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モリブデンシリサイドの合成とそれを用いた熱電変換素子の開発

研究課題

研究課題/領域番号 15K06443
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 無機材料・物性
研究機関同志社大学

研究代表者

吉門 進三  同志社大学, 理工学部, 教授 (00158403)

研究協力者 木谷 遼介  
下薗 宏祐  
谷本 俊吾  
佐藤 祐喜  
大鉢 忠  
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2017年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2015年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
キーワード熱電変換素子 / ゼーベック係数 / メカニカルアロイング / 導電率 / ホール効果 / 伝導種の同定 / エピタキシャル成長 / Siの固容体 / 2珪化モリブデン / 珪素添加 / 高周波スパッタ法 / ホール係数 / 抵抗率の温度係数 / ボールミルメカニカルアロイング / 抵抗率 / 温度特性 / 電気伝導機構 / 新規組成 / モリブデンシリサイド / 新規組成合成 / 伝導機構 / 遊星ボールミル装置
研究成果の概要

2珪化モリブデン(MoSi2)にゼーベック係数の向上を目的として珪素(Si)を添加し、rfマグネトロンスパッタ法によりMoSiX (2.00≦X≦2.60)の成膜を行った。結晶構造解析、ホール効果測定装置の製作、導電率およびホール係数の温度依存性の測定、ゼーベック係数の測定、微細構造の観察を行い、以下のことを明らかにした。X≦2.30で過剰なSiは結晶中に固容している。サファイア基板のc面に対して(110)面のエピタキシャル膜が成膜された。ゼーベック係数はX増加すると増加した。伝導種の同定、伝導機構の提案を行った。メカニカルアロイングによる剪断摩擦により準安定β相が合成の可能性が示唆された。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2018 2017 2016 2015

すべて 学会発表 (7件)

  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタで成膜したMoSi2-Si複合体薄膜の電気的特性と結晶構造2018

    • 著者名/発表者名
      谷本 峻吾、佐藤 祐喜、大鉢 忠、吉門 進三
    • 学会等名
      2018年 第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 高周波マグネトロンスパッタで成膜したMoSi2-Si複合体薄膜の電気的特性と結晶構造2017

    • 著者名/発表者名
      谷本 峻吾、下薗 宏祐、佐藤 祐喜、 大鉢 忠、吉門進三
    • 学会等名
      2017年 第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] メカニカルアロイング法を用いた鉄シリサイドの作製と評価に関する研究2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤 圭亮、黒田 寛、佐藤祐喜、吉門進三
    • 学会等名
      2017年第64回応用物理学会春期学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] MoSi2-Si 複合体薄膜の電気伝導機構2016

    • 著者名/発表者名
      下薗 宏祐, 木谷 遼介, 佐藤 祐喜, 吉門 進三
    • 学会等名
      2016年第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟市中央区万代島6番1号、朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] MoSi2-Si複合体薄膜の電気伝導機構2016

    • 著者名/発表者名
      下薗 宏祐,木谷 遼介,佐藤 祐喜,吉門 進三
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春期学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Si MoSi2-Si 複合体薄膜の抵抗率およびホール係数の温度依存性とゼーベック係数2015

    • 著者名/発表者名
      下薗 宏祐,木谷 遼介,佐藤 祐喜,吉門 進三
    • 学会等名
      第35回エレクトロセラミックス研究討論会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2015-10-22
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] MoSi2-Si複合体薄膜の電気伝導機構2015

    • 著者名/発表者名
      下薗 宏祐,木谷 遼介,佐藤 祐喜,吉門 進三
    • 学会等名
      第71回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-03-29  

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