| 研究課題/領域番号 |
15K13299
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノ材料工学
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| 研究機関 | 山形大学 |
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研究代表者 |
廣瀬 文彦 山形大学, 大学院理工学研究科, 教授 (50372339)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | 原子層堆積 / ナノ微粒子 / コアシェル / 紫外線センサー / 原子層堆積法 / ナノコーティング / 微粒子 / 酸化チタン / 酸化錫 / 光触媒 / センサー / センサ |
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| 研究成果の概要 |
原子層堆積はウェハ上に薄膜を形成する方法として使われる。これを使ってナノ微粒子に自由に金属酸化物をつけることで、ナノ特有の量子サイズ効果に異種の表面物性をあたえることができ、新機能物質の創生につながる可能性がある。本研究では、室温原子層堆積法でナノサイズのコアシェル微粒子の作製を目指した。その結果、100nmの粒径を持つ金ナノ微粒子上で酸化チタンを室温被覆することに成功し、膜厚も数十nmレベルで調整できる可能性を見出した。さらに、副成果として、ナノ薄膜の酸化チタン薄膜トランジスタが非常に高い紫外感度をもつことを見出した。本ALD技術は新機能ナノ材料開発研究での活用が期待される。
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