| 研究課題/領域番号 |
15K13827
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
米谷 玲皇 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 (90466780)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | NEMS / ナノメカニカル構造体 / 機械特性 / ひずみ / 顕微ラマン分光法 / ひずみ計測 / 顕微ラマン分光 / 先端増強ラマン分光 / ナノ振動子 / 動ひずみ / 位相分解計測 |
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| 研究成果の概要 |
原子間力顕微鏡による振動計測法と先端増強ラマン分光法を組み合わせた新たなナノメカニカル素子の動特性評価技術を創出することを目的に、その要素課題となるラマン分光法の薄膜ナノメカニカル構造体機械特性評価への適用性に関する基礎的研究を進めた。結果として、薄膜構造体の軸方向ひずみは、従来と同様に、ラマンスペクトルピーク位置により評価可能であることを確認した。一方で、曲げ方向のひずみについては、ピーク位置による評価困難であり、ピーク半値幅による評価が有効であることを新たに見出した。素子研究開発における機能性評価や高信頼性化に資する機械特性，動特性評価技術を実現する上で、有効な知見になりえると期待される。
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