| 研究課題/領域番号 |
15K05748
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群) |
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研究代表者 |
吉冨 健一郎 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 准教授 (40546149)
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| 研究協力者 |
宇根 篤暢 元防衛大学校 (10535371)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2017年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2016年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 冷凍ピンチャック / 反り / 冷凍液 / 薄型基板 / 研削・研磨 / 石英ガラス基板 / 石英ガラスウエハ / ウエハ保持 / 基板変形 / 真空チャック / 石英ガラス / 研磨 / 凝固保持 |
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| 研究成果の概要 |
薄型基板の反りは製造プロセスに悪影響を与えるので，無反り基板の創成技術が求められている．そこで，我々は基板変形無しで基板を保持する冷凍ピンチャックを用いた研磨プロセスを提案している．この技術のキーテクノロジーは，霧化してピン上に塗布した冷凍液が凝固することによって基板を保持することである．本研究では，メニスカス力によって生じる基板変形を防ぐための新しい保持手順を確立し，また，新しい冷凍液の塗布方法によって保持特性を改善した．直径300mmの基板を用いた実験より，本技術が反りを除去する研削や研磨に使用できることを明らかにした．
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