高感度振動検出のための同調質量付加型MEMSセンサの開発

• 研究課題/領域番号: 15K01225
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 社会システム工学・安全システム
• 研究機関: 豊橋技術科学大学
• 研究代表者: 川島 貴弘 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50378270)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 採択 (2015年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)