| 研究課題/領域番号 |
15K13966
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
平川 一彦 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (10183097)
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| 連携研究者 |
野村 政宏 東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (10466857)
吉田 健治 東京大学, 生産技術研究所, 助教 (50738599)
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| 研究協力者 |
張 亜 東京大学, 生産技術研究所, 特任助教
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | テラヘルツ / MEMS / 検出器 / ボロメータ / 光検出 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、テラヘルツ電磁波の吸収で誘起されるわずかな温度上昇を、MEMS両持ち梁構造の共振周波数のシフトとして高感度に読み取ることを原理とする室温動作テラヘルツ検出用ボロメータの原理実証を行うことを目的として研究を行った。その結果、室温動作する他の熱型テラヘルツ検出器と同程度かそれ以上の感度を有することが示せた。さらに、テラヘルツ入射による共振周波数のシフトを追いかけるようにフィードバックをかける周波数変調（FM）検出を用いた場合、従来の室温動作テラヘルツ検出器の100-1000倍の高速動作が可能であり、MEMS共振器を用いた新しい原理のボロメータの有用性を確認することができた。
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