| 研究課題/領域番号 |
15K13326
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
高橋 和 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (20512809)
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| 研究協力者 |
野田 進 京都大学, 工学研究科, 教授 (10208358)
浅野 卓 京都大学, 工学研究科, 准教授 (30332729)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2015年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
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| キーワード | シリコンフォトニクス / 微細加工 / 高Q値ナノ共振器 / シリコンラマンレーザー / 半導体微細加工 / フォトニック結晶 / 光通信 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、異なる厚みを有するシリコン基板を作製して、異なる波長帯で動作する光素子を、単一チップ上に集積することを目指した。
１年目は、サブナノメートル精度でシリコン基板を薄膜化するプロセスを開発した。つづいて、異なる厚みを有するシリコン基板を作製した。
２年目は、この基板上に、1310nm帯と1550nm帯で動作する2つの高Q値ナノ共振器を同時に作製して、両者でQ値200万以上を達成した。さらに、シリコンラマンレーザの集積化にも実現して、当初計画を大幅に上回る成果を得た。Q値200万は、単一チップでも達成困難であり、ラマンレーザは、作製難易度が極めて高い素子である。今後は本技術の産業移転を行う。
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