| 研究課題/領域番号 |
15K13914
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
水谷 康弘 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40374152)
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| 研究分担者 |
高谷 裕浩 大阪大学, 工学研究科, 教授 (70243178)
岩田 哲郎 徳島大学, 大学院理工学研究部, 教授 (50304548)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2015年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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| キーワード | ゴーストイメージング / エリプソメトリ / 偏光計測 / 画像計測 / 高感度画像計測 / 光相関イメージング / フォトンカウンティング / 蛍光顕微鏡 / 光スピンホール効果 / エリプソメータ / 光相関 / エリプソメトリー / 弱測定 |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は，近年物理学分野で新たに提唱された光相関イメージング法と高精度エリプソメトリーと組み合わせることで，2次元エリプソメトリーを開発することである．エリプソメーターは，測定原理に高速偏光変調された測定光を用いるためCCDなどの2次元センサを利用することができず膜厚の分布を一度に計測することはできなかった．そこで，光相関イメージング法という手法を用いた点型光検出器を用いたイメージング法に着目した．これは，点計測手法による像再現法であるため既存の2次元イメージングに取って代わる手法として有効である．本課題では，測定原理を新たに構築し原理検証を行った．
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