| 研究課題/領域番号 |
15K04698
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
光工学・光量子科学
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| 研究機関 | 滋賀県立大学 |
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研究代表者 |
山田 逸成 滋賀県立大学, 工学部, 准教授 (40586210)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2017年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2016年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
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| キーワード | ゾル-ゲル法 / インプリント法 / ワイヤグリッド偏光子 / ゾル－ゲル法 / ゾル‐ゲル法 / インプリント加工 |
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| 研究成果の概要 |
サブ波長周期構造の形成において，ドライエッチングのプロセスが不可欠なため、高価な装置が必要であり、プロセスの簡易化や低コスト化が課題として残っていた。
本研究では，簡易なプロセスとして注目されているインプリント加工に注目し，ゾル-ゲル法とシリコーン樹脂をモールド材料としたインプリント法を併用することにより、赤外域で透過するジルコニアのサブ波長周期構造（格子周期400nm，格子高さ100nm）を形成することができた。この格子表面にAl格子を形成し、赤外用ワイヤグリッド偏光子の作製を行った。結果として，2.5～7.8μmの波長域で20dBを超える消光比が得られた。
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