| 研究課題/領域番号 |
15K05738
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 福岡工業大学 |
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研究代表者 |
仙波 卓弥 福岡工業大学, 工学部, 教授 (30154678)
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| 研究分担者 |
天本 祥文 福岡工業大学, 工学部, 助教 (00505670)
藤山 博一 福岡工業大学, 工学部, 教授 (50148912)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | ナノマイクロ機械加工 / ナノ多結晶ダイヤモンド / レーザ加工 / 反応性イオンエッチング / 乾式ラッピング / ノーズRバイト / 刃先丸み半径 / 無酸素銅 / 超精密切削 / 理想的加工法 |
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| 研究成果の概要 |
アルミや銅合金の超精密切削に使われている単結晶ダイヤモンド製切削工具の刃先の丸み半径は10 nm前後であり，側方バリが生じることが原因で理論どおりの加工面粗さは得られない．また，切削加工に費やされるエネルギの約95 %は切りくずを排出することに使われている．
本研究では，ナノ多結晶ダイヤモンド(NPD)製ノーズRバイトの刃先の丸み半径を, アルミや銅合金の原子半径と同じ，0.1 nmに成形するための研究を行った．レーザ加工後のNPD製ノーズRバイトに対して乾式ラッピングと酸素プラズマを用いたドライエッチングを行うことにより，刃先の丸み半径を研究目標のとおり0.1 nmに成形することができた．
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