研究課題/領域番号 |
15K13320
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
ナノマイクロシステム
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研究機関 | 東京工業大学 |
研究代表者 |
山本 貴富喜 東京工業大学, 工学院, 准教授 (20322688)
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研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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キーワード | Biomimetics / MEMS / NEMS / Biosensor / Photonic sensor / ナノ構造 / 構造色 / マルチフィジックス / バイオミメティクス / センサー / 自己組織化 / ナノ加工 / ナノフォトニクス / マルチフィジックスセンサー / 面分布型センサー |
研究成果の概要 |
波長160nm以下の高いエネルギーを有する真空紫外光によって改質した表面をコンタクトすることにより,PDMS,COP,PMMA,PCといった,一般的な光学プラスチックを相互に接合する手法の実証を行い,いくつかの同種・異種の組み合わせでの接着の実証に成功した。 さらに,FTIRやTOF-SIMSなどの表面分析から接合のメカニズム解明に取り組み,真空紫外光照射により表面にOH基が導入されることから,表面のOH基が接合に重要な役割を果たしていることが判明した。 光接合のデザインルールの確立に取り組む。以上の研究を通じて,真空紫外光による光接 着法という新たな学術領域の創成を目指す。
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