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多方向エッチングによる3次元フォトニック結晶の開発と光制御への展開

研究課題

研究課題/領域番号 15J08630
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 ナノ構造物理
研究機関京都大学

研究代表者

北野 圭輔  京都大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2015-04-24 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
2017年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2016年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2015年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワードフォトニック結晶 / 3次元フォトニック結晶 / 光ナノ共振器 / 光導波路 / ウエハ融着
研究実績の概要

周期性を立体的に配置した3次元フォトニック結晶は,あらゆる偏光,波数の光の存在を禁止し,立体的かつ光漏れ損失を極限まで抑制した光制御が可能となると期待されている.これまで2次元構造を順次融着積層していく手法の間に線状あるいは点状の欠陥を入れた層を挟み込むことで導波路や共振器を有する3次元構造を実現した.しかしながら,3次元構造形成のためには,数10 nmレベルの高精度な位置合わせ融着積層などの,複雑かつ時間のかかる工程が周期数と対応する積層数とほぼ同回数要求されるため,実現に成功した積層数は少なく,結果として,導波路や共振器におけるエバネッセント的な光漏れ損失は未だ大きな状況であった.
上記のような状況を鑑み,3次元構造を簡便かつ高速に実現することが,完全な3次元光制御の実現を加速させるために重要と考え,昨年度まで,大面積基板上へ複数の2次元構造を配置し,2次元構造の一括ウエハ融着工程と,分割行程を繰り返すことで構造の作製する新たな手法を開発した.本年度は,本手法によって,全32層の3次元フォトニック結晶を形成し,光学特性の評価を行った.形成された3次元フォトニック結晶について,フォトニックバンドギャップ帯域の光学特性評価した結果,透過率が測定系のノイズまで減衰することを示した.形成した導波路について,光学特性を評価した結果,透過率が10-4から10-5程度とフォトニックバンドギャップ帯域での透過率と比較して増大し,32層の積層導波路を介して光が導波することを示した.さらに,共振器と導波路を組み合わせた系を評価した結果,共振モードが1つ形成され,その光閉じ込め効果はQ値にして15000と16層の3次元フォトニック結晶に形成した内部の共振器よりも1桁高い光閉じ込め効果を実証した.

現在までの達成度 (段落)

29年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

29年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2018 2017 2016 2015

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Light Propatation in Ultra-thin Gap in 3D Photonic Crystals2017

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Kitano, Kenji Ishizaki, Kou Gondaira, Yoshinori Tanaka, and Susumu Noda
    • 雑誌名

      Photonics and Nanostructures-Fundamentals and Applications

      巻: 24 ページ: 58-62

    • DOI

      10.1016/j.photonics.2017.03.003

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Control of radiation angle by introducing symmetric end structure to oblique waveguide in three-dimensional photonic crystal2016

    • 著者名/発表者名
      Kou Gondaira, Kenji Ishizaki, Keisuke Kitano, Takashi Asano, and Susumu Noda
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 24 ページ: 13518-13526

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Three-dimensional photonic crystals fabricated by simultaneous multidirectional etching2015

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Kitano, Katsuyoshi Suzuki, Kenji Ishizaki, and Susumu Noda
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 91 号: 15 ページ: 155308-155308

    • DOI

      10.1103/physrevb.91.155308

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 複数層一括融着により形成した 3次元フォトニック結晶への導波路-ナノ共振器結合構造の導入2018

    • 著者名/発表者名
      北野圭輔,石崎賢司,野田進
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会,19p-C301-3
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製の検討(III)2017

    • 著者名/発表者名
      北野圭輔,石崎賢司,権平皓,野田進
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 3次元フォトニック結晶におけるギャップ中減衰モードの考察(II)2017

    • 著者名/発表者名
      権平皓,石崎賢司,北野圭輔,野田進
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製2017

    • 著者名/発表者名
      北野圭輔,石崎賢司,野田進
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会,14p-P7-1
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of evanescent-Bloch mode in photonic band gap of 3D photonic crystal2016

    • 著者名/発表者名
      Kou Gondaira, Takashi Asano, Keisuke Kitano, Kenji Ishizaki, and Susumu Noda
    • 学会等名
      The 6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence -Advanced Nanophotonics and Silicon Device Systems-
    • 発表場所
      Tokyo (Japan)
    • 年月日
      2016-11-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improvement of out-coupling of the oblique waveguide in three-dimensional photonic crystals by introducing a symmetric end structure2016

    • 著者名/発表者名
      Kou Gondaira, Kenji Ishizaki, Keisuke Kitano, Takashi Asano, and Susumu Noda
    • 学会等名
      2016 IEEE Photonics Conference
    • 発表場所
      Hawaii (USA)
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 3次元フォトニック結晶におけるギャップ中減衰モードの考察2016

    • 著者名/発表者名
      権平皓,石崎賢司,北野圭輔,野田進
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製の検討(Ⅱ)2016

    • 著者名/発表者名
      北野圭輔,石崎賢司,権平皓,野田進
    • 学会等名
      第63回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東工大大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製の検討2015

    • 著者名/発表者名
      北野圭輔,石崎賢司,権平皓,野田進
    • 学会等名
      第76回応用物理学秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

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公開日: 2015-11-26   更新日: 2024-03-26  

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