| 研究課題/領域番号 |
15H05736
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| 研究種目 |
基盤研究(S)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
浜口 智志 大阪大学, 工学研究科, 教授 (60301826)
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| 研究分担者 |
笠井 秀明 明石工業高等専門学校, その他部局等, 校長 (00177354)
Dino Wilson 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (60379146)
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| 研究期間 (年度) |
2015-05-29 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
151,970千円 (直接経費: 116,900千円、間接経費: 35,070千円)
2019年度: 20,930千円 (直接経費: 16,100千円、間接経費: 4,830千円)
2018年度: 20,540千円 (直接経費: 15,800千円、間接経費: 4,740千円)
2017年度: 23,010千円 (直接経費: 17,700千円、間接経費: 5,310千円)
2016年度: 21,580千円 (直接経費: 16,600千円、間接経費: 4,980千円)
2015年度: 65,910千円 (直接経費: 50,700千円、間接経費: 15,210千円)
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| キーワード | プラズマプロセス / 反応性プラズマ / プラズマ表面相互作用 / 数値シミュレーション / 原子層プロセス / 分子動力学シミュレーション / 第一原理シミュレーション / プラズマ加工 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、新規プラズマプロセス開発に必要なプラズマ物質相互作用の学術基盤を確立することを目的に、量子力学シミュレーションを中心とした多階層シミュレーション・システムを実現し、対応する実験によるシミュレーション結果の検証と個別シミュレーション・コードの新規開発と高度化を行った。更に、このシミュレーション・システムを活用し、各種半導体プロセス・バイオ材料改質における表面反応機構の解明と新規プロセスの提案を行った。また、医学部と共同で開発した人工骨表面処理術等、半導体・バイオ材料いずれの分野においても、本研究に端を発した技術の実用化を産業界のパートナーとともに実現した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究のように、プラズマ表面相互作用研究に関して、量子力学シミュレーションを中心とした多階層シミュレーションを実行し、且つ、その結果を、対応するビームやプラズマ実験により検証可能な研究グループは、国内外を通しても他に例がなく、その研究手法は、極めて独創的である。本研究により、プラズマからの低エネルギーイオン入射によるプラズマ表面相互作用の新しい学術が創成されると同時に、新規材料プロセス解析用の多階層シミュレーション・システムは、マクロからミクロにつながるプラズマプロセス現象を統一的に理解する手法を提供するという意味で、その学術的・社会的意義は、極めて大きい。
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| 評価記号 |
検証結果 (区分)
A
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評価記号 |
評価結果 (区分)
A: 当初目標に向けて順調に研究が進展しており、期待どおりの成果が見込まれる
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