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Si-Ge系スーパーアトム構造のセルフアライン集積による光・電子物性制御

研究課題

研究課題/領域番号 15H05762
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

宮崎 誠一  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70190759)

研究分担者 牧原 克典  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (90553561)
大田 晃生  名古屋大学, 工学研究科, 助教 (10553620)
研究協力者 池田 弥央  
研究期間 (年度) 2015-05-29 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
197,990千円 (直接経費: 152,300千円、間接経費: 45,690千円)
2018年度: 33,670千円 (直接経費: 25,900千円、間接経費: 7,770千円)
2017年度: 41,340千円 (直接経費: 31,800千円、間接経費: 9,540千円)
2016年度: 60,710千円 (直接経費: 46,700千円、間接経費: 14,010千円)
2015年度: 62,270千円 (直接経費: 47,900千円、間接経費: 14,370千円)
キーワードSi系量子ドット / スーパーアトム / Si量子ドット / 発光デバイス / LED
研究成果の概要

本研究では、Si極薄熱酸化膜上にGeコアSi量子ドットを高密度・一括形成し、PL発光において、Geコアの量子準位間での電子-正孔再結合が支配的であることを明らかにした。また、PをGeコアに添加することで、真性GeコアSi量子ドットに比べ正帯電を低電圧化できることが分かった。発光デバイスを作製し、室温発光特性を評価した結果、GeコアSi量子ドット内に電子・正孔を交互あるいは同時注入することで、量子準位間での電子-正孔再結合に起因する発光が起こることを明らかにした。さらには、Si細線上にGeコアSi量子ドットを高密度形成した場合、細線構造に起因した発光波長の狭帯化が生じることも実証した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で得られた成果は、シリコンULSIプロセスとの整合性が高く、シリコン・フォトニクスにおいて実現が極めて困難であると考えられていた電流注入型シリコン系レーザの開発に繋がると期待できる。さらには、飛躍的な進歩を遂げているシリコンULSI 技術をベースにSi 系量子ドットトランジスタやフローティングメモリデバイスを組み合わせて、将来の少数電子・少数光子を使った大規模な高度情報処理へと発展する可能性が高い。

評価記号
検証結果 (区分)

A-

評価記号
評価結果 (区分)

A-: 当初目標に向けて概ね順調に研究が進展しており、一定の成果が見込まれるが、一部に遅れ等が認められるため、今後努力が必要である

報告書

(10件)
  • 2019 研究進捗評価(検証) ( PDF )
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書   研究概要(研究進捗評価) ( PDF )   研究進捗評価(評価結果) ( PDF )
  • 2016 実績報告書
  • 2015 研究概要(採択時) ( PDF )   審査結果の所見 ( PDF )   実績報告書
  • 研究成果

    (92件)

すべて 2019 2018 2017 2016 2015 その他

すべて 国際共同研究 (5件) 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 13件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 6件) 学会発表 (71件) (うち国際学会 38件、 招待講演 13件) 備考 (3件)

  • [国際共同研究] 高性能マイクロエレクトロニクスセンター(ドイツ)

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  • [国際共同研究] バンドン工科大学(インドネシア)

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  • [国際共同研究] バンドン工科大学(インドネシア)

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  • [国際共同研究] シンガポール国立大学(シンガポール)

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  • [雑誌論文] Characterization of electron charging and transport properties of Si-QDs with phosphorus doped Ge core2018

    • 著者名/発表者名
      Ryo Nagai, Kentaro Yamada, Shuntaro Fujimori, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara, Akio Ohta, and Seiichi Miyazaki
    • 雑誌名

      Semicond. Sci. Technol.

      巻: 33 ページ: 124021-124021

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      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of the potential distribution in a multiple stacked Si quantum dots structure by hard X-ray photoelectron spectroscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Yuto Futamura, Yuta Nakashima, Akio Ohta, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara and Seiichi Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SA ページ: SAAE01-SAAE01

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aaeb38

    • NAID

      210000135209

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  • [雑誌論文] Electroluminescence of superatom-like Ge-core/Si-shell quantum dots by alternate field-effect-induced carrier injection2018

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, N. Fujimura, K. Yamada, A. Ohta, and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 11 号: 1 ページ: 011305-011305

    • DOI

      10.7567/apex.11.011305

    • NAID

      210000136059

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    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Impact of Phosphorus Doping to Multiple-Stacked Si Quantum Dots on Electron Emission Properties2017

