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液中での近接デリバリを可能にする磁歪駆動型デュアルAFMプローブの開発

研究課題

研究課題/領域番号 15H03940
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関山形大学

研究代表者

峯田 貴  山形大学, 大学院理工学研究科, 教授 (50374814)

研究分担者 小池 邦博  山形大学, 大学院理工学研究科, 准教授 (40241723)
連携研究者 奥野 貴士  山形大学, 大学院理工学研究科, 准教授 (80411031)
柴田 隆行  豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10235575)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円)
2017年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2016年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2015年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
キーワードAFMプローブ / 近接探針 / 磁歪薄膜 / 液中デリバリ / MEMS / 近接デュアル探針 / デュアルAFMプローブ / 中空カンチレバー / 磁歪薄膜アクチュエータ / 液体デリバリ
研究成果の概要

観察と他の機能を使い分けるマルチ原子間力顕微鏡(AFM)プローブへの期待は大きく,特にバイオ分野を中心に分子操作用ツールとして大きな期待が寄せられている。本研究は,分子像を高解像AFM観察しつつ,その場で探針を切り替えて試薬・生体分子等を観察試料近傍へデリバリする機能の実現を目的として、サブμmのギャップで近接したデュアル探針をもつ中空構造のデュアルAFMプローブを形成し,カンチレバーを大変位駆動する高品質磁歪薄膜アクチュエータによりプローブを切り替えて使い分けできる機構を開発した。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (53件)

すべて 2018 2017 2016 2015 その他

すべて 雑誌論文 (11件) (うち査読あり 11件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (39件) (うち国際学会 13件、 招待講演 2件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] MEMS Magnetic Sensor with Bridge-Type Resonator and Magnetostrictive Thin Film2018

    • 著者名/発表者名
      Naoki Okada, Takashi Sasabuchi, Kunihiro Koike, Takashi Mineta
    • 雑誌名

      Electronics and Communications in Japan

      巻: 101 ページ: 90-95

    • NAID

      210000160450

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Nd2Fe14B/α-Feナノコンポジット薄膜磁石の界面と交換結合2018

    • 著者名/発表者名
      小池邦博、小川大介、加藤宏朗
    • 雑誌名

      日本磁気学会会誌・まぐね

      巻: 13 ページ: 1927-1927

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ2017

    • 著者名/発表者名
      岡田尚樹, 笹淵貴史, 小池邦博,
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 137 号: 8 ページ: 234-238

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.137.234

    • NAID

      130005876086

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of orientation-controlled nanocomposite Nd2Fe14B/Mo/α-Fe multilayer films2017

    • 著者名/発表者名
      K. Kobayashi, D. Ogawa, K. Koike, H. Kato, M. Oogane, T. Miyazaki, Y. Ando, and M. Itakura
    • 雑誌名

      IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series

      巻: 903 ページ: 1-3

    • DOI

      10.1088/1742-6596/903/1/012015

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Microstructure and coercivity in La-coated Nd2Fe14B thin films2017

    • 著者名/発表者名
      M. Itakura, J. Fukuda, K. Koike, H. Ishikawa, D. Ogawa, and H. Kato
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 7 号: 3

    • DOI

      10.1063/1.4977966

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tips and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator2017

    • 著者名/発表者名
      Takashi Mineta, Kenta Kawashima, Ryoga Taguchi
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 168 ページ: 45-49

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 薄膜プロセスによるNd2Fe14Bの界面修飾と磁気特性2016

    • 著者名/発表者名
      小池邦博、小川大介、加藤宏朗
    • 雑誌名

      日本磁気学会会誌・まぐね

      巻: 11 ページ: 333-343

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価2016

    • 著者名/発表者名
      笹渕貴史, 岡田尚樹, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 136 号: 9 ページ: 408-412

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.136.408

    • NAID

      130005262083

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成2016

    • 著者名/発表者名
      三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太, 峯田貴
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 136 号: 7 ページ: 312-318

