| 研究課題/領域番号 |
15K04725
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 熊本高等専門学校 |
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研究代表者 |
小田川 裕之 熊本高等専門学校, 地域イノベーションセンター(熊本キャンパス), 教授 (00250845)
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| 研究分担者 |
柳谷 隆彦 早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (10450652)
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| 連携研究者 |
長 康夫 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (40179966)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 分極反転 / 圧電薄膜 / 走査型非線形誘電率顕微法 / 極性反転構造 / 極性反転圧電薄膜 / 層厚測定 / 分極反転層 / AlN圧電薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
最近の研究で、ZnO やAlNなどの圧電薄膜を用いて、層状に極性反転した構造の作製が可能になってきており、今後の圧電デバイスの開発に重要である。本研究では、走査型非線形誘電率顕微法（SNDM）を応用し、非破壊で表面から層構造を測定する方法の開発を行った。その結果、反転層が1層ある場合については、具体的な測定と層厚の決定手順を確立した。実験結果は実際の層厚によく一致し、更に、層厚の面内分布の計測も可能となった。次に、反転層が2層ある場合についても同様に検討した。探針の押し込み量を調節して電界分布を変える実験を行い、押し込み量による出力信号の変化を確認し、多層構造での層厚推定の可能性を示した。
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