| 研究課題/領域番号 |
15K05810
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
流体工学
|
|---|
| 研究機関 | 東京都市大学 |
|---|
研究代表者 |
冨士原 民雄 東京都市大学, 工学部, 准教授 (60366846)
|
|---|
| 研究協力者 |
大上 浩
藤井 輝夫
木下 晴之
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2019-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2017年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
|
|---|
| キーワード | microfluidics / photolithography / micro fabilcation / micro channel / マイクロ流体 / フォトリソグラフィ / マイクロ加工 / マイクロ流路 / マイクロチャネル / 厚膜 |
|---|
| 研究成果の概要 |
交互送液法を利用した大量処理適応型マイクロリアクタを開発の前段階として，マイクロチャネルの作製法を開発した．当技術は，フォトリソグラフィを応用し，一般に100ミクロン程度までの厚さの膜を形成するために用いられるSU-8について，その適用範囲を数百ミクロンまで拡大することで，その厚さ相当の深さを持つマイクロチャネルを，高精度かつ自由度の高い形状で製作できるようにするものである．数100ミクロン相当量のSU-8を通常に形成すると厚さが一様にはならないため，膜を機械的に矯正することで，所定の厚さに均一化する手法を開発した．これにより，SU-8の厚膜を高い精度で繰り返し形成することに成功した．
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
マイクロ流体技術には，深さが数100ミクロン程度の流路がしばしば用いられる．流路寸法がそれよりも小さい場合には，フォトリソグラフィとソフトリソグラフィを応用したマイクロ流路作製法が用いられることが多いが，流路深さが100ミクロンを超える場合，それらの手法はまだ実用的ではない．また，このような寸法は，一般的な機械加工でも，難しく，現在は最も作製が難しい領域の寸法と言える．
本研究で確立した手法は，これに対する十分な答えとなっており，今後様々な流路の作製が可能となり，マイクロ流体技術の発展に寄与する．
|
