| 研究課題/領域番号 |
15K13968
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京農工大学 |
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研究代表者 |
梅田 倫弘 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60111803)
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| 研究分担者 |
岩見 健太郎 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80514710)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | ナノ粒子 / ナノコンタミネーション / エバネッセント干渉定在場 / 光散乱 / インライン検出 / 開口近接場プローブ / マイクロ流体ノズル / マイクロピペット / 光散乱インライン検出 / マイクロ流体 / イオンコンダクタンス |
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| 研究成果の概要 |
半導体製品の製造歩留まりの向上には、ナノコンタミネーションの検出が必須であり，本研究は近接場光を利用した以下の微粒子検出法を提案した。
1）エバネッセント干渉場（EIF）による計測技術：ナノ粒子がEIFを通過するとき，ナノ粒子による散乱光強度は周期的に変調を受けるので，そのコントラスト算出によって粒径サイズを推定できる．この原理実証のため，粒径88及び220nmのラッテクス球を用いて散乱光を検出し，コントラストから粒径推定を試みた．2)開口近接場プローブによるマイクロノズル射出ナノ粒子の検出技術：光ファイバー近接場プローブによってマイクロノズルから射出された蛍光染色ナノ微粒子の検出を試みた．
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