| 研究課題/領域番号 |
15K13350
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
結晶工学
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| 研究機関 | 京都大学 |
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研究代表者 |
藤田 静雄 京都大学, 工学研究科, 教授 (20135536)
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| 連携研究者 |
金子 健太郎 京都大学, 工学研究科, 助教 (50643061)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 酸化物半導体 / 伝導性制御 / 酸化還元反応 / 酸化スズ / 酸化ガリウム |
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| 研究成果の概要 |
酸化物半導体のp/n伝導型およびキャリア密度を制御する方法として、酸化物の生成反応と同時に還元反応を誘起する方法を開発した。ミストCVD法での成長時に、原料溶液にアンモニアやグルコース等の還元剤を付加したり、還元性の成長条件をとることで、p型伝導の実現が困難な酸化物半導体へのアクセプタ形成を目指した。この結果、p型酸化スズを制御して成長でき、酸化インジウムや酸化ガリウムにおいてアクセプタの形成を確認し、今後のデバイス化に向けた萌芽となる結果を得た。
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