    • 著者名/発表者名
      D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 70 ページ: 183-187

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  • [雑誌論文] Evaluation of Energy Distribution of Filled Defects of Si Oxide Thin Films from Total Photoelectron Yield Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      A. Ohta, M. Ikeda, K. Makihara, and S. Miyazaki
    • 雑誌名

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      巻: 178 ページ: 85-88

    • DOI

      10.1016/j.mee.2017.05.001

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    • 著者名/発表者名
      A. Ohta, H. Murakami, M. Ikeda, K. Makihara, E. Ikenaga, and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 178 ページ: 80-84

    • DOI

      10.1016/j.mee.2017.05.002

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    • 著者名/発表者名
      Y. Lu, K. Makihara, D. Takeuchi, M. Ikeda, A. Ohta, and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 6S1 ページ: 06GG07-06GG07

    • DOI

      10.7567/jjap.56.06gg07

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  • [雑誌論文] Impact of phosphorus doping to multiple-stacked Si quantum dots on electron emission properties2017

    • 著者名/発表者名
      D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Material Science in Semiconductor Processing

      巻: 印刷中

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    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, K. Kondo, K. Makihara, M. Ikeda, A. Ohta and S. Miyazaki
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      ECS Trans.

      巻: 75 ページ: 695-700

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    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 雑誌名

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      巻: 602 ページ: 48-51

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  • [雑誌論文] Photoluminescence study of high density Si quantum dots with Ge core2016

    • 著者名/発表者名
      K. Kondo, K. Makihara, M. Ikeda, and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 119

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  • [雑誌論文] Evaluation of field emission properties from multiple-stacked Si quantum dots2016

    • 著者名/発表者名
      D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 602 ページ: 68-71

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      2016 実績報告書 2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Photoluminescence study of high density Si quantum dots with Ge core2016

    • 著者名/発表者名
      K. Kondo, K. Makihara, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 119 号: 3 ページ: 033103-033103

    • DOI

      10.1063/1.4940348

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    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Electron Field Emission from MultiplyStacked Structures consisting of Ge-Core Si Quantum Dots and Si Quantum Dots2019

    • 著者名/発表者名
      Yuto Futamura, Katsunori Makihara, Akio Ohta, Mitsuhisa Ikeda and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials /12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] mpact of Boron Doping into Si Quantum Dots with Ge Core on Their Photoluminescence Properties2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Nagai, Shuntaro Fujimori, Takuya Maehara, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials /12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
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      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電子デバイス・材料開発に向けたナノスケールスタック構造・界面の光電子分光分析2019

    • 著者名/発表者名
      宮﨑 誠一
    • 学会等名
      電子デバイス界面テクノロジー研究会―材料・プロセス・デバイス特性の物理―
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GeコアSi 量子ドット/Si 量子ドット多重連結構造からの電界電子放出特性および電子放出エネルギー評価2019

    • 著者名/発表者名
      二村湧斗、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
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      2018 実績報告書
  • [学会発表] B添加がGeコアSi量子ドットのPL特性に及ぼす影響2019

    • 著者名/発表者名
      永井僚, 藤森俊太郎, 前原拓哉, 池田弥央, 牧原克典, 大田晃生, 宮崎誠一
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Si量子ドット多重連結構造からの電界電子放出特性 - 積層数依存性2019

    • 著者名/発表者名
      竹本竜也, 二村湧斗、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
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      2018 実績報告書
  • [学会発表] Si-Ge系コア・シェル構造の高密度集積と光・電子物性制御2019

    • 著者名/発表者名
      宮崎誠一
    • 学会等名
      市民公開講座 Siナノテクノロジー最前線
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Photoemission Study of Gate Dielectrics and Stack Interfaces2018

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki, and A. Ohta
    • 学会等名
      2018 International Conference of Solid State of Device and Materials
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      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Characterization of Electron Field Emission from Multiple-Stacked Ge Core Si-QDs2018

    • 著者名/発表者名
      Yuto Futamura, Katsunori Makihara, Akio Ohta, Mitsuhisa Ikeda and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      12th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Selective Growth of Si for the Formation of Si-QDs with Ge Core and Their Photoluminescence Properties2018

    • 著者名/発表者名
      Shuntaro Fujimori, Ryo Nagai, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      12th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Study on photoluminescence from Si quantum dots with Ge core2018

