研究課題/領域番号 |
15K13316
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
ナノマイクロシステム
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研究機関 | 東北大学 |
研究代表者 |
戸田 雅也 東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)
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研究分担者 |
藤井 孝志 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 地質調査総合センター, 主任研究員 (80520874)
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研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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配分額 *注記 |
3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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キーワード | 超臨界二酸化炭素 / 熱計測 / マイクロシステム / 熱抵抗計測 / 表面吸着 / マイクロデバイス |
研究成果の概要 |
流体は微小空間へ閉じ込められることにより通常と異なる物性を示すことが知られている。このような流体の「微小空間効果」を利用したマイクロチャンバデバイスを高圧に加圧できるマイクロチャンバを作製し、CO2を微小空間に閉じ込め、超臨界流体の特異な物性を明らかにした。 圧力を変えたときの熱抵抗変化からあきらかに臨界点と考えられる圧力近傍で熱抵抗の低下が観測された。また、微小空間に閉じ込めることで0.2 [MPa]の臨界圧力のシフトが観測できた。微小空間に閉じ込めた効果によって現れる物性変化が実証できたため,臨界点付近で状態が温度変化に敏感であることに基づいたデバイスへの応用の可能性を示すことができた。
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