研究課題
基盤研究(A)
本研究では，バイアス電圧を印加したDLC表面から放出される光電子を有機ガス分子が捕獲し，その分子が部分的に分解されDLC表面に化学吸着する現象を利用して，超薄膜の耐摩耗性に優れたDLC複合潤滑膜を形成することを目的とする．具体的にはハードディスク装置の高記録密度化を対象として，(1)大気圧光電子アシストUV照射による複合潤滑膜開発，(2)光電子アシスト有機薄膜CVD法の開発，(3)超薄膜DLC複合潤滑膜の開発，(4)DLC膜と潤滑剤・添加剤のトライボ電子に起因するトライボ化学反応の解明を行った．
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すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (14件) (うち国際共著 1件、 査読あり 14件、 謝辞記載あり 8件) 学会発表 (54件) (うち国際学会 23件、 招待講演 2件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件)
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