させるとともに、回転体ミラーを有効に活用することができるリング集光ミラーと回転体ミラーによる2段集光システムを提案した。コンパクトな高次高調波軟X線光源を利用し、回転体ミラーの軟X線集光に関する基礎的な知見を蓄え、SPring-8において回転体ミラーを用いた軟X線集光システムを構築した。2段集光システムを完成させサイズ200nm以下の軟X線集光を確認した。
ミラーによる軟X線集光システムは理論的な性能は高いが、その作製が困難であったため利用されていなかった。本研究により、ミラーの製造技術が大幅に進歩するとともに、実際に軟X線集光が実証され、今後、ミラーによる集光技術が普及すると考えている。その結果、多くのX線分析装置の性能が向上し、電池材料や半導体材料の新規開発に貢献する。
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