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光子モード制御を用いたEu添加GaN赤色LEDの高輝度化

研究課題

研究課題/領域番号 15J00887
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関大阪大学

研究代表者

稲葉 智宏  大阪大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2015-04-24 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2017年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2016年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2015年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
キーワードEu添加GaN / 希土類添加半導体 / 微小光共振器 / ユーロピウム / 窒化ガリウム / 微小共振器
研究実績の概要

本年度は①「Eu添加GaNの発光メカニズムの解明」と、②「微小共振器を用いたEu添加GaN赤色LEDの発光強度増大とそのメカニズムの解明」に取り組んだ。具体的な内容を以下に示す。
① Eu添加GaNの発光強度を増大させる指針を得るためには、発光メカニズムに対する深い理解が不可欠である。前年度、通常は解析されない時間分解フォトルミネッセンスの立ち上がり成分に注目し、Eu添加GaNの発光メカニズムに基づいた解析式を導出・適用することでエネルギー輸送過程の解明に成功した。また、解析で得られた値より、Euの発光遷移確率(W_Eu)が発光過程のボトルネックであることが判明した。
今年度は、成長条件を変化させた試料の解析を行うことで、Eu添加GaNの発光メカニズムのさらに詳細な理解を試みた。その結果、Eu添加GaNの発光効率と発光強度は、GaNからEuへのエネルギー輸送レート、GaN母体での非輻射遷移レート、Eu発光サイト数、W_Euなどにより決定されることを、初めて定量的に明らかにした。
② 微小共振器中では光の状態密度が変調されることで、発光遷移確率や発光の結合モード定数の増大が期待される。そこで、前年度は導電性AlInN/GaN DBRの成長条件を確立し、微小共振器構造を有するLEDを作製した結果、4.6倍の積分発光強度増大に成功した。
そこで今年度は、微小共振器構造を有するLEDに対して詳細な解析を行った。結果として、GaNと空気界面の臨界角以下の発光成分が増大したために、光取り出し効率が向上したことが確認された。これは、時間領域有限差分法による計算結果とも、定性的に一致した。積分発光強度は4.6倍の増大、発光遷移確率は1.06倍の増大であったため、光取り出し効率は4.3倍の増大に成功した。

現在までの達成度 (段落)

29年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

29年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (52件)

すべて 2018 2017 2016 2015

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 2件、 査読あり 3件、 オープンアクセス 2件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (48件) (うち国際学会 20件、 招待講演 6件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Quantitative study of energy-transfer mechanism in Eu,O-codoped GaN by time-resolved photoluminescence spectroscopy2018

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, G. Yamashita, E. Matsubara, B. Mitchell, R. Miyagawa, O. Eryu, J. Tatebayashi, M. Ashida, and Y. Fujiwara
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 123

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Emission enhancement and its mechanism of Eu-doped GaN by strain engineering2017

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, B. Mitchell, A.Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 雑誌名

      Optical Materials Express

      巻: 7 ページ: 1381-1387

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Substantial enhancement of red emission intensity by embedding Eu-doped GaN into a microcavity2016

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, D. Lee, R. Wakamatsu, T. Kojima, B. Mitchell, A. Capretti, T. Gregorkiewicz, A.Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 6 号: 4 ページ: 045105-045105

    • DOI

      10.1063/1.4946849

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Exploring the non-light emission process in semiconductor with light for more efficient LED2018

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      10th Hope Meeting with Nobel Laureates
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Demonstration of red vertical microcavity LEDs with Eu-doped GaN as an active layer2018

    • 著者名/発表者名
      K. Shiomi, T. Inaba, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      21th SANKEN International, The 16th SANKEN Nanotechnology Symposium, 5th KANSAI Nanoscience and Nanotechnology, 13th Handai Nanoscience and Nanotechnology International Symposium
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Eu添加GaNを用いたマイクロディスクの作製とEu発光特性評価2018

    • 著者名/発表者名
      佐々木豊、稲葉智宏、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第65回 応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Eu添加GaN微小レーザ実現に向けたマイクロディスク構造の作製とEu発光特性の評価2018

    • 著者名/発表者名
      佐々木豊、稲葉智宏、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      日本材料学会平成29年度第4回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回講演会・見学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] GaN:Eu赤色LEDの発光ゆらぎ:インタラクティブな発光過程の解析2017

    • 著者名/発表者名
      石井真史, 稲葉智宏, 藤原康文
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市西区)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] GaN系ナノ光デバイスに向けたAlInNの厚膜成長2017

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 藤原康文
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市西区)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 局在表面プラズモンによるEu添加GaN赤色LEDの発光強度増大2017

    • 著者名/発表者名
      山田智也, 稲葉智宏, 児島貴徳, 藤原康文
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市西区)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 母体結晶のノンスピンバス化を目指したエルビウム添加酸化セリウムのMBE成長2017

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 俵毅彦, 尾身博雄, 山本秀樹, 後藤秀樹
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市西区)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 銀ナノ粒子との表面プラズモン結合によるEu添加GaN赤色LEDの発光強度増大2017

