タッチパネルや太陽光発電パネルに利用できる超撥水撥油性透光性防汚薄膜の作製

• 研究課題/領域番号: 15K04680
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 香川大学
• 研究代表者: 須崎 嘉文 香川大学, 創造工学部, 教授 (60206456)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2017年度)
• 配分額: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円); 2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2016年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: 化学吸着単分子膜 / 大気圧プラズマ / 撥水性 / 酸化亜鉛 / 凹凸表面加工 / 透過性 / 超撥水性表面 / タッチパネル / 太陽光発電 / 表面改質 / 超撥水性 / 撥油性 / 大気圧低温プラズマ / ラズベリー構造

研究成果の概要

屋外に設置された太陽光発電パネルについて、表面の汚れにより発電効率が減少する問題がある。また、タッチパネルについて、指脂汚れによりスクリーンの視界が悪化する問題がある。本研究ではこれらの問題を解決するために、透明な基板の透明度を損なわず超撥水性と撥油性をもつ防汚膜を作製した。ガラス基板上にフラクタル微細構造を形成することによって作製した。すなわち。直径100nmの酸化シリコン粒子を配列、大気圧低温プラズマによって透明ZnO薄膜の針状組織を作製、さらに、化学吸着単分子膜で被覆した。超撥水性（水滴接触角;150度）、かつ、透過率約90%を得た。

研究成果

• [雑誌論文] 大気圧低温プラズマを用いて作製したZnO薄膜へのヘリウムと酸素のプラズマによる表面処理 (2018)
  • 著者名/発表者名: 馬 暁媛, 藤堂 卓也, 須崎 嘉文
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 84 号: 3 ページ: 284-288
  • DOI: 10.2493/jjspe.84.284
  • NAID: 130006434102
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] 炭化水素系化学吸着単分子膜の四フッ化炭素プラズマ処理による撥水性単分子膜の作製 (2018)
  • 著者名/発表者名: 馬 暁媛, 小川 一文, 須崎 嘉文
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 84 号: 3 ページ: 272-276
  • DOI: 10.2493/jjspe.84.272
  • NAID: 130006434100
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Post-He Plasma Treatment on ZnO Thin Film Fabricated by an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator (2017)
  • 著者名/発表者名: Xiaoyuan Ma, Takuya Todo, Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Frontier of Applied Plasma Technology 巻: 10 ページ: 22-26
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of discharge voltage on the fabricarion of ZnO thin films using atmospheric pressure cold plasma (2016)
  • 著者名/発表者名: 09 Takuya Todo, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Proceedings of International Conference on Science, Technology & Education 2016 巻: 1 ページ: 221-224
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Effect of Post-He Plasma Treatment on ZnO Thin Film Fabrication Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator (2016)
  • 著者名/発表者名: Xiaoyuan Ma, Toshifumi Yuji, Tomokazu Shikama, Yoshifumi Suzaki
  • 雑誌名: Proceedings of International Conference on Science, Technology & Education 2016 巻: 1 ページ: 81-84
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Effect of Post-Annealing in Nitrogen Gas on the Microstructure of ZnO Thin Films Prepared Using Atmospheric Pressure Cold Plasma (2016)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki, Xiaoyuan Ma, Toshifumi Yuji, Kenzo Yamaguchi
  • 雑誌名: Frontier of Applied Plasma Technology 巻: 9 ページ: 61-65
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [学会発表] Post-He Plasma Treatment on ZnO Thin Films Fabricated by Atmospheric Pressure Cold Plasma (2017)
  • 著者名/発表者名: Xiaoyuan Ma and Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: CSW 2017 (Compound Semiconductor Week 2017)
  • 国際学会
• [学会発表] Preparation of Fluorocarbon Chemically Adsorbed Monomolecular Film Using CF4 Plasma and Hydrocarbon Monolayer (2017)
  • 著者名/発表者名: Xiaoyuan Ma, Kazufumi Ogawa and Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: ISAPS 2017 (International Symposium on Applied Plasma Science 2017)
  • 国際学会
• [学会発表] 炭化水素系化学吸着単分子膜と四フッ化酸素プラズマを用いたフッ化炭素化学吸着単分子膜の作製 (2017)
  • 著者名/発表者名: 馬暁媛, 小川一文, 須崎嘉文
  • 学会等名: 精密工学会2017年秋季大会(大阪大学)
• [学会発表] 大気圧低温プラズマを用いたZnO薄膜の作製 (2017)
  • 著者名/発表者名: 須崎嘉文
  • 学会等名: Cat-CVD研究会
  • 招待講演
• [学会発表] Antifouling Transparent ZnO Thin Films Fabricated by Using Atmospheric Pressure Cold Plasma (2016)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki, Xiaoyuan Ma, Kazufumi Ogawa
  • 学会等名: Nono Science & Technology-2016
  • 発表場所: シンガポール
  • 年月日: 2016-10-26
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Antifouling transparent ZnO thin films fabricated by atmosferic pressure cold plasma deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: 9th international conference on reactive plasmas
  • 発表場所: Hawaii, USA
  • 年月日: 2015-11-12
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of Antifouling Transparent ZnO Thin Films by Atmospheric Pressure Cold Plasma Deposition (2015)
  • 著者名/発表者名: Yoshifumi Suzaki
  • 学会等名: 37th International Symposium on Dry Process
  • 発表場所: Awaji, Japan
  • 年月日: 2015-11-05
  • 国際学会