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.136.312

    • NAID

      130005160446

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Large difference between the magnetic properties of Ba and Ti co-doped BiFeO3 bulk materials and their corresponding nanoparticles prepared by ultrasonication2016

    • 著者名/発表者名
      B. Ahmmad, K. Kanomata, K. Koike, S. Kubota, H. Kato, F. Hirose, A. Billah, M A Jalil and M A Basith
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 49

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Modification of the Interface Nanostructure and Magnetic Properties in Nd-Fe-B Thin Films2016

    • 著者名/発表者名
      Kunihiro Koike, Takanao Kusano, Daisuke Ogawa, Keisuke Kobayashi, Hiroaki Kato, Mikihiko Oogane, Takamichi Miyazaki, Yasuo Ando and Masaru Itakura
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 11 号: 1 ページ: 33-33

    • DOI

      10.1186/s11671-016-1227-x

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Nd-Fe-B/Fe-B系ナノコンポジット膜の微細構造と交換結合状態に与えるMo中間層の効果2018

    • 著者名/発表者名
      大橋一輝,鈴木拓哉、小池邦博,稲葉信幸,加藤宏朗,近藤政孝,板倉 賢,西田 稔
    • 学会等名
      日本金属学会2018年春期講演大会(第162回)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Nd-Fe-B/M(M=Fe, Fe-B)ナノコンポジット膜におけるNd-Fe-Bリファレンス膜の磁気特性に与えるUHVアニールの効果2018

    • 著者名/発表者名
      鈴木拓哉,大橋一輝,小池邦博,稲葉信幸,加藤宏朗,板倉 賢
    • 学会等名
      日本金属学会2018年春期講演大会(第162回)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] ネオジム系焼結磁石の強勾配磁場中熱処理と保磁力2017

    • 著者名/発表者名
      木村啓己, 大野嗣門, 水野善幸, 小池邦博, 加藤宏朗,
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部第72回学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Microstructure and magnetic properties of Nd-Fe-B/Mo/α-Fe or Fe-B multilayer thin film2017

    • 著者名/発表者名
      M. Kondo, H. Akamine, M. Itakura, M. Nishida, K. Koike and H. Kato,
    • 学会等名
      19th Cross Straits Symposium on Energy and Environmental Science & Technology (CSS-EEST19)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFM カンチレバーの形成2017

    • 著者名/発表者名
      洪振瑞, 三品和樹, 峯田貴
    • 学会等名
      第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and characterization of dual AFM cantilever with magneto-strictive film designed for large deflection2017

    • 著者名/発表者名
      Jinseo Hong, Kazuki Mishina, Takashi Mineta
    • 学会等名
      43th Int. Conf. on Micro Nano Engineering
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 流体デリバ用AFMカンチレバーの埋込型流路閉合とSi探針形状への影響2017

    • 著者名/発表者名
      増田雄介, 洪振瑞,三浦嘉隆,佐藤翼,峯田貴
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第53期秋季講演会講演論文集
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Proposal for coercivity mechanism in rare-earth magnets based on comparison between experiments on model-interface samples and ab-initio calculations2017

    • 著者名/発表者名
      H. Kato, K. Koike, D. Ogawa
    • 学会等名
      第41回 日本磁気学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ナノコンポジットNd2Fe14B/Mo/Fe-B積層膜の磁気特性2017

    • 著者名/発表者名
      大橋一輝, 神尾知志, 小池邦博, 稲葉信幸, 加藤宏朗, 小川大介,近藤政孝,板倉 賢, 大兼幹彦, 安藤康夫
    • 学会等名
      第41回 日本磁気学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Mo中間層を導入したNd-Fe-B/Fe-B系異方性ナノ積層膜磁石の微細構造解析2017

    • 著者名/発表者名
      近藤政孝、板倉 賢、西田 稔、小池邦博、加藤宏朗、齋藤 光,大橋一輝,
    • 学会等名
      日本金属学会2017年秋期講演大会(第161回)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 洪液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成2017

