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超臨界流体を利用したナノマイクロシステムの開発

研究課題

研究課題/領域番号 15K13316
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関東北大学

研究代表者

戸田 雅也  東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)

研究分担者 藤井 孝志  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 地質調査総合センター, 主任研究員 (80520874)
研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード超臨界二酸化炭素 / 熱計測 / マイクロシステム / 熱抵抗計測 / 表面吸着 / マイクロデバイス
研究成果の概要

流体は微小空間へ閉じ込められることにより通常と異なる物性を示すことが知られている。このような流体の「微小空間効果」を利用したマイクロチャンバデバイスを高圧に加圧できるマイクロチャンバを作製し、CO2を微小空間に閉じ込め、超臨界流体の特異な物性を明らかにした。
圧力を変えたときの熱抵抗変化からあきらかに臨界点と考えられる圧力近傍で熱抵抗の低下が観測された。また、微小空間に閉じ込めることで0.2 [MPa]の臨界圧力のシフトが観測できた。微小空間に閉じ込めた効果によって現れる物性変化が実証できたため,臨界点付近で状態が温度変化に敏感であることに基づいたデバイスへの応用の可能性を示すことができた。

報告書

(4件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2018 2017

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Thermal resistance change of liquid carbon dioxide based on narrow space effect in micro chamber2018

    • 著者名/発表者名
      Masaya Toda, Tomoyuki Yamagami, Naoki Inomata, Takashi Fujii, and Takahito Ono
    • 雑誌名

      Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems

      巻: 31 ページ: 1296-1299

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Thermal resistance change of liquid carbon dioxide based on narrow space effect in micro chamber2018

    • 著者名/発表者名
      Masaya Toda, Tomoyuki Yamagami, Naoki Inomata, Takashi Fujii, and Takahito Ono
    • 学会等名
      The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ナノ表面構造を持つカンチレバーの力学応答を利用した湿度センサ2017

    • 著者名/発表者名
      外間 匠, 菊池 亜紀応, Nguyen Van Toan, 戸田 雅也, 小野 崇人
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部 第52期講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2015-04-16   更新日: 2019-03-29  

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