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窒化物半導体におけるプラズモン誘導光透過現象と紫外発光デバイス光制御への応用

研究課題

研究課題/領域番号 15H03556
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 結晶工学
研究機関三重大学

研究代表者

平松 和政  三重大学, 工学研究科, 教授 (50165205)

研究分担者 三宅 秀人  三重大学, 地域イノベーション学研究科, 教授 (70209881)
元垣内 敦司  三重大学, 工学研究科, 准教授 (00303751)
研究協力者 林 家弘  
林 侑介  
XIAO SHIYU  
吉澤 涼  
岡田 俊祐  
伊藤 優佑  
渡邊 直也  
河合 祥也  
福田 涼  
田中 襲一  
中嶋 智康  
鈴木 周平  
水戸 慎也  
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2017年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2016年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2015年度: 11,960千円 (直接経費: 9,200千円、間接経費: 2,760千円)
キーワード窒化物半導体 / 窒化アルミニウム / 紫外線発光デバイス / 表面プラズモン / プラズモン誘導透過現象 / 極性 / 非極性 / 金属 / 回折格子 / プラズモン誘導光透過 / 光物性 / 応用光学・量子光工学 / 結晶工学 / 結晶成長 / 紫外線発光素子
研究成果の概要

本研究では、原子レベル平坦性を有する極性・非極性AlGaN高品質結晶と2層型ワイヤグリッド格子(2WGP)によるプラズモン誘導光透過を用いて、高性能紫外域光デバイス(紫外域偏光制御、高効率紫外発光素子)の実現を目指して研究を行った。結晶成長に関する研究では極性・非極性AlGaN高品質結晶作製を得るための見通しを得ることができた。また、金属回折格子構造を用いてプラズモン誘導光透過の制御ができることを明らかにした。これらの知見に基づき、今後高性能紫外域光デバイスへの見通しを得ることができた。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (86件)

すべて 2018 2017 2016 2015 その他

すべて 雑誌論文 (13件) (うち国際共著 4件、 査読あり 13件、 オープンアクセス 4件、 謝辞記載あり 7件) 学会発表 (68件) (うち国際学会 20件、 招待講演 4件) 備考 (5件)

  • [雑誌論文] Effect of thermal annealing on AlN films grown on sputtered AlN templates by metalorganic vapor phase epitaxy2018

    • 著者名/発表者名
      Yoshizawa, R; Miyake, H; Hiramatsu, K
    • 雑誌名

      JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

      巻: 57 号: 1S ページ: 01AD05-01AD05

    • DOI

      10.7567/jjap.57.01ad05

    • NAID

      210000148548

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Structural study of GaN grown on nonpolar bulk GaN substrates with trench patterns2017

    • 著者名/発表者名
      Okada, S; Iwai, H; Miyake, H; Hiramatsu, K
    • 雑誌名

      JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

      巻: 56 号: 12 ページ: 125504-125504

    • DOI

      10.7567/jjap.56.125504

    • NAID

      210000148460

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Excitation mechanism of surface plasmon polaritons in a double-layer wire grid structure2017

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Motogaito, Tomoyasu Nakajima, Hideto Miyake and Hiramatsu Kazumasa
    • 雑誌名

      Applied Physics A

      巻: 123 号: 12 ページ: 729-729

    • DOI

      10.1007/s00339-017-1367-6

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective area growth of GaN on trench-patterned nonpolar bulk GaN substrates2017

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Iwai, H. Miyake, K. Hiramatsu
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 印刷中 ページ: 851-855

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2016.12.011

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of high-crystallinity a-plane AlN films grown on r-plane sapphire substrates by modulating buffer-layer growth temperature and thermal annealing conditions2016

    • 著者名/発表者名
      Chia-Hung Lin, Yasuhiro Yamashita, Hideto Miyakea, Kazumasa Hiramatsu
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 印刷中 ページ: 845-850

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2016.09.076

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effect of surface pretreatment of r-plane sapphire substrates on the crystal quality of a-plane AlN2016

    • 著者名/発表者名
      Chia-Hung Lin, Daiki Yasui, Shinya Tamaki, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 5S ページ: 05FA12-05FA12

