ダイヤモンド超高機能化のための極低濃度不純物制御に関する研究

• 研究課題/領域番号: 15H03980
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 寺地 徳之 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (50332747)
• 連携研究者: 小出 康夫 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 技術開発・共用部門, 部門長 (70195650) ; 渡邊 賢司 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主席研究員 (20343840)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2017年度)
• 配分額: 16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円); 2017年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円); 2016年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円); 2015年度: 7,800千円 (直接経費: 6,000千円、間接経費: 1,800千円)
• キーワード: 電子・電気材料 / 結晶成長 / ダイヤモンド / 不純物制御 / 電子・電気材料工学

研究成果の概要

本研究では、研究項目を「超高純度結晶成長」と「ppbレベルでのドナー/アクセプタドーピング」の2つに分けて実施した。前者については、ダイヤモンド中に取り込まれやすい窒素やシリコンに関して、装置改造や成長条件を最適化することで、従来報告されている結晶と比べて、純度が格段に高い結晶を得ることに成功した。最終的に、窒素濃度は0.08ppb（1.4×1013 cm-3）の超高純度ダイヤモンド結晶を自立結晶という形態で得ることに成功した。後者については、単一NVセンタを再現性良く形成する手法として、メタンガス中に窒素を500ppm混入したメタン原料を準備してダイヤモンド成長を行う方法を提案した。

研究成果

• [国際共同研究] Ulm大/Stuttgart大(ドイツ)
• [国際共同研究] CEA Sacley/CNRSネール研(フランス)
• [国際共同研究] Melbourne大/Macquarie大(オーストラリア)
• [国際共同研究] Harvard大/MIT(米国)
• [国際共同研究] Hasselt大(ベルギー)
• [国際共同研究]
• [雑誌論文] Spin properties of dense near-surface ensembles of nitrogen-vacancy centers in diamond (2018)
  • 著者名/発表者名: Tetienne J.-P.、de Gille R. W.、Broadway D. A.、Teraji T.、Lillie S. E.、McCoey J. M.、Dontschuk N.、Hall L. T.、Stacey A.、Simpson D. A.、Hollenberg L. C. L.
  • 雑誌名: Physical Review B 巻: 97 号: 8 ページ: 0854021-11
  • DOI: 10.1103/physrevb.97.085402
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Nitrogen-Vacancy Centers Created by N+ Ion Implantation Through Screening SiO2 Layers on Diamond (2017)
  • 著者名/発表者名: K. Ito, H. Saito, K. Sasaki, H. Watanabe, T. Teraji, K. M. Itoh, and E. Abe
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 110 号: 21 ページ: 213105-213105
  • DOI: 10.1063/1.4984060
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Photoluminescence excitation spectroscopy of SiV- and GeV- color center in diamond (2017)
  • 著者名/発表者名: Haubler Stefan、Thiering Gergo、Dietrich Andreas、Waasem Niklas、Teraji Tokuyuki、Isoya Junichi、Iwasaki Takayuki、Hatano Mutsuko、Jelezko Fedor、Gali Adam、Kubanek Alexander
  • 雑誌名: New Journal of Physics 巻: 19 号: 6 ページ: 063036-063036
  • DOI: 10.1088/1367-2630/aa73e5
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Plasma etching phenomena in heavily boron-doped diamond growth (2017)
  • 著者名/発表者名: Fiori Alexandre、Teraji Tokuyuki
  • 雑誌名: Diamond Relat. Mater. 巻: 76 ページ: 38-43
  • DOI: 10.1016/j.diamond.2017.04.007
  • 査読あり
• [雑誌論文] (Invited) Ultrapure Homoepitaxial Diamond Films Grown by Chemical Vapor Deposition (2017)
  • 著者名/発表者名: Teraji Tokuyuki
  • 雑誌名: ECS Transactions 巻: 80 号: 4 ページ: 271-276
  • DOI: 10.1149/08004.0271ecst
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanism of reverse current increase of vertical-type diamond Schottky diodes (2017)
  • 著者名/発表者名: Teraji T.、Fiori A.、Kiritani N.、Tanimoto S.、Gheeraert E.、Koide Y.
