| 研究課題/領域番号 |
15H03913
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
流体工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
石本 淳 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (10282005)
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| 研究分担者 |
堀邊 英夫 大阪市立大学, 大学院工学研究科, 教授 (00372243)
松浦 一雄 愛媛大学, 大学院理工学研究科, 准教授 (20423577)
真田 俊之 静岡大学, 大学院総合科学技術研究科, 准教授 (50403978)
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| 連携研究者 |
落合 直哉 東北大学, 流体科学研究所, 助教 (40614508)
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| 研究協力者 |
Combescure Alain INSA de Lyon, LaMCoS, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2017年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2016年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 10,140千円 (直接経費: 7,800千円、間接経費: 2,340千円)
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| キーワード | 混相流 / 極低温 / 微粒化 / 流体解析 / 噴霧 / 半導体洗浄 / 超高熱流束 / 冷却 / ナノ洗浄 |
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| 研究成果の概要 |
水を必要としないサブミクロン・ナノオーダ極低温微細固体窒素粒子高速噴霧流の有する高機能洗浄性に着目し，一成分型超断熱二相ラバルノズル方式による極低温窒素混相流の超音速加速とメガソニック微粒化・氷核生成促進の融合技術により生成される，極低温マイクロ・ナノ固体粒子噴霧連続生成システムを開発した．
続いて，本システムをフォトレジストのはく離と半導体物理洗浄に適用した際の性能評価に関する計測融合型コンピューティング，ToF-SIMS, XPS計測を実施した．その結果，本方式による極低温洗浄法は特にノボラック系レジストのはく離・洗浄に対して有効であることを明らかにした．
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