| 研究課題/領域番号 |
15K01239
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
社会システム工学・安全システム
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| 研究機関 | 独立行政法人労働者健康安全機構労働安全衛生総合研究所 |
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研究代表者 |
佐藤 嘉彦 独立行政法人労働者健康安全機構労働安全衛生総合研究所, 化学安全研究グループ, 主任研究員 (60706779)
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| 研究分担者 |
松永 猛裕 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 安全科学研究部門, 上級主任研究員 (30192751)
秋吉 美也子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 安全科学研究部門, 主任研究員 (50274551)
岡田 賢 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 安全科学研究部門, 主任研究員 (80356683)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 爆発災害防止 / チタン / 硝酸 / 薄膜剥離工程 |
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| 研究成果の概要 |
硝酸を使用する薄膜剥離工程での爆発災害を防止することを目的として，発生した事故例に近い条件について，アルミニウム，ニッケル，チタン及び銀からなる積層薄膜と硝酸との反応挙動及びその原因の検討を行い，以下のことを明らかにした．
積層薄膜と50 wt%硝酸の重量比がおよそ1:1～2:1の範囲内で激しい発熱を呈した．その急激な発熱には銀が関与しており，銀が存在した上で，チタンの量が多くなると，急激な反応が起こりやすくなる傾向があると考えられる．
硝酸中に銀イオンが存在するとアルミニウムの溶解，すなわち発熱が加速する．それ以外の加速要因として，溶解せずに残存しているチタンとアルミニウムの接触があり得る．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
近年，金属薄膜を硝酸で剥離する工程での爆発事故が増加している．発生した電子産業の発展に伴い，このような薄膜剥離工程の作業量が増加していく中，同様の事故が今後頻発する恐れが高い．このような関連する爆発災害を防止するためには，そのメカニズムの解明が必要である．本研究で得られた成果は，そのメカニズムの一端を明らかにするものであり，硝酸を使用する金属薄膜剥離工程における爆発災害を未然に防止する一助になる．
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