| 研究課題/領域番号 |
15K13310
|
|---|
| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
ナノ材料工学
|
|---|
| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
|---|
研究代表者 |
宮脇 淳 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノ材料研究部門, 主任研究員 (20358138)
|
|---|
| 研究分担者 |
久保 利隆 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノ材料研究部門, 研究グループ長 (70344124)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
|
|---|
| キーワード | 二次元層状物質 / プラズマ / エッチング |
|---|
| 研究成果の概要 |
次世代超低消費電力デバイスの実現の材料として、近年二次元層状物質が注目されている。二次元層状物質の持つ物性を最大限に引き出し、実際に電子デバイスに適応するには、機能の源泉となる結晶性がよい単層の原子薄膜を用意すること、すなわち膜厚の一層単位の精密制御が必要不可欠である。我々の独自技術である加工残渣の少ない吸引型プラズマを最適化することにより、層状化合物のデジタルエッチングの可能性を検証し、プラズマによる表面欠陥低減・制御に向けた検討を行った。二硫化モリブデンに対し一層単位のエッチング加工を行いマイクロメーターオーダーのテラス領域を残すことに成功した。
|