    • DOI

      10.7567/jjap.55.05fa12

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of AlN buffer layer thickness on the crystallinity and surface morphology of 10-μm-thick a-plane AlN films grown on r-plane sapphire substrates2016

    • 著者名/発表者名
      Chia-Hung Lin, Shinya Tamaki, Yasuhiro Yamashita, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 9 号: 8 ページ: 081001-081001

    • DOI

      10.7567/apex.9.081001

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Detecting High-Refractive-Index Media Using Surface Plasmon Sensor with One-Dimensional Metal Diffraction Grating2016

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Motogaito, Shinya Mito, Hideto Miyake, Kazumasa Hiramatsu
    • 雑誌名

      Optics and Photonics Journal

      巻: 6 号: 07 ページ: 164-170

    • DOI

      10.4236/opj.2016.67018

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Preparation of high-quality AlN on sapphire by high-temperature face-to-face annealing2016

    • 著者名/発表者名
      H. Miyake, C.-H. Lin, K. Tokoro, K. Hiramatsu
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 456 ページ: 155-159

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2016.08.028

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Surface thermal stability of free-standing GaN substrates2016

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Miyake, K. Hiramatsu, R. Miyagawa, O Eryu and T. Hasegawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AC08-01AC08

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01ac08

    • NAID

      210000145956

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Annealing of an AlN buffer layer in N-2-CO for growth of a high-quality AlN film on sapphire2016

    • 著者名/発表者名
      H. Miyake, G. Nisho, S. Suzuki, K. Hiramatsu, H. Fukuyama, J. Kuar and N. Kuwano
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 9 号: 2 ページ: 025501-025501

    • DOI

      10.7567/apex.9.025501

    • NAID

      210000137795

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Extraordinary Optical Transmission Exhibited by Surface Plasmon Polaritons in a Double-Layer Wire Grid Polarizer2015

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, Y. Morishita, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 雑誌名

      Plasmonics

      巻: 10 号: 6 ページ: 1657-1662

    • DOI

      10.1007/s11468-015-9980-8

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication and optical characterization of a 2D metal periodic grating structure for cold filter application2015

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, M. Kito, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 雑誌名

      Proc.of SPIE Micro+Nano Materials, Devices, and Systems

      巻: 9668 ページ: 96681Q-96681Q

    • DOI

      10.1117/12.2201116

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの作製及び感度評価2018

    • 著者名/発表者名
      伊藤優佑、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 二層型ワイヤーグリッド構造における伝搬型表面プラズモンの伝搬特性に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      渡邊直也、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 焦点制御型回折レンズの作製と集光特性評2018

    • 著者名/発表者名
      加藤 亮、元垣内 敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      平成30年度照明学会東海支部若手セミナー
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Agワイヤーグリッド構造を用いたプラズモニック波長板の作製に関する研究2018

    • 著者名/発表者名
      渡邊 陽生、元垣内 敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      平成30年度照明学会東海支部若手セミナー
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] MOVPE法によるAlN成長における窒化温度の影響2017

    • 著者名/発表者名
      河合 祥也、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法を用いたサファイア基板上へのAlN堆積2017

    • 著者名/発表者名
      山木 佑太、岩山 章、三宅 秀人、平松 和政、小松 永治、寺山 暢之
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法AlN膜の高温アニールとHVPE法によるホモエピ成長2017

    • 著者名/発表者名
      劉 怡康、三宅 秀人、平松 和政、岩谷 素顕、赤﨑 勇
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 溝加工(10-10)GaN基板上へのGaN選択横方向成長2017

    • 著者名/発表者名
      岡田 俊祐、岩生 浩季、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの光学特性及び感度評価2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤 優佑、元垣内 敦司、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Agを用いた二層型ワイヤーグリッド構造の入射角度依存性2017

    • 著者名/発表者名
      渡邊 直也、元垣内 敦司、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Thermal Annealing on AlN Films Grown on Sputtered AlN Templates2017