  • 雑誌名: Journal of Applied Physics 巻: 122 号: 13 ページ: 135304-135304
  • DOI: 10.1063/1.4994570
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Reducing energy dissipation and surface effect of diamond nanoelectromechanical resonators by annealing in oxygen ambient (2017)
  • 著者名/発表者名: Wu Haihua、Sang Liwen、Teraji Tokuyuki、Li Tiefu、Wu Kongping、Imura Masataka、You Jianqiang、Koide Yasuo、Liao Meiyong
  • 雑誌名: Carbon 巻: 124 ページ: 281-287
  • DOI: 10.1016/j.carbon.2017.08.069
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Diffusion of Vacancies Created by High-Energy Heavy Ion Strike Into Diamond (2017)
  • 著者名/発表者名: Onoda Shinobu、Tatsumi Kazumasa、Haruyama Moriyoshi、Teraji Tokuyuki、Isoya Junichi、Kada Wataru、Ohshima Takeshi、Hanaizumi Osamu
  • 雑誌名: physica status solidi (a) 巻: 214 号: 11 ページ: 1700160-1700160
  • DOI: 10.1002/pssa.201700160
  • 査読あり
• [雑誌論文] Displacement current of Au/p-diamond Schottky contacts (2017)
  • 著者名/発表者名: Aoki Toshichika、Teraji Tokuyuki、Koide Yasuo、Shiojima Kenji
  • 雑誌名: Materials Science in Semiconductor Processing 巻: 70 ページ: 207-212
  • DOI: 10.1016/j.mssp.2016.12.012
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristic Luminescence Correlated with Leaky Diamond Schottky Barrier Diodes (2017)
  • 著者名/発表者名: Shimaoka Takehiro、Teraji Tokuyuki、Watanabe Kenji、Koizumi Satoshi
  • 雑誌名: physica status solidi (a) 巻: 214 号: 11 ページ: 1700180-1700180
  • DOI: 10.1002/pssa.201700180
  • 査読あり
• [雑誌論文] Improvement of the quality factor of single crystal diamond mechanical resonators (2017)
  • 著者名/発表者名: M. Liao, M. Toda, L. Sang, T. Teraji, M. Imura, and Y. Koide
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 56 号: 2 ページ: 0241011-5
  • DOI: 10.7567/jjap.56.024101
  • NAID: 210000147429
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Atomic composition of WC/and Zr/O-terminated diamond Schottky interfaces close to ideality (2017)
  • 著者名/発表者名: J.C. Pinero, D. Araujo, A. Fiori, A. Traore, M.P. Villar, D. Eon, P. Muret, J. Pernot, T. Teraji
  • 雑誌名: Appl. Surf. Sci. 巻: 395 ページ: 200-207
  • DOI: 10.1016/j.apsusc.2016.04.166
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Effect of a radical exposure nitridation surface on the charge stability of shallow nitrogen-vacancy centers in diamond (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Kageura, K. Kato, H. Yamano, E. Suaebah, M. Kajiya, S. Kawai, M. Inaba, T. Tanii, M. Haruyama, K. Yamada, S. Onoda, W. Kada, O. Hanaizumi, T. Teraji, J. Isoya, S. Kono, and H. Kawarada
  • 雑誌名: Appl.Phys.Express 巻: 10 号: 5 ページ: 0555031-4
  • DOI: 10.7567/apex.10.055503
  • NAID: 210000135854
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Charge state stabilization of shallow nitrogen vacancy centers in diamond by oxygen surface modification (2017)
  • 著者名/発表者名: H. Yamano, S. Kawai, K. Kato, T. Kageura, M. Inaba, T. Okada, I. Higashimata, M. Haruyama, T. Tanii, K. Yamada, S. Onoda, W. Kada, O. Hanaizumi, T. Teraji, J. Isoya, and H. Kawarada
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 56 号: 4S ページ: 04CK08-04CK08
  • DOI: 10.7567/jjap.56.04ck08
  • NAID: 210000147635
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Homoepitaxial diamond chemical vapor deposition for ultra-light doping (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji, J. Isoya, K. Watanabe, S. Koizumi, Y. Koide
  • 雑誌名: Materials Science Semiconductor Processing 巻: ー ページ: 197-202
  • DOI: 10.1016/j.mssp.2016.11.012
