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ナノ3次元構造と構成元素の検出のための分光偏光ナノトポメトリ

研究課題

研究課題/領域番号 15H03941
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関宇都宮大学

研究代表者

大谷 幸利  宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10233165)

研究分担者 セラノオG ダビッドI  宇都宮大学, 学内共同利用施設等, 特任研究員 (80747270)
研究協力者 ネイザン ヘーガン  
川畑 州一  
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2017年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2016年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2015年度: 11,570千円 (直接経費: 8,900千円、間接経費: 2,670千円)
キーワードナノ形状計測 / ナノ構造 / ナノ材料 / 分光偏光計 / シングルピクセルカメラ / 分光ミュラー行列 / ストークス・パラメータ / 計測工学 / 解析・評価 / 超精密計測 / 応用光学・量子光工学 / 知能機械 / 3次元形状計測 / 材料解析 / 分光偏光解析 / ナノ形状
研究成果の概要

本研究は,スーパーコンティニュアム白色光源をニ酸化テルル製の音響光学チューナブルフィルタ(AOTF)で分光し,光弾性変調器(PEM)による高速でかつ高精度な分光ストークス偏光計と分光ミュラー行列偏光計を確立したこと,部分ミュラー行列の解析および高速回転の位相子と同期をとることで高精度な完全ミュラー行列計測を可能としたこと,光学シミュレーション解析法である境界要素法(BEM)偏光情報の構造性複屈折情報と複吸収(二色性)から3次元ナノ構造を決定するシミュレーションを行い数nmの計測感度を持つことが確認できたこと,さらに,分光特性から3次元ナノ構造および材料(構成元素)解析の可能性を示した。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2018 2017 2016 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 5件、 招待講演 2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Stokes polarimeter performance: general noise model and analysis2018

    • 著者名/発表者名
      Nathan Hagen, Yukitoshi Otani
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 57 号: 15 ページ: 4283-4296

    • DOI

      10.1364/ao.57.004267

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A partial Mueller matrix polarimeter using two photoelastic modulator and polarizer pairs2017

    • 著者名/発表者名
      Nia Natasha Tipol, Shuichi Kawabata, Yukitoshi Otani
    • 雑誌名

      Proceedings SPIE, Polarization Science and Remote Sensing VIII

      巻: 10407 ページ: 1040713-1040713

    • DOI

      10.1117/12.2272940

    • NAID

      130006434681

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [雑誌論文] Accuracy enhancement of dual rotating Mueller matrix imaging polarimeter by diattenuation and retardance error calibration approach2017

    • 著者名/発表者名
      Kaustav Bhattacharyya, David Ignacio Serrano-Garca , Yukitoshi Otani
    • 雑誌名

      Optics communications

      巻: 392 ページ: 48-53

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Real-time Stokes polarimeter using three polarized beam splitter2017

    • 著者名/発表者名
      Shuhei Shibata, Shuichi Kawabata, Yukitoshi Otani
    • 学会等名
      SPIE Optics and Photonics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A partial Mueller matrix polarimeter using two photoelastic modulator and polarizer pairs2017

    • 著者名/発表者名
      Nia Natasha TIPOL, Shuichi KAWABATA, Yukitoshi OTANI
    • 学会等名
      ICO17 International Comission for Optics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Spectroscopic Stokes imaging polarimeter for defect detection2017

    • 著者名/発表者名
      Yukitoshi Otani, Shuhei Shibata, Hiroshi Hasegawa
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technology 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] A simple and fast Stokes polarimeter2017

    • 著者名/発表者名
      Shuichi Kawabata, Shuhei Shibata and Yukitoshi Otani
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technology 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Reflection type of microscope for Mueller matrix polarimeter2017

    • 著者名/発表者名
      Tomohisa Horiguchi, Yukitoshi Otani, Nathan Hagen
    • 学会等名
      ICO17 International Comission for Optics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] PBSによる小型リアルタイム偏光計2017

    • 著者名/発表者名
      柴田 秀平,川畑州一,大谷幸利
    • 学会等名
      応用物理学会秋季大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] A partial Mueller matrix polarimeter using two photoelastic modulator and polarizer pairs2017

    • 著者名/発表者名
      ニア ナターシャ ティポル,川畑州一,大谷幸利
    • 学会等名
      精密工学会秋季大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] A partial Mueller matrix polarimeter using two photoelastic modulator and polarizer pairs2016

    • 著者名/発表者名
      Nia Natasha TIPOL , Shuichi KAWABATA and Yukitoshi OTANI
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technology (ISOT 2016 Itabashi Tokyo)
    • 発表場所
      東京・板橋
    • 年月日
      2016-11-09
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ラインセンサー型分光ミュラー行列偏光計の空間情報を利用したナノ構造の欠陥検出2016

    • 著者名/発表者名
      二宮真,柴田秀平,杉坂純一郎,大谷幸利
    • 学会等名
      Optics and Photonics Japan 2016予稿集
    • 発表場所
      東京・筑波大学東京校
    • 年月日
      2016-11-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] A partial Mueller matrix polarimeter using two photoelastic modulator and polarizer pairs2016

    • 著者名/発表者名
      Nia Natasha TIPOL, Shuichi KAWABATA, Yukitoshi OTANI
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [備考] 大谷・ヘーガン研究室

    • URL

      http://www.otanilab.org

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-03-29  

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