    • 著者名/発表者名
      Ryo Yoshizawa, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      9th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      中部大学(愛知県・春日井市)
    • 年月日
      2017-03-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの 周期及び入射角度依存性と感度特性2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤優佑、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      伊勢市民観光文化会館(三重県・伊勢市)
    • 年月日
      2017-01-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 表面プラズモンを用いたワイヤーグリッド偏光子の偏光特性評価に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      中嶋智康、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      伊勢市民観光文化会館(三重県・伊勢市)
    • 年月日
      2017-01-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Au 2次元回折格子構造による光学素子の作製と光学特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山田泰士、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      伊勢市民観光文化会館(三重県・伊勢市)
    • 年月日
      2017-01-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Excitation Mechanism of Surface Plasmon Polaritons in a Double-Layer Wire Grid Structure2017

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Motogaito, Tomoyasu Nakajima, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific Conference on Near Field Optics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] The Sensor Characteristics of Surface Plasmon Sensor using the 1D Metal Diffraction Grating2017

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Ito, Atsushi Motogaito, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific Conference on Near Field Optics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの感度評価2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤優佑、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Agを用いた二層型ワイヤーグリッド構造の周期と波長の依存性2017

    • 著者名/発表者名
      渡邊直也、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 化合物半導体を用いたセンサー応用技術 ソーラーブラインド紫外線センサーと表面プラズモンセンサー2017

    • 著者名/発表者名
      元垣内敦司
    • 学会等名
      日本セラミクス協会第30回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] LEDを用いた植物栽培と環境計測用表面プラズモンセンサー2017

    • 著者名/発表者名
      元垣内敦司
    • 学会等名
      第9回 BioOpto Japan カンファレンス
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] バイナリ構造を用いた焦点制御型回折レンズの作製と特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      元垣内敦司、井口陽介、加藤秀治、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and characterization of a binary diffractive lens for controlling the focal length and depth of focus2017

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Motogaito, Yousuke Iguchi, Shuji Kato, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      The 22nd Microoptics Conference
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ナノ構造を用いた光制御技術とLED照明の応用2017

    • 著者名/発表者名
      元垣内敦司
    • 学会等名
      電子情報通信学会東北支部 学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 疑似位相整合SHGに向けたFace to FaceアニールによるAlN分極反転構造の作製2017

    • 著者名/発表者名
      林 侑介、三宅 秀人、平松 和政、片山 竜二
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] MOVPE法によるAlN膜のface-to-faceアニール2017

    • 著者名/発表者名
      田中 襲一、岡田 俊祐、林 侑介、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法で成膜したr面サファイア基板上a面AlNの高品質化2017

    • 著者名/発表者名
      福田 涼、山木 佑太、林 侑介、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] スパッタ法AlN基板へのMOVPE法によるホモ成長2017

    • 著者名/発表者名
      吉澤 涼、林 侑介、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子デバイス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Face to Face法アニールによる AlN極性反転構造の作製と疑似位相整合 SHGへの応用2017

    • 著者名/発表者名
      林 侑介、三宅秀人、平松和政、秋山 亨、伊藤智徳、片山竜二
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子デバイス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Face to Face 高温アニールで生じるAlN膜内歪の定量的評価2017

    • 著者名/発表者名
      谷川健太朗、鈴木涼矢、岩山章、林侑 介、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第46回結晶成長国内会議
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] サファイア基板上AlNテンプレートの高温アニール2017

    • 著者名/発表者名
      三宅 秀人、林 侑介、Shiyu Xiao
    • 学会等名
      第46回結晶成長国内会議
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Face to Face アニールによる AlN 分極反転構造の作製と評価2017

    • 著者名/発表者名
      林 侑介、三宅 秀人、 平松 和政、 片山 竜二
    • 学会等名
      第9回 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] The study of high-temperature annealing process of sputtered AlN films2017

    • 著者名/発表者名
      S. Xiao, Y. Liu, H. Miyake, K. Hiramatsu, S. Harada, and T. Ujihara
    • 学会等名
      第9回 ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] nvestigation of the sputtered AlN films qualitative improvement process by high- temperature annealing2017

    • 著者名/発表者名
      Shi-yu Xiao, Yi-kang Liu, Hideto Miyake, Kazumasa Hiramatsu, Shunta Harada, Toru Ujihara
    • 学会等名
      The 12th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Study of curvature during thermal annealing of AlN on sapphire2017