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Competition between electric field and magnetic field noise in the decoherence of a single spin in diamond (2016)
  • 著者名/発表者名: P. Jamonneau, M. Lesik, J. P. Tetienne, I. Alvizu, L. Mayer, A. Dreau, S. Kosen, J.-F. Roch, S. Pezzagna, J. Meijer, T. Teraji, Y. Kubo, P. Bertet, J. R. Maze, and V. Jacques
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 巻: 93 号: 2 ページ: 0243051-5
  • DOI: 10.1103/physrevb.93.024305
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Polarization- and Frequency-Tunable Microwave Circuit for Selective Excitation of Nitrogen-Vacancy Spins in Diamond (2016)
  • 著者名/発表者名: J. Herrmann, M. A. Appleton, K. Sasaki, Y. Monnai, T. Teraji, K. M. Itoh, and E. Abe
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 巻: 109 号: 18 ページ: 1831111-4
  • DOI: 10.1063/1.4967378
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 超高純度ホモエピタキシャルダイヤモンド膜─極微量不純物と欠陥の検出・可視化─ (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之
  • 雑誌名: NEW DIAMOND 巻: 121 ページ: 34-38
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 超高純度ダイヤモンド気相成長 スピントロニクス研究の新たな礎 (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之
  • 雑誌名: 応用物理 巻: 8 ページ: 870-874
  • NAID: 130007715238
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Fluorescence Polarization Switching from a Single Silicon Vacancy Colour Centre in Diamond (2015)
  • 著者名/発表者名: Yan Liu, Gengxu Chen, Youying Rong, Liam Paul McGuinness, Fedor Jelezko, Syuto Tamura, Takashi Tanii, Tokuyuki Teraji, Shinobu Onoda, Takeshi Ohshima, Junichi Isoya, Takahiro Shinada, E Wu, and Heping Zeng
  • 雑誌名: Sci. Rep. 巻: 5 号: 1 ページ: 122441-9
  • DOI: 10.1038/srep12244
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] New application of NV centers in CVD diamonds as a fluorescent nuclear track detector (2015)
  • 著者名/発表者名: Shinobu Onoda, Moriyoshi Haruyama, Tokuyuki Teraji, Junichi Isoya, Wataru Kada, Osamu Hanaizumi, Takeshi Ohshima
  • 雑誌名: Physica Status Solidi A 巻: 212 号: 11 ページ: 2641-2644
  • DOI: 10.1002/pssa.201532219
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] High-quality and high-purity homoepitaxial diamond (100) film growth under high oxygen concentration condition (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 雑誌名: J. Appl. Phys. 巻: 118 号: 11 ページ: 1153041-8
  • DOI: 10.1063/1.4929962
  • 査読あり
• [雑誌論文] Imaging of diamond defect sites by electron-beam-induced current (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Kono, T. Teraji, H. Kodama, and A. Sawabe
  • 雑誌名: Diamond Relat. Mater. 巻: 59 ページ: 54-61
  • DOI: 10.1016/j.diamond.2015.09.006
  • 査読あり
• [雑誌論文] Homoepitaxial diamond film growth: High purity, high crystalline quality,isotopic enrichment, and single color center formation (2015)
  • 著者名/発表者名: Tokuyuki Teraji, Takashi Yamamoto, Kenji Watanabe, Yasuo Koide, Junichi Isoya, Shinobu Onoda, Takeshi Ohshima, Lachlan J. Rogers, Fedor Jelezko, Philipp Neumann
  • 雑誌名: Phys. Status Solidi A 巻: 212 号: 11 ページ: 2365-2384
  • DOI: 10.1002/pssa.201532449
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Direct determination of the barrier height of Ti-based ohmic contact on p-type diamond (001) (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Kono, T. Teraji, H. Kodama, K. Ichikawa, S. Ohnishi, A. Sawabe
  • 雑誌名: Diamond Relat. Mater. 巻: 60 ページ: 117-122
  • DOI: 10.1016/j.diamond.2015.10.028
  • 査読あり
• [雑誌論文] Investigation of the silicon vacancy color center for quantum key distribution (2015)
