• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

大気圧成膜法による希少・有害元素不要の低コスト酸化物LEDの作製

研究課題

研究課題/領域番号 15K05991
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関熊本大学

研究代表者

中村 有水  熊本大学, 大学院先端科学研究部(工), 教授 (00381004)

研究分担者 境 健太郎  宮崎大学, 産学・地域連携センター, 准教授 (20336291)
浪平 隆男  熊本大学, パルスパワー科学研究所, 准教授 (40315289)
山口 敦史  金沢工業大学, 工学部, 教授 (60449428)
連携研究者 永岡 昭二  熊本県産業技術センター, 材料地域資源室, 研究主幹 (10227994)
土屋 昌弘  独立行政法人情報通信研究機構, 上席研究員 (50183869)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード酸化物半導体 / ミスト化学気相成長法 / 発光ダイオード / 酸化亜鉛 / ミストCVD / LED / ミストCVD
研究成果の概要

窒化物を用いた青色発光ダイオードに替わる低価格な新材料LEDの開発に向け、我々は大気圧で成膜可能なミスト化学気相成長法により形成した酸化物薄膜をベースに、長期的に安定したp型層および有害物質を含まない青色発光層を開発し、大気圧成膜法による世界初のLEDの作製を目的として研究を行った。その結果、LEDの作製までは至らなかったが、p型酸化亜鉛の形成に必要なV族元素(窒素)の添加法の確立、LEDの産業化に必要な高均一な薄膜形成法の確立(論文化済、特許登録済)、バッファー層による酸化亜鉛層の高品質化(論文化済)、青色発光が可能な硫化亜鉛の単結晶化(論文化済、特許出願済)を成し遂げることが出来た。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2018 2017 2016 2015

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 3件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 6件)

  • [雑誌論文] Structural characteristics of a non-polar ZnS layer on a ZnO buffer layer formed on a sapphire substrate by mist chemical vapor deposition2018

    • 著者名/発表者名
      Koshi Okita, Katsuhiko Inaba, Zenji Yatabe, and Yusui Nakamura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57

    • NAID

      210000149127

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of m-plane ZnO films formed on buffer layers on sapphire substrates by mist chemical vapor deposition2017

    • 著者名/発表者名
      Hironobu Tanoue, Masato Takenouchi, Tatsuya Yamashita, Shohei Wada, Zenji Yatabe, Shoji Nagaoka, Yoshihiro Naka, and Yusui Nakamura
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi

      巻: A ページ: 1-5

    • NAID

      40021154136

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Uniform ZnO epitaxial films formed at atmospheric pressure by high-speed rotation-type mist chemical vapor deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Hironobu Tanoue, Takuya Taniguchi, Shohei Wada, Shinya Yamamoto, Shohei Nakamura, Yoshihiro Naka, Hiroyuki Yoshikawa, Mizue Munekata, Shoji Nagaoka, and Yusui Nakamura
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 8 号: 12 ページ: 125502-125502

    • DOI

      10.7567/apex.8.125502

    • NAID

      210000137732

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Non-polar ZnS on Sapphire Substrate by Mist Chemical Vapor Deposition2017

    • 著者名/発表者名
      Koshi Okita, Taiki Goto, Yudai Tanaka, Masato Takenouchi, Zenji Yatabe and Yusui Nakamura
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improvement of m-plane ZnO Films Formed on Buffer Layers on Sapphire Substrates by Mist Chemical Vapor Deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Hironobu Tanoue, Tatsuya Yamashita, Shohei Wada, Zenji Yatabe, Shoji Nagaoka, and Yusui Nakamura
    • 学会等名
      The 43rd International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS)
    • 発表場所
      Toyama International Conference Center
    • 年月日
      2016-06-26
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ミストCVD法により形成したバッファ層上のZnO薄膜の結晶性2016

    • 著者名/発表者名
      田之上 博信, 和田 祥平, 山下 達也, 永岡 昭二, 谷田部 然治, 中村 有水
    • 学会等名
      2016年 第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東工大 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Crystal Growth and Characterization of Undoped ZnO on m-plane Sapphire by Mist-CVD Technique with Different Carrier Gas Flow Rates2015

    • 著者名/発表者名
      Hla Myo Tun, Thant Zin Win, Kensuke Minami, Satomi Teraya, Koushi Okita, Yusui Nakamura
    • 学会等名
      The sixth international conference on science and engineering 2015
    • 発表場所
      Yangon Technological University
    • 年月日
      2015-12-12
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of ZnO thin film by mist Chemical Vapor Deposition with Different Temperature Conditions2015

    • 著者名/発表者名
      Thant Zin Win, Hla Myo Tun, Minami San, Kooshi San, Teraya San, Yusui Nakamura
    • 学会等名
      The sixth international conference on science and engineering 2015
    • 発表場所
      Yangon Technological University
    • 年月日
      2015-12-12
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Formation of Zinc Oxide films by mist chemical vapor deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Yusui Nakmaura, Hironobu Tanoue, Takuya Taniguchi, Shohei Nakamura, Yoshihiro Naka, Hiroyuki Yoshikawa, Mizue Munekata, Shoji Nagaoka, Koji Sue
    • 学会等名
      The 2015 Engineering Workshop among Ajou University, Shandong University and Kumamoto University
    • 発表場所
      Kumamoto University
    • 年月日
      2015-11-12
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Ion implantation of phosphorus into ZnO films formed by mist-CVD2015

    • 著者名/発表者名
      Yutaro Yokoyama, Shohei Wada, Michio Koinuma, Yoshihiro Naka, Shoji Nagaoka, Hideyuki Ando, Shuzo Takeuchi, Yusui Nakamura
    • 学会等名
      ISAMMDoF2015
    • 発表場所
      Kumamoto University
    • 年月日
      2015-11-02
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会

URL: 

公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-03-29  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi