巨大複合クラスターによる高速・無損傷表面処理加工技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号	15H04157
研究種目	基盤研究(B)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	材料加工・組織制御工学
研究機関	京都大学
研究代表者	瀬木利夫京都大学, 工学研究科, 講師 (00402975)
研究期間 (年度)	2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス	完了 (2017年度)
配分額 *注記	14,040千円 (直接経費: 10,800千円、間接経費: 3,240千円) 2017年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円) 2016年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円) 2015年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
キーワード	クラスター / イオンビーム / 中性ビーム / 反応性エッチング / ナノプロセス / 表面処理 / 複合ビーム
研究成果の概要	京都大学発の独創技術であるガスクラスター生成技術を活用し、材料ガスへのHe混合による巨大クラスター初期速度制御等による巨大複合クラスターイオンの形成と加速制御技術の開発を行った。これにより0.1～0.4eV/atom程度の範囲でエネルギー制御された巨大複合クラスタービーム形成技術の開発に成功した。

報告書

(2件)