| 研究課題/領域番号 |
15K06018
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
田部井 哲夫 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (40536124)
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| 研究分担者 |
横山 新 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 教授 (80144880)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2017年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| キーワード | シリコン光変調器 / トンネル電界効果トランジスタ / トンネルFET / フォトニック結晶 |
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| 研究成果の概要 |
シリコン光変調器の低消費電力化を目的として、低電圧駆動が可能なトンネル電界効果トランジスタを位相変調器として利用した低電圧駆動マッハツェンダ型シリコン光変調器の実現可能性を検討した。トンネルトランジスタはソース・チャネル間で電子のトンネルによって動作するトランジスタであり、本研究ではそれを光変調器に適用するための構造を提案し、それを作製するための簡便化したCMOS互換プロセスを検討した。試作したデバイスでは光変調を確認出来なかったが、SOI基板上のシリコントンネルトランジスタ作製プロセスにおける様々な課題を洗い出すことが出来た。
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