| 研究課題/領域番号 |
15K06127
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
阿部 恒 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 上級主任研究員 (20356372)
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| 研究分担者 |
橋口 幸治 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 (00712506)
天野 みなみ 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (80586321)
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| 研究協力者 |
Lisak Daniel ニコラウス-コペルニクス大学, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 高感度 / 高精度 / 微量水分 / 水分計測 / ppb / トレーサビリティ / 湿度 / SIトレーサビリティ / 高純度ガス |
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| 研究成果の概要 |
高感度・高精度なガス中微量水分計測の実現のため、キャビティリングダウン分光法(CRDS)に発振波長の異なる2つのダイオードレーザーを組み込んだデュアルCRDSを開発した。国際単位系(SI)にトレーサブルな微量水分標準に基づいて開発した装置の性能評価を水分モル分率8 nmol/mol～630 nmol/molの範囲で行った。標準値との差は4.2 %以内にあり、それらは全て拡張不確かさ(包含係数k=2)で説明できた。開発したデュアルCRDS微量水分計は10 nmol/mol (10 ppb)以下の領域でも高精度測定が可能であることがわかった。
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