| 研究課題/領域番号 |
15K13979
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
石田 武和 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00159732)
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| 研究分担者 |
前澤 正明 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノエレクトロニクス研究部門, 主任研究員 (40357976)
林 正彦 秋田大学, 教育文化学部, 教授 (60301040)
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| 連携研究者 |
日高 睦夫 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノエレクトロニクス研究部門, 上級主任研究員 (20500672)
宮嶋 茂之 大阪府立大学, 客員研究員 (50708055)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
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| キーワード | 超伝導材料・素子 / SQUID素子 / 走査型顕微鏡 / 画像処理 |
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| 研究成果の概要 |
SQUID顕微鏡の検出コイルに平行な磁場の成分は計測できない欠点があった。本研究では、Nb多層プロセスCRAVITYを利用して、互いに直交する３つの検出コイルをワンチップで測定可能にする構造を持たせた。大阪府大では、検出コイルと測定試料の相対位置がXYZピエゾで精密に駆動でき、磁場ベクトルが決定できるSQUID顕微鏡のCAD設計を行った。産総研では、大阪府大で設計したベクトル磁場検出のできるSQUID素子の製作を行った。特に、XYZとも試料表面から同じ高さにくるようにした。秋田大では、SQUID顕微鏡の画像解析ソフトウェアに関して、画像処理後の磁束の値がより実測値に近くなるように改良した。
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