    • 著者名/発表者名
      山田智也, 稲葉智宏, 児島貴徳, 藤原康文
    • 学会等名
      日本材料学会平成28年度第4回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回講演会
    • 発表場所
      鳥取大学鳥取キャンパス(鳥取県鳥取市)
    • 年月日
      2017-01-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Challenge to highly efficient wavelength-stable red light-emitting diodes using Eu-doped GaN2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, T. Inaba, W. Zhu, B. Mitchell, T. Kojima, and T. Gregorkiewicz
    • 学会等名
      12th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Temperature-modulation epitaxial growth of thick AlInN layer for fabrication of GaN-based nano-scale photonic devices2017

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      12th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Quantitative evaluation of energy transfer efficiency for Eu-doped GaN grown at different V/III ratios2017

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, G Yamashita, M. Ashida, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      29th International Conference on Defects in Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Repeated emission of Eu by multi-path energy transfer from defects in GaN:Eu red LED2017

    • 著者名/発表者名
      M. Ishii, T. Inaba, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      29th International Conference on Defects in Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhancement of Eu emission in Eu-doped GaN red LED by localized surface plasmon2017

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, T. Inaba, T. Kojima, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      29th International Conference on Defects in Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Growth And Optical Characterization Of Erbium-doped Cerium Oxide As A Magnetically Purified Host Crystal2017

    • 著者名/発表者名
      T. Tawara, T. Inaba, H. Omi, H. Yamamoto, and H. Gotoh
    • 学会等名
      CLEO-PR 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhanced light output from Eu-doped GaN red LED by a microcavity2017

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, K. Shiomi, T. Kojima, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      11th International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices (ISSLED 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 発光遷移確率の制御によるEu,O共添加GaNのEu発光強度増大2017

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏、児島貴徳、藤原康文
    • 学会等名
      第9回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 温度変調エピタキシャル法を用いた高品質AlInNの厚膜成長2017

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏、児島貴徳、藤原康文
    • 学会等名
      日本結晶成長学会第40回結晶成長討論会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 時間分解PLの初期信号解析によるEu添加GaNの発光メカニズムの解明2017

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏、児島貴徳、舘林潤、山下元気、松原英一、芦田昌明、藤原康文
    • 学会等名
      第78回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 有機金属気相エピタキシャル法により作製したTm添加AlGaNからの狭帯域青色発光2017

    • 著者名/発表者名
      藤諒健、高津潤一、稲葉智宏、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第78回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Eu添加GaNを発光層にした赤色垂直微小共振器LEDの実現2017

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏、塩見圭史、児島貴徳、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第78回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 薄膜p-GaN上金属ナノ粒子によるEu添加GaN LED構造の発光強度増大2017

    • 著者名/発表者名
      山田智也、稲葉智宏、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      第78回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Enhancement of Eu emission intensity in Eu doped GaN by silver nanoparticles on thin p-GaN layer2017

    • 著者名/発表者名
      T. Yamada, T. Inaba, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      36th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Growth and optical characteristics of Tm-doped AlGaN by organometallic vapor phase epitaxy2017

    • 著者名/発表者名
      R. Fuji, J. Takatsu, T. Inaba, J. Tatebayashi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      36th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Eu添加GaNを発光層にした狭帯域赤色垂直微小共振器LEDの実現2017

    • 著者名/発表者名
      塩見圭史、稲葉智宏、舘林潤、藤原康文
    • 学会等名
      日本材料学会平成29年度第3回半導体エレクトロニクス部門委員会第2回研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Eu 添加GaN を発光層にした狭帯域赤色垂直微小共振器LED の実現2017

    • 著者名/発表者名
      舘林潤、稲葉智宏、塩見圭史、藤原康文
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会/電子部品・材料研究会/レーザ/量子エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Modulated optical properties of Eu-doped GaN in a GaN based microcavity2016

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, A. Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      2016 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Hynes Convention Center (Boston, United States)
    • 年月日
      2016-11-27
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Eu添加GaNにおけるEu発光中心の励起プロセス評価2016

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 山下元気, 芦田昌明, 藤原康文
    • 学会等名
      第5回結晶工学未来塾
    • 発表場所
      東京農工大学小金井キャンパス(東京都小金井市)
    • 年月日
      2016-11-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Quantitative analysis on energy transfer process for Eu luminescent centers in Eu-doped GaN2016

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, G. Yamashita, M. Ashida and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2016
    • 発表場所
      Hilton Orlando Lake Buena Vista (Orlando,United States)
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Eu添加GaNにおけるEu発光中心へのエネルギー輸送プロセスの定量的解析2016

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 山下元気, 芦田昌明, 藤原康文
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市中央区)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 多重量子ブロック層を用いたEu添加GaN赤色LEDの発光強度増大2016

    • 著者名/発表者名
      山田智也, 稲葉智宏, 児島貴徳, 小泉淳, 藤原康文
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市中央区)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Significant enhancement of emission intensity from Eu ions embedded in a GaN microcavity2016

