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表面プラズモンを用いた可変カラーフィルタの製作

研究課題

研究課題/領域番号 15J06109
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

本間 浩章  豊橋技術科学大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2015-04-24 – 2017-03-31
研究課題ステータス 採択後辞退 (2016年度)
配分額 *注記
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
2016年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2015年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード表面プラズモン / 可変プラズモニックカラーフィルタ / MEMS
研究実績の概要

本研究では、金属ナノ格子と周期構造を制御するMEMSアクチュエータの一体化により、表面プラズモン異常透過の励起波長の連続可変制御を達成した。
周期500 nmのアルミ格子と静電アクチュエータを微小バネにより接続し基板貫通孔上に配置した表面プラズモン可変フィルタを設計,製作した。静電アクチュエータに印加される駆動電圧を0 Vから60 Vへ増加させることで、静電アクチュエータの横変位が得られアルミ格子の周期は500 nmから642 nmへ拡張された。これにより、表面プラズモンの励起波長は周期に依存するため可視域において124 nmの連続シフトが得られた。また、可変フィルタからの透過光の色度は、電圧の増加に伴い円を描き色度図上をシフトした。
これらの結果はMEMSアクチュエータによる表面プラズモン励起波長の連続制御に成功したことを示しており,周囲の誘電率を変化させる既存の方法と比較し帯域が広く、100 nm以上の連続シフトを可視域に与えることに成功した。また、色度の変化は透過光の色変化を表しており、可視域の全色を電圧制御により選択的に透過させる機能を持つ可能性を示した。
さらに、彩度向上のため、表面プラズモン異常透過を強める金属と誘電体の中空積層格子をMEMSアクチュエータと一体化した可変プラズモニックカラーフィルタを提案した。予備検討として、アルミとシリコン酸化膜の積層格子を基板貫通孔上に配置した中空プラズモニックカラーフィルタを製作し、励起波長における90%以上の透過率を実現した。
よって、1素子で複数の波長帯域を選択的に透過させる可変プラズモニックカラーフィルタの実現の見通しが立ったと言える.これは、表示素子に限らず1 μm以下の微小領域においてカラースペクトルを得ることも可能になると予想され、バイオ・メディカル分野に新たな知見を与えることが期待できる.

現在までの達成度 (段落)

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

今後の研究の推進方策

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

報告書

(1件)
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 4件)

  • [雑誌論文] Continuously controlled excitation wavelength of surface plasmons by nanomechanical stretched subwavelength grating2016

    • 著者名/発表者名
      H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 9 号: 2 ページ: 027201-027201

    • DOI

      10.7567/apex.9.027201

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of free-standing subwavelength metal-insulator-metal gratings using high aspect ratio nanoimprint techniques2016

    • 著者名/発表者名
      H. Honma, Masato Mitsudome, Shintaro Itoh, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada, and Kazuhiro Takahashi
    • 雑誌名

      Japan Journal of Applied Physics

      巻: 55

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Widely tunable plasmonic bandpass filter integrated with Al subwavelength grating and comb-drive actuators2016

    • 著者名/発表者名
      H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada
    • 学会等名
      Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016
    • 発表場所
      金沢,日本
    • 年月日
      2016-06-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Highly transmissive plasmonic color filter by free-standing metal-insulator-metal subwavelength grating2016

    • 著者名/発表者名
      M. Mitsudome, H. Honma, S. Itoh, M. Ishida, K. Sawada, and K. Takahashi
    • 学会等名
      The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems 2016
    • 発表場所
      宮城,日本
    • 年月日
      2016-04-17
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MEMS技術による表面プラズモン異常透過現状の励起波長連続可変制御2016

    • 著者名/発表者名
      本間浩章,高橋一浩,石田誠,澤田和明
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京,日本
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of metal-insulator-metal sub-micron gratings by high aspect ratio nanoimprint2015

    • 著者名/発表者名
      M. Mitsudome, H. Honma, S. Itoh, M. Ishida, K. Sawada, and K. Takahashi
    • 学会等名
      International Microprocesses and Nanotechcology Conference 2015
    • 発表場所
      富山,日本
    • 年月日
      2015-11-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 金属ナノ周期構造を利用したプラズモニックカラーシートの製作2015

    • 著者名/発表者名
      熊谷隼人,本間浩章,石田誠,澤田和明,高橋一浩
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子デバイス研究会
    • 発表場所
      東京,日本
    • 年月日
      2015-08-03
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作2015

    • 著者名/発表者名
      本間浩章,高橋一浩,石田誠,澤田和明
    • 学会等名
      電気学会 センサ・マイクロマシン部門 平成27年度総合研究会
    • 発表場所
      福岡,日本
    • 年月日
      2015-07-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of tunable plasmonic color filter using Al subwavelength grating integrated with electrostatic comb-drive actuator2015

    • 著者名/発表者名
      H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, and K. Sawada
    • 学会等名
      International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015
    • 発表場所
      アラスカ,アメリカ
    • 年月日
      2015-06-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2015-11-26   更新日: 2024-03-26  

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