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新しいナノ構造半導体を用いた高性能中赤外デバイスの創成

研究課題

研究課題/領域番号 15K04666
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 結晶工学
研究機関大阪府立大学

研究代表者

河村 裕一  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80275289)

研究協力者 川又 修一  
研究期間 (年度) 2015-10-21 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード量子井戸 / 中赤外デバイス / 分子線結晶成長法 / InP基板 / 中赤外発光素子 / 分子線結晶成長 / InGaAsN / GaAsSb / 中赤外光デバイス / タイプII量子井戸
研究成果の概要

新しい量子ナノ構造を用いた波長3~5μm帯の中赤外デバイスの創成を目的として、分子線結晶成長法(MBE)を用いて量子ナノ構造を作成し、その特性を評価するとともに、発光型デバイスも試作しその発光特性を調べた。まずInGaAsN/GaAsSbタイプIIダイオード(発光波長2.6μm)のアニール効果を調べた。その結果550℃でアニールした場合は発光波長が3.4μmに、600℃でアニールした場合は発光波長が4.2μmにシフトすることが分かった。またアニールするとともにInGaAsN発光層の有効質量が減少することもあきらかとなった。これはアニールにより窒素原子が拡散していることを示唆している。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2017 2016 2015

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Annealing effects on the properties of InGaAsN/GaAsSb type-II quantum well diodes grown on InP substrates2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Kawamura, I. Shishido, S. Tanaka and S. Kawamata
    • 雑誌名

      Phys. Status Solidi A

      巻: 214

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effective Mass of Two-dimensional Electrons in InGaAsN/GaAsSb Type II Quantum Well by Shubnikov-de Haas Oscillations2016

    • 著者名/発表者名
      S. Kawamata, H. Hibino, S. Tanaka and Y. Kawamura
    • 雑誌名

      Jarnal of Applied Physics

      巻: 120

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 半導体結晶と光素子への応用2015

    • 著者名/発表者名
      河村裕一
    • 雑誌名

      光技術コンタクト

      巻: 53 ページ: 4-9

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] (111)InP基板上のMBE成長InGaAs/InAlAs 量子井2017

    • 著者名/発表者名
      河村裕一、谷口あずさ
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] (111)面InP基板上のInGaAs/InAlAs単一量子井戸の成長2017

    • 著者名/発表者名
      河村裕一、谷口つばさ
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] (111)面InP基板上のinGaAs/InAlAs歪単一量子井戸の成長2017

    • 著者名/発表者名
      河村裕一、谷口つばさ
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Annealing Effect on Effective Mass of Two-dimensional Electrons in InGaAsN/GaAsSb Type II Quantum Well2017

    • 著者名/発表者名
      Shuichi Kawamata, Sho Tanaka, Akira Hibino, Yuichi Kawamura
    • 学会等名
      低温物理国際会議
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] InGaAs/GaAsSbタイプII量子井戸構造における2次元電子の伝導特性III2016

    • 著者名/発表者名
      田中章, 川又修一, 日比野暁, 河村裕一
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      金沢
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] InP基板上のMBE成長GaSb層の特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      史豊銓、三浦広平、猪口康博、河村裕一
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      新潟
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaAsN/GaAsSbタイプIIダイオードのアニール効果(II)2016

    • 著者名/発表者名
      河村裕一、宍戸郁也、田中章、川又修一
    • 学会等名
      応用物理学会講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Effective Mass of Two-dimensional Electrons in InGaAsN/GaAsSb Type II Quantum Well by Shubnikov-de Haas Oscillation2015

    • 著者名/発表者名
      S. Kawamata, A. Hibino, S. Tanaka, Y. Kawamura
    • 学会等名
      2nd International Symposium on Frontiers in Materials Science
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都新宿区)
    • 年月日
      2015-11-20
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2015-10-21   更新日: 2025-11-18  

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