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, A. Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      「ナノ光電子材料における消光問題の国際的枠組による解決」研究会
    • 発表場所
      京都大学吉田キャンパス(京都府京都市左京区)
    • 年月日
      2016-08-19
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 微小共振器により変調されたEu添加GaNの発光特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 小泉淳, 藤原康文
    • 学会等名
      日本材料学会平成28年度第2回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回研究会
    • 発表場所
      大阪府立大学中百舌鳥キャンパス(大阪府堺市中区)
    • 年月日
      2016-07-30
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Controlling emission properties of Eu-doped GaN by microcavity2016

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, A. Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      35th Electronic Materials Symposium
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県守山市)
    • 年月日
      2016-07-06
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Enhanced red emission from Eu ions embedded in a GaN resonant optical microcavity2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, T. Inaba, T. Kojima, B. Mitchell, A. Capretti, T. Gregorkiewicz, and A. Koizumi
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D and Materials Research 2016 (CC3DMR2016)
    • 発表場所
      Incheon (Seoul, Korea)
    • 年月日
      2016-06-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 光状態密度の制御によるEu添加GaNの発光強度増大2016

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 小泉淳, 藤原康文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成28年度第1回研究会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所関西センター(大阪府池田市)
    • 年月日
      2016-06-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Towards highly efficient wavelength-stable red light-emitting diodes using Eu-doped GaN2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, T. Inaba, B. Mitchell, T. Kojima, and A. Koizumi
    • 学会等名
      International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials; Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC’2016)
    • 発表場所
      Messe Congress Graz (Graz, Austria)
    • 年月日
      2016-05-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 微小共振器によるEu添加GaNの発光モード制御2016

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 小泉淳, 藤原康文
    • 学会等名
      第8回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス(京都府京都市西京区)
    • 年月日
      2016-05-09
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Significant Enhancement of Photoluminescence intensity Intensity from Eu-Doped GaN embedded Embedded in resonant Resonant cavitiy Cavity2016

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, T. Kojima, A. Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      17th International Conference on Physics of Light-Matter Coupling in Nanostructures
    • 発表場所
      Todaiji Temple Cultural Center (Nara, Japan)
    • 年月日
      2016-03-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 微小光共振器によるEu添加GaNの発光特性制御2016

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 児島貴徳, 小泉淳, 藤原康文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都、目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Towards highly efficient wavelength-stable red light-emitting diodes using Eu-doped GaN2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, T. Inaba, B. Mitchell, T. Kojima, and A. Koizumi
    • 学会等名
      2nd International Workshop on Luminescent Materials 2015 (LumiMat’15)
    • 発表場所
      Kyoto University (Kyoto, Japan)
    • 年月日
      2015-12-12
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Controlling the fraction of emission luminescent sites in Eu-doped GaN by compressive strain2015

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, A. Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      Nanophotonics in Asia
    • 発表場所
      Nakanoshima Center (Osaka, Japan)
    • 年月日
      2015-12-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhancing Eu emission intensity by strain engineering in GaN heteroepitaxial layers2015

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, A. Koizumi, and Y. Fujiwar
    • 学会等名
      3rd KANSAI Nanoscience and Nanotechnology International Symposium
    • 発表場所
      Osaka University ( Suita, Japan)
    • 年月日
      2015-12-08
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Towards highly efficient wavelength-stable red light-emitting diodes with Eu-doped GaN: effects of in-plane strain on Eu emission2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, T. Inaba, T. Kojima, and A. Koizumi
    • 学会等名
      5th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures (SemiconNano2015),
    • 発表場所
      Lakeshore Hotel ( Hsinchu, Taiwan)
    • 年月日
      2015-09-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Drastic enhancement of Eu emission from red light-emitting Eu-doped GaN in a microcavity2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Fujiwara, T. Inaba, T. Kojima, and A. Koizumi
    • 学会等名
      11th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR 2015)
    • 発表場所
      BEXCO ( Busan, Korea)
    • 年月日
      2015-08-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] In-Plane Compressive Strain Dependence of Photoluminescence Properties in Eu-Doped GaN2015

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, A. Koizumi, and Y. Fujiwar
    • 学会等名
      28th International Conference on Defects in Semiconductor
    • 発表場所
      Aalto university (Helsinki, Finland)
    • 年月日
      2015-07-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] The mechanism of emission enhancement from Eu doped GaN by in-plane compressive strain2015

    • 著者名/発表者名
      T. Inaba, A. Koizumi, and Y. Fujiwara
    • 学会等名
      34th Electronic Materials Symposium
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県、守山市)
    • 年月日
      2015-07-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 面内圧縮ひずみによるEu添加GaNの高発光効率化のメカニズム2015

    • 著者名/発表者名
      稲葉智宏, 小泉淳, 藤原康文
    • 学会等名
      第七回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東北大学片平キャンパス(宮城県、仙台市)
    • 年月日
      2015-05-07
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [産業財産権] AlInN膜および2次元フォトニック結晶共振器とこれらの製造方法ならびに半導体発光素子2017

    • 発明者名
      藤原康文, 稲葉智宏
    • 権利者名
      藤原康文, 稲葉智宏
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2017-02-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2015-11-26   更新日: 2024-03-26  

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