| 研究課題/領域番号 |
15H03582
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 大阪大学 (2017)
京都大学 (2015-2016) |
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研究代表者 |
斧 高一 大阪大学, 接合科学研究所, 特任教授 (30311731)
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| 研究分担者 |
江利口 浩二 京都大学, 工学研究科, 教授 (70419448)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2015年度: 11,570千円 (直接経費: 8,900千円、間接経費: 2,670千円)
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| キーワード | プラズマ加工 / プラズマ化学 / 表面・界面物性 / 半導体超微細化 / 微細加工形状 / 反応粒子輸送 / プラズマエッチング / プラズマ・表面過程揺動 / 超微細加工形状 |
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| 研究成果の概要 |
プラズマと固体表面との相互作用による自己組織的な表面ナノ周期構造形成について，プラズマ・プロセス実験 (塩素プラズマによるシリコンエッチング) とモデリング・シミュレーション (モンテカルロ法をベースとした独自の3次元原子スケールセルモデル，分子動力学法) を駆使して，その形成機構を解析・モデル化するとともにプラズマ条件を探索し，シース制御板を用いて基板表面へのイオン斜め入射を実現することにより波長数10 nm 程度の鋸波状リップル (波状のナノ周期構造) の形成を実験実証した．また，その形成において，イオンの基板表面での反射／散乱が重要な役割を担うことを明らかにした．
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