| 研究課題/領域番号 |
15K13972
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 信州大学 |
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研究代表者 |
伊東 栄次 信州大学, 学術研究院工学系, 教授 (50303441)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2017年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | カーボンナノチューブ / ポリイミド / 湿度センサ / ガスセンサ / ナノ誘電体 / 有機半導体 / MISデバイス / 高速ガス制御 / ナノハイブリッド / 容量計測システム / アセトンセンサ / 自動制御システム / ナノシート |
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| 研究成果の概要 |
本研究では塗布形成を用いたカーボンナノチューブ膜を電極としたセンサデバイスとその計測システムの開発と評価を行った。高速なガス置換や湿度等の濃度依存性とミリ秒台の高速な計測を実現するための計測システムの開発を行った。カーボンナノチューブガス透過性電極と含フッ素ポリイミドからなる静電容量式薄膜湿度センサの薄膜化により高感度かつ 10 msec オーダーの超高速応答を実証した。さらに、酸化物と有機半導体のナノハイブリッドガスセンサによりサブppmオーダーのアセトンセンサの開発や有機半導体デバイスの高性能化及び有機半導体中のキャリア輸送の解析を行った。
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