| 研究課題/領域番号 |
15K04675
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
中原 仁 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (20293649)
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| 研究分担者 |
堀尾 吉已 大同大学, 工学部, 教授 (00238792)
齋藤 弥八 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (90144203)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2017年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 反射高速電子回折装置 / 表面構造解析 / 気相成長 / 触媒反応 / 反射高速電子回折 / 差動排気 / 化学気相成長 |
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| 研究成果の概要 |
ガス環境下における結晶表面の構造解析を目的として、二段レンズを有する差動排気システムを入射側と出射側に装備した環境反射高速電子回折(ERHEED)装置の開発(装置設計、製作および評価)を行った。開発した装置の動作検証を行った結果、出射側レンズシステムの調整には課題が残ったが、入射側のレンズシステムは設計通り機能し、従来の数十倍のガス圧力下でRHEEDロッキング測定ができることを実証した。本装置を用いることで、化学気相成長中や気相触媒反応中の表面構造など従来手法では困難であった反応表面の動的構造解析ができるようになり、新奇材料開発に寄与するものと期待される。
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