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微細導波路型高効率光波長変換デバイスに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 15J00578
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 光工学・光量子科学
研究機関大阪大学

研究代表者

田中 圭祐  大阪大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2015-04-24 – 2017-03-31
研究課題ステータス 採択後辞退 (2016年度)
配分額 *注記
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
2016年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2015年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード非線形光学 / ニオブ酸リチウム / 擬似位相整合 / リッジ導波路 / イオンスライス
研究実績の概要

1.研究目的
LiNbO3薄膜結晶リッジ導波路型擬似位相整合第2高調波発生(QPM-SHG)デバイスの実現のためにイオンスライスLiNbO3薄膜結晶への周期分極反転構造・強光閉じ込めリッジ導波路の作製を行った.
2.イオンスライス結晶における周期分極反転構造形成
これまでLiNbO3薄膜結晶に周期分極反転構造を形成する際には,上部電極/薄膜結晶/絶縁層/基板結晶/下部電極という構造で電圧印加を行っていたため,分極反転電荷を検出することができず作製結果の再現性に乏しかった.そこで本研究では,SiO2光学バッファ層下部のAu電極層を介した電圧印加実験を行った.70 Vという比較的低電圧の単一パルス印加を行うことで,約8 mAの分極反転電流を観測し,1.8 μm周期分極反転構造形成に成功した.これはLiNbO3薄膜結晶厚さを0.7 μm,リッジ幅/高さを1.0 μm/0.4 μm,励起光波長を0.78 μmとした場合のQPM周期である.
3.強光閉じ込めリッジ導波路作製
低損失強閉じ込め導波路の有効な作製法として,LiNbO3結晶のLi+⇔H+プロトン交換部において化学的エッチング速度が増加するプロトン交換増速エッチング法をイオンスライス結晶に適用し,微細リッジ導波路の作製・特性評価を行った.200°Cの溶融安息香酸中におけるプロトン交換を1.2 h行った後,常温フッ硝酸エッチングを1 h行うことで,リッジ幅/高さが1.0 μm/0.4 μm (断面積0.7 μm2)である非常に微細な導波路を作製することができた. 波長1.55 μmにおけるTM /TE導波モード近視野像の光強度分布半値全幅はそれぞれ厚さ方向1.7 μm/1.8 μm,幅方向2.8 μm/2.6 μmであり,Ti拡散導波路やアニールプロトン交換導波路と比較してはるかに強い光閉じ込めが得られた.導波路の温度走査を行うことでファブリ-ペロー法により伝搬損失を求めたところ,TMモードで6 dB/cm,TEモードで7 dB/cmという結果を得た.

現在までの達成度 (段落)

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

今後の研究の推進方策

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

報告書

(1件)
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2015

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Non-destructive observation of ferroelectric domain inverted structures in MgO:LiNbO3 by scanning electron microscope2015

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka and T. Suhara
    • 雑誌名

      Electronics Letters

      巻: 51 号: 12 ページ: 923-925

    • DOI

      10.1049/el.2014.3958

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of 0.7 μm2 ridge waveguide in ion-sliced LiNbO3 by proton-exchange accelerated chemical etching2015

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka and T. Suhara
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 号: 12 ページ: 128002-128002

    • DOI

      10.7567/jjap.54.128002

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Fabrication of domain inverted ridge waveguide in ion-sliced LiNbO3 for wavelength conversion devices2015

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka and T. Suhara
    • 学会等名
      The 20th Microoptics Conference
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center(Hakata-ku, Fukuoka, Japan)
    • 年月日
      2015-10-27
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 接合イオンスライスLiNbO3結晶におけるプロトン交換増速エッチングによるリッジ光導波路の作製・評価及びデバイス応用2015

    • 著者名/発表者名
      田中圭祐, 栖原敏明
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市熱田区)
    • 年月日
      2015-09-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of 0.7 μm2 ridge waveguide in ion-sliced LiNbO3 by proton-exchange accelerated etching2015

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka and T. Suhara
    • 学会等名
      The 11th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2015-08-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2015-11-26   更新日: 2024-03-26  

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