  • 著者名/発表者名: Yan Liu, Petr Siyushev, Youying Rong, Botao Wu, Liam Paul McGuinness, Fedor Jelezko, Syuto Tamura, Takashi Tanii, Tokuyuki Teraji, Shinobu Onoda, Takeshi Ohshima, Junichi Isoya, Takahiro Shinada, Heping Zeng, and E Wu
  • 雑誌名: Opt. Exp. 巻: 23 号: 26 ページ: 32961-32967
  • DOI: 10.1364/oe.23.032961
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] ホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜の高品質化と高純度化を目指して (2015)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之
  • 雑誌名: NEW DIAMOND 巻: 116 ページ: 18-21
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 窒素分子イオン注入による室温ダイヤモンドスピン量子レジスタの作製 (2015)
  • 著者名/発表者名: ) 山本 卓，寺地 徳之，小野田 忍，大島 武，小泉 聡，Fedor Jelezko，磯谷 順一
  • 雑誌名: NEW DIAMOND 巻: 116 ページ: 22-25
  • 国際共著
• [学会発表] High Purity and High Quality Homoepitaxial Diamond Growth for Quantum Information and Quantum Sensing Device Applications (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 2017 MRS Spring Meeting & Exhibit (Phoenix Convention Center, Phoenix, Arizona, 2017.4.20)
  • 国際学会
• [学会発表] Homoepitaxial chemical vapor deposition of diamond film for ultra-light doping (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji, J. Isoya, K. Watanabe, S. Koizumi, and Y. Koide
  • 学会等名: NDNC2017 (Shangri-La Hotel, Cairns, Australia, 2017.5.29)
  • 国際学会
• [学会発表] High purity homoepitaxial diamond (111) film growth (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: DCM2017 (Svenska Massan, Gothenburg, Sweden, 2017.9.6).
  • 国際学会
• [学会発表] Ultrapure Homoepitaxial Diamond Films Grown By Chemical Vapor Deposition (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 232nd ECS Meeting (National Harbor, MD, 2017.10.4)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] High Purity Diamond Films Growth for Electronic Device Application (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: OIST Diamond Workshop 2017 (OIST, Okinawa, 2017.10.30)
  • 国際学会
• [学会発表] 炭化タングステン縦型ダイヤモンドショットキーダイオードの漏れ電流増加機構 (2017)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之，フィオリ アレクサンドレ，桐谷範彦，谷本 智，ゲラール エチェン，小出康夫
  • 学会等名: 第31回ダイヤモンドシンポジウム(関西学院大学，西宮，2017.11.21).
• [学会発表] Growth of Ultrapure Homoepitaxial Diamond Films by Chemical Vapor Deposition (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 2017 MRS Fall Meeting & Exhibit (Hynes Convention Center, Boston, Massachusetts, 2017.11.28).
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Mechanism of reverse current increase of vertical-type WC diamond Schottky diodes (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji, A. Fiori, N. Kiritani, S. Tanimoto, E. Gheeraert, and Y. Koide
  • 学会等名: HASSELT DIAMOND WORKSHOP SBDD XXIII (Cultural Centre, Hasselt, Belgium, 2018.3.8).
  • 国際学会
• [学会発表] Defect reduction in homoepitaxial diamond films for high blocking voltage Schottky diodes (2017)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji, H. Umezawa
  • 学会等名: SBDD XXII
  • 発表場所: Cultural Centre, Hasselt, Belgium
  • 国際学会
• [学会発表] High Purity and High Quality Homoepitaxial Diamond Growth for Power Device Application (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 2016 MRS Fall Meeting & Exhibit
  • 発表場所: Phoenix Convention Center, Phoenix, Arizona
  • 年月日: 2016-03-31
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 超高純度ダイヤモンドの成長とカラーセンターの極微量濃度制御 (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之
  • 学会等名: 物理学会第71回年次大会
  • 発表場所: 東北学院大学，仙台市
  • 年月日: 2016-03-21
  • 招待講演
• [学会発表] 酸素添加条件で成長したホモエピタキシャルダイヤモンド(100)薄膜中の欠陥評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之、渡邊賢司