    • 著者名/発表者名
      Shuntaro Fujimori, Ryo Nagai, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara, and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      International Conference of Atomic Control Surface and Interface-14
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Electron Charging and Local Electron Transport Properties of Si-QDs with Phosphorus Doped Ge Core2018

    • 著者名/発表者名
      Ryo Nagai, Shuntaro Fujimori, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara, Akio Ohta and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      Japan Student Chapter Meeting 2018 in Osaka
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Electron Field Emission from Multiple-Stacking Si Quantum Dots with Ge Core2018

    • 著者名/発表者名
      Yuto Futamura, Katsunori Makihara, Akio Ohta, Mitsuhisa Ikeda, and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      2018 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Electron Charging and Transport Properties of Si-QDs with Phosphorus Doped Ge Core2018

    • 著者名/発表者名
      Ryo Nagai, Shuntaro Fujimori, Mitsuhisa Ikeda, Katsunori Makihara, Akio Ohta, and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      9th International SiGe Technology and Device Meeting/11th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electroluminescence from Multiply Stacked Si Quantum Dots with Ge Core by Alternate Carrier Injection2018

    • 著者名/発表者名
      Katsunori Makihara, Mitsuhisa Ikeda, Akio Ohta, and Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      9th International SiGe Technology and Device Meeting/11th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Si-Geナノ構造制御で展開する電子デバイス開発2018

    • 著者名/発表者名
      牧原克典、宮崎誠一
    • 学会等名
      2018年日本表面真空学会中部支部研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノ構造制御で展開する電子デバイス開発と機能進化・高度化への挑戦2018

    • 著者名/発表者名
      牧原克典、宮崎誠一
    • 学会等名
      第3回ニューフロンティアリサーチワークショップ
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GeコアSi量子トドット/Si量子トドット多重集積構造からの電界電子放出2018

    • 著者名/発表者名
      二村湧斗、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドット/Si量子ドット多重集積構造からの弾道電子放出2018

    • 著者名/発表者名
      二村湧斗、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第6回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Ge/Si量子ドット上へのSi選択成長および発光特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      藤森俊太郎, 山田健太郎, 永井僚, 牧原克典, 池田弥央, 宮崎誠一
    • 学会等名
      第6回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] P添加GeコアSi量子ドットの帯電および局所電気特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      永井僚, 藤森俊太郎, 池田弥央, 牧原克典, 大田晃生, 宮崎誠一
    • 学会等名
      第6回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Luminescence Studies of Multiply Stacked Si Quantum Dots with Ge Core2018

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Miyazaki
    • 学会等名
      11th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electroluminescence from Si-QDs with Ge Core2018

    • 著者名/発表者名
      R. Nagai, K. Yamada, S. Fujimori, M. Ikeda, A. Ohta, K. Makihara, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      11th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Evaluation of Potential Distribution in Multiply-Stacked Si Quantum Dots Structure by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Futamura, Y. Nakashima, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      11th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Operand Study of Multiple Stacked Si Quantum Dots by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakashima, K. Makihara, M. Ikeda, A. Ohta, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      10th Anniversary International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Si-Ge系コア・シェル量子構造の高密度集積と光・電子物性制御2018

    • 著者名/発表者名
      宮崎誠一
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
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    • 招待講演
  • [学会発表] Ge/Si量子ドット上へのSi選択成長と室温PL特性2018

    • 著者名/発表者名
      藤森俊太郎、山田健太郎、永井僚、池田弥央、牧原克典、宮崎誠一
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
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  • [学会発表] 電子・正孔交互注入によるGeコアSi量子ドット多重集積構造からのエレクトロルミネッセンス2018

    • 著者名/発表者名
      牧原克典、池田弥央、藤村信幸、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
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  • [学会発表] 光電子収率分光法による熱酸化SiO2/Si構造の電子状態計測2018

    • 著者名/発表者名
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    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
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      2017 実績報告書
  • [学会発表] P添加GeコアSi量子ドットの帯電および電子輸送特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      永井僚、山田健太郎、藤森俊太郎、池田弥央、牧原克典、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Processing and Characterization of High Density Si/Ge Quantum Dots for Electroluminescent Devices2017

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki
    • 学会等名
      The Semiconductor Process Integration 10 Conf.
    • 発表場所
      National Harbor, Maryland
    • 年月日
      2017-10-01
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    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication and characterization of multistack Si/Ge quantum dots for light emission devices2017

