研究課題/領域番号 |
15H02297
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研究種目 |
基盤研究(A)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
複合材料・表界面工学
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研究機関 | 京都大学 |
研究代表者 |
杉村 博之 京都大学, 工学研究科, 教授 (10293656)
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研究分担者 |
一井 崇 京都大学, 工学研究科, 准教授 (30447908)
宇都宮 徹 京都大学, 工学研究科, 助教 (70734979)
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研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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配分額 *注記 |
44,590千円 (直接経費: 34,300千円、間接経費: 10,290千円)
2017年度: 9,620千円 (直接経費: 7,400千円、間接経費: 2,220千円)
2016年度: 12,480千円 (直接経費: 9,600千円、間接経費: 2,880千円)
2015年度: 22,490千円 (直接経費: 17,300千円、間接経費: 5,190千円)
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キーワード | 異種接合 / 表面接合 / 真空紫外光 / 高分子材料 / 無機材料 / 金属材料 / 光化学反応 / 自己集積化単分子膜 / 原子平坦面 / 表面処理 / 光化学 |
研究成果の概要 |
改質した部材表面同士を圧着するだけで接着剤無しに低温で接合する、高分子材料と無機材料の表面接合技術を開発した。ポリマー表面を真空紫外(Vacuum Ultra-Violet, VUV)光照射プロセスによって改質し、無機材料表面には有機単分子膜を被覆しポリマーと同様にVUV処理することで、ガラス転移点以下の低温接合を実現した。次に、表面平滑化が接合温度に与える影響を調べ、10nm程度の凹凸まで平滑化することで大幅な条件改善を得た。さらに、原子レベルの平滑面を有する平滑シリコン・酸化アルミニウム・チタン基板試料を作製し、これらの試料では室温接合が可能でかつ単分子膜被覆も不要であることを示した。
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