    • 著者名/発表者名
      洪振瑞, 増田雄介, 三浦嘉隆, 柴田隆行, 峯田貴
    • 学会等名
      電気学会センサマイクロマシン総合研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Mo 中間層の有無によるNd-Fe-B/Fe 薄膜磁石の異方性発現機構の解明2017

    • 著者名/発表者名
      近藤政孝、板倉 賢、西田 稔、小池邦博、加藤宏朗、小林圭太、Mo 中間層の有無によるNd-Fe-B/Fe 薄膜磁石の異方性発現機構の解明
    • 学会等名
      日本金属学会2017年春期講演大会(第160回)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Nd-Fe-B 系モデル磁石の界面微構造と保磁力2017

    • 著者名/発表者名
      板倉 賢、福田淳也、近藤政孝、西田 稔、石川裕也、小池邦博、加藤 宏朗
    • 学会等名
      日本金属学会2017年春期講演大会(第160回)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 液体デリバリ用AFMプローブのためのシリコンマイクロ流路とノズル形成2017

    • 著者名/発表者名
      増田雄介, 峯田貴, 洪振瑞,, 三品和樹, 佐藤翼
    • 学会等名
      第47回機械学会東北支部学生会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Miura, J. Hong, K. Mishina, T. Shibata, T. Mineta
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conf. of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
    • 発表場所
      Kanazawa Bunka Hall (Kanazawa)
    • 年月日
      2016-06-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film2016

    • 著者名/発表者名
      T. Sasabuchi, N. Okada, K. Koike, T. Mineta
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conf. of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
    • 発表場所
      Kanazawa Bunka Hall (Kanazawa)
    • 年月日
      2016-06-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool2016

    • 著者名/発表者名
      T. Mineta
    • 学会等名
      IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Eng. and Molecular Systems
    • 発表場所
      Hotel Matsushma Taikanso (Miyagi)
    • 年月日
      2016-04-18
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization2016

    • 著者名/発表者名
      J. Hong, H. Sugo, T. Mineta, I. Kakizaki
    • 学会等名
      IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Eng. and Molecular Systems
    • 発表場所
      Hotel Matsushma Taikanso (Miyagi)
    • 年月日
      2016-04-18
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 熱処理によるFePd合金膜の磁歪特性向上とMEMS磁気デバイスへの応用2016

    • 著者名/発表者名
      岡田尚樹, 笹渕貴史, 佐藤翼, 小池邦博, 峯田貴
    • 学会等名
      第45回機械学会東北支部学生会
    • 発表場所
      福島大学
    • 年月日
      2016-03-04
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization2016

    • 著者名/発表者名
      J. S. Hong, H. Sugo, T. Mineta, I. Kakizaki,
    • 学会等名
      IEEE-NEMS 2016
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool2016

    • 著者名/発表者名
      T. Mineta
    • 学会等名
      IEEE-NEMS 2016
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe2016

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Miura, Jin-seo Hong, Kazuki Mishina, Takayuki Shibata, Takashi Mineta
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film2016

    • 著者名/発表者名
      Takashi Sasabuchi, Naoki Okada, Kunihiro Koike, Takashi Mineta
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Direct evidence of orientation-dependent exchange coupling between Nd2Fe14B and α-Fe interfaces and its influence on the moment reversal process2016

    • 著者名/発表者名
      H. Kato, D. Ogawa, R. Sakaguchi, M. Itakura, K. Koike, and Y. Ando
    • 学会等名
      The 24th International Workshop on Rare-Earth and Future Permanent Magnets and Their Applications (REPM 16)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nd2Fe14B/Mo/Fe積層膜の異方的磁気特性2016

    • 著者名/発表者名
      小林奎太, 小池邦博, 小川大介, 大兼幹彦, 安藤康夫, 板倉 賢, 稲葉信幸, 加藤宏朗
    • 学会等名
      第40回日本磁気学会学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 積層型Nd-Fe-B/Mo/Fe ナノコンポジット薄膜の微細加工2016

