| 研究課題/領域番号 |
15K05911
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 東京電機大学 |
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研究代表者 |
藤田 壽憲 東京電機大学, 工学部, 教授 (70242279)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2017年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2016年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 精密機械システム / 機械要素 / 制御工学 / 空気圧 / 超精密位置決め |
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| 研究成果の概要 |
空気圧アクチュエータのピストンを静圧軸受により浮上させることにより、発熱や摩擦のない非接触駆動を可能とする新しいタイプの空気圧サーボアクチュエータを先に実現した。このアクチュエータを用いた単軸ステージでは従来の空気圧の概念を覆す高速・高精度な性能を有する。本研究ではこのアクチュエータを用いてＸ－Ｙステージを構成する方法を提案し、配管を内蔵させたコンパンクかつ高精度なステージを設計・実現した。Ｘ－Ｙステージを構成する際には一自由度に比べ配管が長くなり、制御性能が低下する。そこでＸ－Ｙステージを駆動するために必要な制御方法を検討した。シミュレーションではあるが、提案した制御法の有効性を確認できた。
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