  • 学会等名: 第63回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学，大岡山
  • 年月日: 2016-03-20
• [学会発表] 超高純度ダイヤモンドの成長とその物性 (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之
  • 学会等名: 第8回窒化物半導体結晶成長講演
  • 発表場所: 京都大学，京都市
  • 招待講演
• [学会発表] High quality homoepitaxial diamond growth by chemical vapor deposition for high-performance electronic devices (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: NDNC2016
  • 発表場所: THE WESTIN XIAN, XIAN, China
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Ultrapure diamond growth by microwave plasma-assisted chemical vapor deposition (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 7th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces, ISCSI-VII
  • 発表場所: Nagoya Univ., Nagoya
  • 国際学会
• [学会発表] ダイヤモンド半導体の基礎物性と結晶成長 (2016)
  • 著者名/発表者名: 寺地徳之
  • 学会等名: 理研セミナー
  • 発表場所: 理化学研究所，和光市
  • 招待講演
• [学会発表] 3D imaging of defects in high-purity homoepitaxial diamond (100) films (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji, K. Watanabe
  • 学会等名: DCM2016
  • 発表場所: Le Corum, Montpellier, France
  • 国際学会
• [学会発表] Defect Reduction in Homoepitaxial Diamond Films for High Breakdown Voltage Schottky Diodes (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji, H. Umezawa
  • 学会等名: SSDM2016
  • 発表場所: International Congress Center, Tsukuba
  • 国際学会
• [学会発表] 寺地徳之，渡邊賢司 (2016)
  • 著者名/発表者名: 酸素添加条件で成長したホモエピタキシャルダイヤモンド薄膜の 欠陥評価
  • 学会等名: 第30回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京大学, 目黒
• [学会発表] Smart Nano-Scale Interlayer Formation for SBD Electrical Properties Stable above 600K (2015)
  • 著者名/発表者名: A. Fiori, T. Teraji, J.C. Pinero, D. Araujo Y. Koide
  • 学会等名: 2015 MRS Fall Meeting & Exhibit
  • 発表場所: The Westin Copley Place, Boston, Massachusetts
  • 年月日: 2015-11-30
  • 国際学会
• [学会発表] 電子線誘起電流(EBIC)法によるダイヤモンドの欠陥位置の視覚化 (2015)
  • 著者名/発表者名: 河野省三、寺地徳之、児玉英之、澤邊厚仁
  • 学会等名: 第29回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京理科大学, 金町
  • 年月日: 2015-11-18
• [学会発表] 表面終端と空乏層厚の変化による浅いNV センターの電荷状態制御 (2015)
  • 著者名/発表者名: 加藤かなみ，山野楓，蔭浦泰資，柴田将暢，稲葉優文，小池悟大，谷井孝至，磯谷順一，小野田忍，寺地徳之，川原田洋
  • 学会等名: 第29回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京理科大学, 金町
  • 年月日: 2015-11-17
• [学会発表] 09 keV からサブGeV のイオン注入を用いて形成したNV センターの特性評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 小野田忍，春山盛善，寺地徳之，磯谷順一，C. Muller, L. McGuinness, P. Balasubramanian, B. Naydenov, F. Jelezko，小池悟大，東又 格，稲葉優文，大島武，加田渉，花泉修，谷井孝至，川原田洋
  • 学会等名: 第29回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京理科大学, 金町
  • 年月日: 2015-11-17
• [学会発表] ナノホールレジストマスクを用いたNV センタ配列の作製 (2015)
  • 著者名/発表者名: 小池悟大，東又格，寺地徳之，小野田忍，稲葉優文，P. Balasubramanian, B. Naydenov, F. Jelezko，大島武，品田高宏，川原田洋，磯谷順一，谷井孝至
  • 学会等名: 第29回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京理科大学, 金町
  • 年月日: 2015-11-17
• [学会発表] 表面水素終端化による浅いNV センターへの影響 (2015)
  • 著者名/発表者名: 山野楓，稲葉優文，蔭浦泰資，加藤かなみ，小池悟大，谷井孝至，小野田忍，寺地徳之，磯谷順一，川原田洋
  • 学会等名: 第29回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京理科大学, 金町
  • 年月日: 2015-11-17
• [学会発表] 水素終端ダイヤモンド(001)表面の金オーミック電極の障壁高さ (2015)
  • 著者名/発表者名: 河野省三、寺地徳之、竹内大輔児玉英之、澤邊厚仁
  • 学会等名: 第29回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 東京理科大学, 金町
  • 年月日: 2015-11-17
• [学会発表] NV Centers in Diamond Used for Detection of Single Ion Track (2015)
  • 著者名/発表者名: Moriyoshi Haruyama, Shinobu Onoda, Tokuyuki Teraji, Junichi Isoya, Wataru Kada, Takeshi Ohshima, Osamu Hanaizumi
  • 学会等名: The 11th Intrernational Workshop on Radiation Effects on Semicoductor Devices for Space Applications (11th RASEDA)
  • 発表場所: City Performing Arts Center, Kiryu, Gunnma, Japan
