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a-Si:H/c-Siヘテロ接合界面近傍のボイド構造解明

研究課題

研究課題/領域番号 15K04663
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 結晶工学
研究機関神奈川大学

研究代表者

松木 伸行  神奈川大学, 工学部, 准教授 (30373450)

研究分担者 大島 永康  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長 (00391889)
上殿 明良  筑波大学, 数理物質系, 教授 (20213374)
ORourke Brian  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (60586551)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードa-Si:H/c-Siヘテロ接合太陽電池 / 水素化アモルファスシリコン / ボイド / 新規評価手法 / 陽電子消滅 / a-Si:H/c-Siヘテロ接合 / 分光エリプソメトリー / Siヘテロ接合太陽電池 / 結晶シリコン / ヘテロ接合太陽電池 / 界面微視的構造 / 分光偏光解析 / 新評価手法確立
研究成果の概要

現在、水素化アモルファスシリコン/結晶シリコンヘテロ接合型太陽電池は高効率な太陽電池のひとつとして注目されている。同太陽電池の性能を決定付けている最も重要な特性の一つが水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)と結晶シリコン(c-Si)との界面における電子・構造物性である。本研究では、陽電子消滅と分光エリプソメトリーの手法を併用することにより、これまで困難であった、nm膜厚のa-Si:H層内におけるボイド(空隙)サイズを決定する新規な手法を確立した。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2018 2017 2015

すべて 学会発表 (5件) (うち国際学会 2件)

  • [学会発表] a-Si:H/c-Siヘテロ界面近傍ボイド構造の高速評価 -ボイドサイズと光学パラメータの相関普遍性に関する考察-2018

    • 著者名/発表者名
      松木 伸行、松井 卓矢、満汐 孝治、オローク ブライアン、大島 永康、上殿 明良
    • 学会等名
      第65回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Fast optical determination of microvoid size in hydrogenated amorpshous silicon layers based on data obtained from positron annihilation spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      N. Matsuki, N. Oshima, B. O’Rourke, A. Uedono
    • 学会等名
      27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] a-Si:H/c-Siヘテロ界面近傍ボイド構造の高速評価 -ボイドサイズ・水素結合・Si結合角ゆらぎの相互相関-2017

    • 著者名/発表者名
      松木 伸行、オローク ブライアン、大島 永康、上殿 明良
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] a-Si:H/c-Siヘテロ界面構造評価:陽電子消滅データに基づく分光エリプソメトリー解析の適用2015

    • 著者名/発表者名
      松木伸行
    • 学会等名
      第61回 CVD研究会
    • 発表場所
      ユースパルいしかわ、金沢市、石川県
    • 年月日
      2015-08-28
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Characterization of microvoid structure in a-Si:H/c-Si heterojunctions via positron annihilation and spectroscopic ellipsometry2015

    • 著者名/発表者名
      N. Matsuki
    • 学会等名
      The 5th Asia-Africa Sustainable Energy Forum Jointly with 7th International Workshop on Sahara Solar Breeder
    • 発表場所
      University of Tsukuba, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2015-05-12
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-12-27  

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