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 5th Int. Conf. on Advanced Materials Science and Technology
    • 発表場所
      Makassar, Indonesia
    • 年月日
      2017-09-19
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Study of Light Emission from Si Quantum Dots with Ge core2017

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki
    • 学会等名
      Int. Conf. on Frontiers in Materials Processing, Application, Research & Technology
    • 発表場所
      Bordeaux, France
    • 年月日
      2017-07-09
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Evaluation of Potential Distribution in Multiple Stacked Si Quantum Dots Structure by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakashima, D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 10th Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures
    • 発表場所
      Coventry, UK
    • 年月日
      2017-05-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Electroluminescence from Si-QDs with Ge Core2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 10th Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures
    • 発表場所
      Coventry, UK
    • 年月日
      2017-05-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Si細線構造への高密度Si量子ドット形成と発光特性2017

    • 著者名/発表者名
      高磊、池田弥央、山田健太郎、牧原克典、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-05
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットの発光特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山田健太郎、牧原克典、池田弥央、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-05
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 硬X線光電子分光を用いたSi量子ドット多重集積構造の電位分布評価2017

    • 著者名/発表者名
      中島裕太、竹内大智、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-05
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Formation of Si-based Quantum Dots on Sub-micron patterned Si Substrates2017

    • 著者名/発表者名
      M. Ikeda, L. Gao, K. Yamada, K. Makihara, A. Ohta and S. Miyazaki
    • 学会等名
      10th Int. WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration"
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Luminescence Studies of High Density Si Quantum Dots with Ge core2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, M. Ikeda, K. Makihara and S. Miyazaki
    • 学会等名
      10th Int. WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration"
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Field Electron Emission from Multiply-Stacking Si Quantum Dots2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakashima, D. Takeuchi, K. Makihara , A. Ohta, M. Ikeda and S. Miyazaki
    • 学会等名
      10th Int. WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration"
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electroluminescence of Super-atom-like Si-Ge based Quantum Dots Floating Gate2017

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, N. Fujimura, A. Ohta, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Evaluation of Potential Distribution in Multiple Stacked Si Quantum Dots Structure by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakashima, D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Silicon Epitaxy and heterostructures
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Electroluminescence from Si-QDs with Ge Core2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Silicon Epitaxy and heterostructures
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Evaluation of Energy Distribution of Filled Defects of Si Oxide Thin Films from Total Photoelectron Yield Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      A. Ohta, M. Ikeda, K. Makihara, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      20th Conference on Insulating Films on Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Potential Changes and Chemical Bonding Features for Si-MOS Diodes as Evaluated from HAXPES Analysis2017

    • 著者名/発表者名
      A. Ohta, H. Murakami, M. Ikeda, K. Makihara, E. Ikenaga, S. Miyazaki
    • 学会等名
      20th Conference on Insulating Films on Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High Density Formation of and Light Emission from Si-Quantum Dots with Ge core2017

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki, K. Yamada, M. Ikeda, and K. Makihara
    • 学会等名
      MRS spring Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高密度GeコアSi量子ドットの室温EL特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山田健太郎、牧原克典、池田弥央、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第17回日本表面科学会中部支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットのEL特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      山田健太郎、池田弥生、牧原克典、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第5回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 硬X線光電子分光法によるSi量子ドット多重集積構造のオペランド分析2017

    • 著者名/発表者名
      中島裕太、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第5回応用物理学会名古屋大学スチューデントチャプター東海地区学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 電子・正孔交互注入によるGeコアSi量子ドット多重集積構造の発光特性2017

    • 著者名/発表者名
      牧原克典、池田弥央、藤村信幸、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Si細線構造への高密度Si量子ドット形成2016

    • 著者名/発表者名
      高磊、竹内大智、牧原克典、池田弥央、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      2016真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2016-11-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Si系量子ドット多重集積構造からの電界電子放出特性2016

    • 著者名/発表者名
      中島裕太、大田晃生、竹内大智、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      2016真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2016-11-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Processing and Characterization of Si/Ge Quantum Dots2016

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki, K. Makihara, A. Ohta, and M. Ikeda
    • 学会等名
      Int. Electron Devices Meeting 2016
    • 発表場所
      San Francisco, CA
    • 年月日
      2016-11-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effect of Ge Core Size on Photoluminescence from Si Quantum Dots with Ge Core2016