  • 年月日: 2015-11-12
  • 国際学会
• [学会発表] High quality homoepitaxial diamond growth by chemical vapor deposition for high-performance electronic devices (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: IUMRS-ICAM2015
  • 発表場所: ICC JEJU, KOREA
  • 年月日: 2015-10-27
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Ultrapure Diamond Growth by Chemical Vapor Deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: SSDM2016
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo
  • 年月日: 2015-09-28
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Nano-scale interlayer formation for thermally stable SBD electrical properties (2015)
  • 著者名/発表者名: Alexandre FIORI, Tokuyuki TERAJI, Jose PINERO, Daniel ARAUJO, Yasuo KOIDE
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場, 愛知県
  • 年月日: 2015-09-15
  • 招待講演
• [学会発表] 重イオン照射を用いたNVセンター形成条件の最適化 (2015)
  • 著者名/発表者名: 春山盛善、小野田忍、寺地徳之、磯谷順一、加田渉、大島武、花泉 修
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場, 愛知県
  • 年月日: 2015-09-15
• [学会発表] ナノホールレジストマスクを用いたNVセンタ配列の作製 (2015)
  • 著者名/発表者名: 東又 格、小池悟大，寺地徳之，小野田忍，稲葉優文，Priyadharshini Balasubramanian，Boris Naydenov，Fedor Jelezko，大島武，品田高宏，川原田洋，磯谷順一，谷井孝至
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場, 愛知県
  • 年月日: 2015-09-05
• [学会発表] Diamond film growth for formation of single photon source (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: Diamond Quantum Sensing Workshop 2015
  • 発表場所: Kagawa International Conference Hall, Takamatsu, Japan
  • 年月日: 2015-08-05
  • 国際学会
• [学会発表] Diamond surface fluorescence for device sensing (2015)
  • 著者名/発表者名: Masafumi Inaba, Hayate Yamano, Kanami Kato, Taisuke Kageura, M. Shibata, Shinobu Onoda, Tokuyuki Teraji, Junichi Isoya,Takashi Tanii, Hiroshi Kawarada
  • 学会等名: Diamond surface fluorescence for device sensing
  • 発表場所: Kagawa International Conference Hall, Takamatsu, Japan
  • 年月日: 2015-08-05
  • 国際学会
• [学会発表] Oxycarbide Formation for Ideal and Thermally Stable Diamond Schottky-barrier Diodes/Oxycarbide Formation for Ideal and Thermally Stable Diamond Schottky-barrier Diodes (2015)
  • 著者名/発表者名: A. Fiori, T. Teraji, Y. Koide
  • 学会等名: 3rd - French-Japanese workshop on diamond power devices
  • 発表場所: C-Suite hotel, Nimes, France
  • 年月日: 2015-07-09
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Reproducible Growth of Homoepitaxial Diamond Thicker (>10um) Film with Low Defect Density (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 3rd - French-Japanese workshop on diamond power devices
  • 発表場所: C-Suite hotel, Nimes, France
  • 年月日: 2015-07-08
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Interlayer effects on the electrical property of WC/diamond Schottky diodes (2015)
  • 著者名/発表者名: A. Fiori, T. Teraji, Y. Koide
  • 学会等名: 9th International Conference on New Diamond & Nano Carbon -NDNC2015
  • 発表場所: Shizuoka GRANSHIP, Shizuoka, Japan
  • 年月日: 2015-05-27
  • 国際学会
• [学会発表] Imaging of Diamond Defect Sites by Electron Beam Induced Current (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Kono, T. Teraji, H. Kodama, A. Sawabe
  • 学会等名: 9th International Conference on New Diamond & Nano Carbon -NDNC2015
  • 発表場所: Shizuoka GRANSHIP, Shizuoka, Japan
  • 年月日: 2015-05-26
  • 国際学会
• [学会発表] Homoepitaxial diamond film growth for single color centers (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Teraji
  • 学会等名: 9th International Conference on New Diamond & Nano Carbon -NDNC2015
  • 発表場所: Shizuoka GRANSHIP, Shizuoka, Japan
  • 年月日: 2015-05-25
  • 国際学会