| 研究課題/領域番号 |
15K05781
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
流体工学
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| 研究機関 | 筑波大学 |
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研究代表者 |
金子 暁子 筑波大学, システム情報系, 准教授 (40396940)
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| 研究分担者 |
阿部 豊 筑波大学, システム情報系, 教授 (10241720)
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| 連携研究者 |
竹村 文男 産業技術総合研究所, エネルギー環境部門省エネルギー研究部門, 研究部門長 (20313041)
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| 研究協力者 |
新井 香裕 筑波大学, 大学院システム情報工学研究科
井上 裕三 筑波大学, 大学院システム情報工学研究科
藤井 啓太 筑波大学, 大学院システム情報工学研究科
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | マイクロバブル / ベンチュリ管 / 環境負荷低減 / レジスト除去技術 / 濁水除去技術 / ゼータ電位 / 混相流 / ベンチュリ管式微細気泡発生装置 / レジスト除去 / 濁水処理 / 環境負荷低減技術 |
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| 研究成果の概要 |
オゾンを用いたフォトレジスト除去技のため、ベンチュリ管式オゾンマイクロバブルの洗浄効果について研究を実施し、本研究で提案するシステムにより、流速およびオゾン水濃度の影響を強く受け、既存手法に比べて、約2～4倍高い洗浄速度を有することがわかった。
ベンチュリ管内に水、空気および凝集剤を流した際の凝集剤の微粒化と濁水処理効果について、ベンチュリ管を通過させることで凝集剤の微粒化を実現し、効果的な凝集・沈降を実現した。凝集剤の輸送において、ベンチュリ管により生成された気泡の効果が示された。さらに、気泡、凝集剤、土砂間のゼータ電位が適切に作用することで濁水処理に効果を及ぼす可能性を示した。
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