• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

2軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出

研究課題

研究課題/領域番号 15H02212
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東北大学

研究代表者

高 偉  東北大学, 工学研究科, 教授 (70270816)

研究分担者 清水 裕樹  東北大学, 工学研究科, 准教授 (70606384)
伊東 聡  東北大学, 工学研究科, 助教 (00624818)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 交付 (2015年度)
配分額 *注記
19,110千円 (直接経費: 14,700千円、間接経費: 4,410千円)
2015年度: 19,110千円 (直接経費: 14,700千円、間接経費: 4,410千円)
キーワード超精密計測 / 生産工学 / 加工学

URL: 

公開日: 2015-04-16   更新日: 2022-11-04  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi