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リフトオフによる機能性酸化物の微細加工と新奇物性探索

研究課題

研究課題/領域番号 15H06029
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 無機材料・物性
研究機関東北大学

研究代表者

原田 尚之  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (90609942)

研究期間 (年度) 2015-08-28 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード微細加工 / 機能性物質 / デバイス / 電子・電気材料 / 強相関エレクトロニクス / 量子エレクトロニクス / メゾスコピック系 / セラミックス / 酸化物エレクトロニクス / 微細加工技術
研究成果の概要

多様な物性を示す物質が発見されている中、それらを実際にデバイスとして利用するには薄膜化と微細加工が必須である。本研究では、興味深い物性を示すにも関わらず、従来の方法では微細化が難しかった物質に利用できる汎用なプロセスの開発を行った。溶液で容易に除去できる高融点物質を用いて、基板上にあらかじめテンプレート層を作製し、その上に目的の物質を堆積した。その後、テンプレート層を溶液によって除去することで、目的の物質を劣化することなく微細加工することができた。今後様々な物質群に適用することで、新たな機能を持ったデバイス作製が可能になると期待される。

報告書

(3件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2016 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 1件)

  • [国際共同研究] マックスプランク固体研究所(ドイツ)

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [雑誌論文] Superconducting coupling across a spin-filtering manganite tunnel barrier with magnetic disorder2016

    • 著者名/発表者名
      T. Harada, M. Matvejeff, R. Takahashi, *M. Lippmaa
    • 雑誌名

      Europhys. Lett.

      巻: 115 号: 6 ページ: 67005-67005

    • DOI

      10.1209/0295-5075/115/67005

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Hydrostatic pressure response of an oxide-based two-dimensional electron system2016

    • 著者名/発表者名
      J. Zabaleta, V. S. Borisov, R. Wanke, H. O. Jeschke, S. C. Parks, B. Baum, A. Teker, T. Harada, K. Syassen, T. Kopp, N. Pavlenko, R. Valenti, J. Mannhart
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 93 号: 23 ページ: 235117-235117

    • DOI

      10.1103/physrevb.93.235117

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著

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公開日: 2015-08-26   更新日: 2018-03-22  

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