    • 著者名/発表者名
      K. Yamada, K. Kondo, M. Ikeda, K. Makihara, and S. Miyazaki
    • 学会等名
      230th Meeting of The Electrochemical Society
    • 発表場所
      Honolulu, HI
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Formation and Characterization of Si Quantum Dots with Ge Core for Functional Devices2016

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki, D. Takeuchi, M. Ikeda, and K. Makihara
    • 学会等名
      2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 年月日
      2016-09-27
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットのエレクトロルミネッセンス特性2016

    • 著者名/発表者名
      山田健太郎、池田弥央、牧原克典、宮崎誠一
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドット/Si量子ドット多重集積構造のEL特性2016

    • 著者名/発表者名
      竹内大智、山田健太郎、牧原克典、池田弥央、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] High Density Formation of and Light Emission from Silicon Quantum Dots with Ge Core2016

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki
    • 学会等名
      11th Workshop on Si-based Optoelectronic Materials and Devices
    • 発表場所
      Nanjing, China
    • 年月日
      2016-06-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Impact of Phosphorus Doping to Multiply-Stacking Si Quantum Dots on Electron Emission Properties2016

    • 著者名/発表者名
      D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, S. Miyazaki
    • 学会等名
      7th Int. Symposium on Control of Semiconductor Interfaces and 8th Int. SiGe Technology and Device Meeting joint meeting
    • 発表場所
      Nagoya
    • 年月日
      2016-06-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of light emission from Si quantum dots with Ge core2016

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki
    • 学会等名
      Int. Conf. on Processing and Manufacturing of Advanced Materials 2016
    • 発表場所
      Granz, Austria
    • 年月日
      2016-05-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットの発光メカニズム2016

    • 著者名/発表者名
      近藤 圭悟、池田 弥央、牧原 克典、宮崎 誠一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットにおけるGeコアサイズがPL特性に及ぼす影響2016

    • 著者名/発表者名
      山田 健太郎、近藤 圭悟、池田 弥央、牧原 克典、宮崎 誠一
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] High Density Formation and Light Emission Properties of Silicon Quantum Dots with Ge Core2016

    • 著者名/発表者名
      Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      BIT's 2nd Annual World Congress of Smart Materials-2016
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2016-03-04
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Study of Electron Field Emission from Multiply-Stacking Si Quantum Dots2016

    • 著者名/発表者名
      D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, S. Miyazaki
    • 学会等名
      9th International WorkShop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration"
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2016-01-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Si量子ドット多重集積構造からの電子放出特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      竹内大智、牧原克典、大田晃生、池田弥央、宮崎誠一
    • 学会等名
      第15回日本表面科学会中部支部研究会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-12-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットからのフォトルミネッセンス特性―温度依存性2015

    • 著者名/発表者名
      近藤圭悟、牧原克典、宮崎誠一
    • 学会等名
      応用物理学会SC東海地区学術講演会 2015
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-11-17
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] P添加Si量子ドット多重集積構造の電界電子放出特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      竹内大智、牧原克典、大田晃生、宮崎誠一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] GeコアSi量子ドットからの発光スペクトル―温度依存性2015

    • 著者名/発表者名
      近藤圭悟、牧原克典、宮崎誠一
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Field Emission Properties from Multiply-Stacking Si Quantum Dots2015

    • 著者名/発表者名
      D. Takeuchi, K. Makihara, A. Ohta and S. Miyazaki
    • 学会等名
      JSPS Core-to-Core Program Workshop "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration"
    • 発表場所
      Marseille, France
    • 年月日
      2015-07-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of P-doping on Photoluminescence Properties of Si Quantum Dots with Ge Core2015

    • 著者名/発表者名
      K. Kondo, K. Makihara, A. Ohta and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2015 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-06-29
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 名古屋大学大学院 工学研究科 電子工学専攻 宮崎研究室

    • URL

      http://www.nuee.nagoya-u.ac.jp/labs/miyazakilab/

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書 2017 実績報告書
  • [備考] 名古屋大学工学研究科 電子工学専攻 宮崎研究室

    • URL

      http://www.nuee.nagoya-u.ac.jp/labs/miyazakilab/

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [備考] 名古屋大学 大学院工学研究科 量子工学専攻 機能集積デバイス研究室

    • URL

      http://www.nuee.nagoya-u.ac.jp/labs/miyazakilab/

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

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公開日: 2015-06-03   更新日: 2023-10-16  

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