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Okada, Hideto Miyake, Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      Shunsuke Okada, Hideto Miyake, Kazumasa Hiramatsu
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの光学特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      伊藤優佑、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      日本光学会ナノオプティクス研究グループ 第23回研究討論会
    • 発表場所
      大阪大学吹田キャンパス(大阪府・吹田市)
    • 年月日
      2016-11-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Agを用いた二層型ワイヤーグリッド構造の光学特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      渡邊直也、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      日本光学会ナノオプティクス研究グループ 第23回研究討論会
    • 発表場所
      大阪大学吹田キャンパス(大阪府・吹田市)
    • 年月日
      2016-11-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Detecting High-refractive-index (n>1.5) Media using Surface Plasmon Sensor with One-dimensional Au Diffraction Grating on Glass Substrate2016

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Motogaito, Shinya Mito, HidetoMiyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      Light, Energy and the Environment Congress
    • 発表場所
      Leipzig (Germany)
    • 年月日
      2016-11-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ワイヤーグリッド構造における表面プラズモン 分散曲線と透過率マッピング2016

    • 著者名/発表者名
      中嶋智康、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      筑波大学東京キャンパス(東京都・文京区)
    • 年月日
      2016-10-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Au2次元回折格子による光学ミラーの作製と光学特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      山田泰士、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      筑波大学東京キャンパス(東京都・文京区)
    • 年月日
      2016-10-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of High-Quality AlN Template on Sapphire by HighTemperature Annealing2016

    • 著者名/発表者名
      Hideto Miyake, Chia-Hung Lin, Yikang Liu and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Orlando (USA)
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Structural Study of GaN Grown on Nonpolar Bulk GaN Substrates with Trench Patterns2016

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Okada, Hiroki Iwai, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Orlando (USA)
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of AlN Buffer Layer Thickness on Crystallinity and Surface Morphology of 10-μm-Thick A-Plane AlN Films Grown on R-Plane Sapphire Substrates2016

    • 著者名/発表者名
      Chia-Hung Lin, Shinya Tamaki, Yasuhiro Yamashita, Hideto Miyake and Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Orlando (USA)
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] The controlling of transmittance and reflectance of a 2D metal periodic grating structure for cold filter application2016

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Motogaito, Masanori Kito, Hideto Miyake, Kazumasa Hiramatsu
    • 学会等名
      JSAP-OSA Joint Symposia
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーの周期及び入射角度依存性2016

    • 著者名/発表者名
      伊藤優佑、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層厚さ依存性2016

    • 著者名/発表者名
      林 家弘、玉置 真哉、山下 泰弘、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Relationship between Space Control and Optical Properties of a Double-layer Surface Plasmon Wire Grid Polariser2016

    • 著者名/発表者名
      T. Nakajima, A. Motogaito, H. Miyake, K. Hiramatsu
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Near-field Optics, Nanophotonics, and Related Techniques
    • 発表場所
      アクトシティ浜松コングレスセンター(静岡県・浜松市)
    • 年月日
      2016-09-04
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Growth of GaN on trench patterned non-polar bulk GaN substrates2016

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Iwai, H. Miyake, K. Hiramatsu
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Crystal Growth and Epitaxy
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2016-08-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of buffer-layer growth temperature and thermal annealing conditions on a-plane AlN films grown on r-plane sapphire2016

    • 著者名/発表者名
      C.-H. Lin, Y. Yamashita, H. Miyake, K. Hiramatsu
    • 学会等名
      The 18th International Conference on Crystal Growth and Epitaxy
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2016-08-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] r 面サファイア上への a 面 AlN 成長におけるバッファ層の成長温度およびバッファ層アニール条件依存性2016

    • 著者名/発表者名
      林 家弘 、山下 泰弘 、三宅 秀人、平松 和政
    • 学会等名
      第8回 窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス ローム記念館(京都府・京都市)
    • 年月日
      2016-05-09
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] サブ波長構造を有するAu2次元回折格子の作製と光学特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      山田泰士、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 2層型ワイヤーグリッド偏光子の空間制御と光学特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      中嶋智康、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] RF加熱式HVPE法を用いたサファイア基板上へのAlN成長2016

    • 著者名/発表者名
      山下泰弘、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] AlGaN多重量子井戸成長におけるAlNバッファ層の効果2016