    • 著者名/発表者名
      神尾知志, 小池邦博, 小林奎太, 小川大介, 加藤宏朗, 宮崎 孝道, 大兼幹彦, 安藤康夫, 板倉 賢
    • 学会等名
      日本金属学会2016年秋期講演大会(第159回)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ナノスケール構造制御による高性能磁石創製への指針獲得2016

    • 著者名/発表者名
      加藤宏朗, 小池邦博, 小川大介, 安藤康夫, 宮崎孝道, 板倉 賢
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ2016

    • 著者名/発表者名
      岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴
    • 学会等名
      第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 微細加工されたNd-Fe-B/Mo/Fe ナノコンポジット薄膜2016

    • 著者名/発表者名
      神尾知志,小池邦博,小林圭太,小川大介,加藤宏朗,大兼幹彦,宮崎孝道, 安藤康夫,板倉 賢
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部第71回学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Nd-Fe-B/Mo/Fe 積層膜の磁気特性に与える極簿 Mo 中間層効果2016

    • 著者名/発表者名
      小林圭太,小池邦博,小川大介,稲葉信幸,加藤宏朗,大兼幹彦,安藤康夫,板倉 賢
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部第71回学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Nd2Fe14B 系単結晶における結晶磁気異方性の再評価2016

    • 著者名/発表者名
      佐藤太音 ,小川大介 ,水野善幸 ,小池邦博,高橋弘紀,加藤宏朗
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部第71回学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Mo中間層を有するNd-Fe-B/Fe薄膜磁石の微細構造解析2016

    • 著者名/発表者名
      近藤政孝、赤嶺大志、板倉 賢、西田 稔、小池邦博、加藤宏朗
    • 学会等名
      第 58 回 日本顕微鏡学会 九州支部会議・学術講演会
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Annealing Effect on FePd Magneto-strictive Film on Si MEMS Cantilever2015

    • 著者名/発表者名
      T. Sasabuchi , N. Okada , T. Satoh, K. Koike, T. Mineta
    • 学会等名
      25th Annual Meet. of MRS-Japan
    • 発表場所
      万国橋会議センター(横浜市)
    • 年月日
      2015-12-08
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発2015

    • 著者名/発表者名
      三浦嘉隆,三品和樹,川島健太,佐藤翼,柴田隆行,峯田貴
    • 学会等名
      第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • 年月日
      2015-10-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成2015

    • 著者名/発表者名
      三品和樹,三浦嘉隆,川島健太,峯田貴
    • 学会等名
      第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • 年月日
      2015-10-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] “FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価2015

    • 著者名/発表者名
      笹渕貴史,岡田尚樹,佐藤翼,小池邦博,峯田貴
    • 学会等名
      第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • 年月日
      2015-10-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターン形成とプロテオグリカン分子固定化2015

    • 著者名/発表者名
      洪振瑞,柿崎育子,須郷秀治,峯田貴
    • 学会等名
      第7回マイクロナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟市)
    • 年月日
      2015-10-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tip and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator2015

    • 著者名/発表者名
      T. Mineta, K. Kawashma, R. Taguchi
    • 学会等名
      41th Int. Conf. on Micro Nano Engineering
    • 発表場所
      World Forum in The Hague
    • 年月日
      2015-09-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] シリコンMEMSカンチレバー上のFePd磁歪薄膜の熱処理と特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      笹渕貴史, 峯田貴
    • 学会等名
      日本機械学会2015年次大会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌市)
    • 年月日
      2015-09-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [備考] 山形大学峯田研究室HP・生体高分子の分離、分子像観察、および分子操作用マイクロ・ナノデバイス

    • URL

      http://mineta-lab.yz.yamagata-u.ac.jp/ResearchHAAFM.html

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
  • [備考] 山形大学峯田研究室HP・磁歪合金薄膜を積層したシリコンMEMSカンチレバー型デバイス

    • URL

      http://mineta-lab.yz.yamagata-u.ac.jp/ResearchFePd.html

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
  • [備考] 峯田研究室(山形大学)Research 分子操作用マルチナノプローブ

    • URL

      http://mineta_lab.yz.yamagata-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-03-29  

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