| 研究課題/領域番号 |
15K05712
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 千葉大学 |
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研究代表者 |
松坂 壮太 千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (30334171)
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| 研究分担者 |
森田 昇 千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (30239660)
比田井 洋史 千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (60313334)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 固体イオン交換 / ガラス / 銀 / 内部配線 / イオン交換 / 電圧印加 / 金属析出 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，順・逆電圧印加を併用した固体イオン交換法によってガラス内部に形成される銀結晶の析出メカニズムを明らかにするとともに，析出層のガラス内部微細配線への適用を試みた．析出物の成長プロセスの観察結果から，順電圧印加によってガラス内部に添加された銀イオンが，逆電圧印加によって還元されて析出物を形成することが分かった．また，銀とナトリウムの交互添加や銀ナノインクによる供給源の微細化等の手法により，ガラス内部に多層配線の形成や線幅0.1 mm以下の微細配線の形成が可能となった．
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