    • 著者名/発表者名
      藤田直宏、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] AlN成長のための空気中アニールによるc面サファイアの原子ステップ形成2016

    • 著者名/発表者名
      玉置真哉、鈴木周平、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層成長温度依存性2016

    • 著者名/発表者名
      林家弘、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス(東京都・目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and optical characterization of a 2D metal periodic grating structure for cold filter application2015

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, M. Kito, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 学会等名
      SPIE Micro+Nano Materials, Devices, and Systems
    • 発表場所
      Sydney(Australia)
    • 年月日
      2015-12-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 微傾斜角度の異なるc面サファイア基板上へのAlN成長とN2-COアニール2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木周平、林家弘、三宅秀人、平松和政、福山博之
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪府・大阪市)
    • 年月日
      2015-11-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] AlN/Sapphire基板を用いたRF加熱式HVPEによるAlN成長2015

    • 著者名/発表者名
      安井大貴、三宅秀人、平松和政、岩谷素顕、赤﨑勇、天野浩
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪府・大阪市)
    • 年月日
      2015-11-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Ag細線構造を用いた二層型ワイヤーグリッド偏光子の光学特性2015

    • 著者名/発表者名
      辻村一希、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会
    • 発表場所
      筑波大学東京キャンパス(東京都・文京区)
    • 年月日
      2015-10-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Detecion of high-refractive index media by a surface plasmon sensor using a one dimensional metal diffraction grating2015

    • 著者名/発表者名
      S.Mito, A.Motogaito, H.Miyake and K.Hiramatsu
    • 学会等名
      The 20th MICROOPTICS CONFERENCE
    • 発表場所
      福岡国際会議場(福岡県・福岡市)
    • 年月日
      2015-10-25
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Transmission of the Double-layer Wire Grid Polarizer and its Dependence on the Incident Angle and the Periodical Structures2015

    • 著者名/発表者名
      A. Motogaito, Y. Morishita, H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 学会等名
      JSAP-OSA Joint Symposia
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一次元金属回折格子を用いた伝搬型表面プラズモンセンサーによる高屈折率媒質の検出(Ⅱ)2015

    • 著者名/発表者名
      水戸慎也、元垣内敦司、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 2層型2次元金属回折格子の作製とフィルター特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      元垣内敦司、鬼頭壮宜、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層アニール効果2015

    • 著者名/発表者名
      林家弘、安井大貴、玉置真哉、三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] サファイア上への窒化物半導体エピタキシーにおける界面制御2015

    • 著者名/発表者名
      三宅秀人、平松和政
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Optimization of Growth Conditions for A-Plane AlN on R-Plane Sapphire2015

    • 著者名/発表者名
      C.-H. Lin,S. Suzuki,H. Miyake and K. Hiramatsu
    • 学会等名
      2015 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      Moscone West Convention Center, San Francisco, California
    • 年月日
      2015-04-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature Dependence on AlN Buffer Layer in N2-CO Ambient2015

    • 著者名/発表者名
      S. Suzuki,H. Miyake,K. Hiramatsu and H. Fukuyama
    • 学会等名
      2015 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      Moscone West Convention Center, San Francisco, California
    • 年月日
      2015-04-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of Thermal Cleaning on the Surface of Free-Standing GaN Substrates2015

    • 著者名/発表者名
      S. Okada, H. Miyake, K. Hiramatsu, R. Miyagawa, O. Eryu and T. Hashizume
    • 学会等名
      2015 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      Moscone West Convention Center, San Francisco, California
    • 年月日
      2015-04-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 オプトエレクトロニクス研究室

    • URL

      http://www.opt.elec.mie-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考] 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 オプトエレクトロニクス研究室

    • URL

      http://www.opt.elec.mie-u.ac.jp

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [備考] 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻オプトエレクトロニクス研究室

    • URL

      http://www.opt.elec.mie-u.ac.jp

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [備考] 三重大学 極限ナノエレクトロニクスセンター

    • URL

      http://www.cute.rc.mie-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [備考] 三重大学全学シーズ集

    • URL

      http://www.crc.mie-u.ac.jp/seeds/contents/detail.php?mid=20100108-113310&t=r&url=

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-03-29  

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